一种直板沉积工装制造技术

本技术公布了一种直板沉积工装，属于沉积相关技术领域，包括底痤和壳体，壳体设置为多层，壳体上设置有多个活动门，底痤上设置有多个支撑条，支撑条设置有多层，最里侧的支撑条上设置有支撑块，支撑块设置为梳子状；支撑块内设置有多个待沉积的第一直板，支撑块设置有多个。本发明专利技术的直板沉积工装采用多层支撑条和梳子状支撑块的结构，可以放置多个待沉积的第一直板，并保证第一直板之间有一定的间隔，保证了气体的流动和分布，提高了沉积的均匀性和质量。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于沉积相关，具体为一种直板沉积工装。

技术介绍

1、沉积工艺是指在衬底表面形成一层或多层具有特定功能的薄膜的技术，它是半导体、光电子、纳米等领域的重要制造方法。薄膜沉积工艺主要分为物理和化学方法两类：

2、物理方法：指利用热蒸发或受到粒子轰击时物质表面原子的溅射等物理过程，实现物质原子从源物质到衬底材料表面的物质转移。物理方法包括物理气相沉积、旋涂、电镀等，其中pvd又分为真空蒸镀、溅射两大方法；

3、化学方法：把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸汽，以合理的气流引入工艺腔室，在衬底表面发生化学反应并在衬底表面上沉积薄膜。化学方法包括化学气相沉积、原子层沉积、溶胶凝胶法等。

4、沉积工艺的均匀性受到气流分布、温度场、压力场等因素的影响，可能出现局部厚度或组成的不均匀现象。为了解决上述问题和不足，提高直板沉积工艺的效率和质量，本专利技术提供了一种直板沉积工装。

技术实现思路

1、针对以上问题，本技术提供一种直板沉积工装，用于解决现有技术中直板沉积艺的效率和质量不高的问题。

2、为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：

3、一种直板沉积工装，包括底痤和壳体，壳体设置为多层，壳体上设置有多个活动门，底痤上设置有多个支撑条，支撑条设置有多层，最里侧的支撑条上设置有支撑块，支撑块设置为梳子状；支撑块内设置有多个待沉积的第一直板，支撑块设置有多个。

4、与现有技术相比，本技术的有益效果为：本专利技术的直板沉积工装采用多层壳体和多个活动门的结构，方便安装、拆卸、打开和关闭，提高了操作的便捷性和灵活性；

5、本专利技术的直板沉积工装采用多层支撑条和梳子状支撑块的结构，可以放置多个待沉积的第一直板，并保证第一直板之间有一定的间隔，保证了气体的流动和分布，提高了沉积的均匀性和质量；

6、作为上述方案的进一步改进，支撑块包括主体，主体设置为u字型状；主体内排列多个竖条柱组成梳子状结构；主体放置在横梁的上方。

7、上述改进的技术效果为：梳子状支撑起到支撑保障板子不变形和保障板子之间的间隔，保障气体流出。

8、作为上述方案的进一步改进，底痤上的支撑条上通过螺栓设置有限位块，壳体与底痤通过限位块连接；壳体设置为拼装式结构，通过螺栓或销钉相互连接。

9、上述改进的技术效果为：本专利技术的直板沉积工装采用限位块、螺栓或销钉等连接方式，增强了结构的稳定性和可靠性，防止了因气体裂解而产生的粘接现象。

10、作为上述方案的进一步改进，壳体上设置有活动门，活动门通过导向块和门锁活动设置。

11、上述改进的技术效果为：活动门可以方便地打开和关闭，便于取放待沉积的第一直板和第二直板，提高了操作的便捷性和效率；导向块可以保证活动门的平稳移动，防止活动门的卡滞或偏移，提高了操作的安全性和准确性；门锁可以固定活动门的位置，防止活动门的松动或开启，提高了结构的稳定性和可靠性

12、作为上述方案的进一步改进，底痤设置有活动支撑，活动支撑内设置多个第二直板。

13、上述改进的技术效果为：当待沉积的直板比较小时，就可以用这种方式支撑，提高了空间利用率。

14、作为上述方案的进一步改进，壳体的顶端设置有增高环。

15、上述改进的技术效果为：本专利技术的直板沉积工装采用增高环的结构，可以适应不同高度的第一直板，提高了工装的通用性和适应性。

16、作为上述方案的进一步改进，底痤设置为拼装式结构。

17、上述改进的技术效果为：拼装式结构可以方便地安装和拆卸。

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【技术保护点】

1.一种直板沉积工装，其特征在于，包括底痤(1)和壳体(12)，壳体(12)设置为多层，壳体(12)上设置有多个活动门(2)，底痤(1)上设置有多个支撑条(13)，支撑条(13)设置有多层，最里侧的支撑条(13)上设置有支撑块(10)，支撑块(10)设置为梳子状；支撑块(10)内设置有多个待沉积的第一直板(6)，支撑块(10)设置有多个。

2.根据权利要求1所述的一种直板沉积工装，其特征在于，支撑块(10)包括主体(1001)，主体(1001)设置为U字型状；主体(1001)内排列多个竖条柱(1002)组成梳子状结构；主体(1001)放置在横梁(11)的上方。

3.根据权利要求1所述的一种直板沉积工装，其特征在于，底痤(1)上的支撑条(13)上通过螺栓设置有限位块(4)，壳体(12)与底痤(1)通过限位块(4)连接；壳体(12)设置为拼装式结构，通过螺栓或销钉相互连接。

4.根据权利要求1所述的一种直板沉积工装，其特征在于，壳体(12)上设置有活动门(2)，活动门(2)通过导向块(5)和门锁(7)活动设置。

5.根据权利要求1所述的一种直板沉积工装，其特征在于，底痤(1)设置有活动支撑(8)，活动支撑(8)内设置多个第二直板(9)。

6.根据权利要求1所述的一种直板沉积工装，其特征在于，壳体(12)的顶端设置有增高环(3)。

7.根据权利要求1所述的一种直板沉积工装，其特征在于，底痤(1)设置为拼装式结构。

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【技术特征摘要】

1.一种直板沉积工装，其特征在于，包括底痤(1)和壳体(12)，壳体(12)设置为多层，壳体(12)上设置有多个活动门(2)，底痤(1)上设置有多个支撑条(13)，支撑条(13)设置有多层，最里侧的支撑条(13)上设置有支撑块(10)，支撑块(10)设置为梳子状；支撑块(10)内设置有多个待沉积的第一直板(6)，支撑块(10)设置有多个。

2.根据权利要求1所述的一种直板沉积工装，其特征在于，支撑块(10)包括主体(1001)，主体(1001)设置为u字型状；主体(1001)内排列多个竖条柱(1002)组成梳子状结构；主体(1001)放置在横梁(11)的上方。

3.根据权利要求1所述的一种直板沉积工装，其特征在于，底痤...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊赢超，刘俊锋，吴雨，
申请(专利权)人：湖南碳谷新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：