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本技术公布了一种直板沉积工装，属于沉积相关技术领域，包括底痤和壳体，壳体设置为多层，壳体上设置有多个活动门，底痤上设置有多个支撑条，支撑条设置有多层，最里侧的支撑条上设置有支撑块，支撑块设置为梳子状；支撑块内设置有多个待沉积的第一直板，支撑...
该专利属于湖南碳谷新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南碳谷新材料有限公司授权不得商用。

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