【技术实现步骤摘要】
本技术涉及原子层沉积设备，具体涉及一种密封性好的原子层沉积设备沉积腔。
技术介绍
1、原子层沉积设备是一种先进的薄膜沉积技术，是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的技术，它可应用在各种尺寸和形状的基底上沉积高精度、无针孔、高保形的纳米薄膜，它的特点是自限制性，这也决定了原子层沉积技术具有厚度高度可控、优异的均匀性及良好的保形性等众多优点，是制备薄膜材料的重要方法之一。
2、现有专利号cn218710831u提出一种原子层沉积设备的快速沉积腔室，包括升降架，所述升降架顶端安装有下底板，所述下底板顶端活动安装有沉积腔体，所述沉积腔体顶端安装有上盖板，所述沉积腔体一端嵌入安装有真空抽气管，所述真空抽气管外表面一端连接有真空泵，但上述原子层沉积设备在使用过程中仍旧存在一定缺陷，例如下底板与沉积腔之间的连接方式过于简单，为了保证沉积腔内部的密封性能通常会建议下底板与沉积腔之间采用螺纹连接方式，可若通过人工手动将其进行螺纹连接，由于下底板与沉积腔体积均较大原因人工无法很好掌控力道，容易使螺纹连接出现错位，使沉积腔体内部的密封性降低，为此提出一种密封性好的原子层沉积设备沉积腔。
技术实现思路
1、本技术的目的在于：为解决现有的原子层沉积设备下底板与沉积腔之间的连接方式过于简单，若通过人工手动将其进行螺纹连接，由于下底板与沉积腔体积均较大原因人工无法很好掌控力道，容易使螺纹连接出现错位的问题，本技术提供了一种密封性好的原子层沉积设备沉积腔。
2、本技术为了实
3、一种密封性好的原子层沉积设备沉积腔，包括沉积腔，沉积腔为圆形管状结构，沉积腔的顶端设置有上盖板，沉积腔的侧壁面固定安装有与沉积腔内部相连通的真空泵，沉积腔的侧壁面固定安装有两个相互对称的安装板，沉积腔的底端设置有下底板，所述下底板的底部设置有用于将下底板上下移动的升降组件，下底板顶部设置有用于将下底板与沉积腔进行连接的密封组件，下底板的顶部固定安装有齿环，下底板的右侧设置有倒立l型结构的安装架，安装架水平部分的底部固定安装有第二伺服电机，第二伺服电机的输出端固定安装有齿轮，齿轮与齿环啮合连接，下底板的顶部对应沉积腔的位置开设有与沉积腔相适配的环形槽，环形槽的内部底面固定安装有密封环。
4、进一步地，所述升降组件包括有两个c型框，两个c型框呈镜像分布，每个c型框的内部底面均固定安装有第一伺服电机，每个第一伺服电机的输出端均固定安装有螺纹杆，每个螺纹杆上均螺纹连接有活动块，两个活动块相互靠近的一侧均固定安装有倒立l型结构的连接架，两个连接架呈镜像分布，安装架固定安装在右侧连接架水平部分的顶部，两个连接架的水平部分相互靠近的一侧均开设有凹槽，下底板设置在两个连接架中间。
5、进一步地，所述两个活动块中间固定安装有横杆。
6、进一步地，所述横杆的前后壁面均固定安装有倒立l型结构的支撑架，两个支撑架呈镜像分布，每个支撑架的水平部分顶部均与下底板的底部相贴合。
7、进一步地，所述两个支撑架水平部分相互远离的一端均固定安装有限位块。
8、进一步地，所述密封组件包括有螺纹套，下底板的顶部固定安装有螺纹套，上盖板的内侧壁面下方设置有螺纹，下底板的侧壁面固定安装有圆环，圆环活动安装在两个凹槽的内部。
9、本技术的有益效果如下：
10、1、本技术通过启动升降组件使下底板按照预设速度逐渐向上或向下移动，当下底板达到指定位置后启动第二伺服电机，第二伺服电机在启动状态下将会带动齿轮往复转动，齿轮再带动齿环往复转动，齿环再带动下底板往复转动，当下底板上移时转动将会通过密封组件使下底板和沉积腔实现螺纹连接，此时沉积腔的底端将位于环形槽的内部且与密封环紧密贴合，当下底板下移时反向转动将会使下底板和沉积腔实现分离，从而解决人工手动将下底板和沉积腔实现螺纹连接容易出现错位影响沉积腔的内部密封性问题。
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1.一种密封性好的原子层沉积设备沉积腔，包括沉积腔(1)，沉积腔(1)为圆形管状结构，沉积腔(1)的顶端设置有上盖板(2)，沉积腔(1)的侧壁面固定安装有与沉积腔(1)内部相连通的真空泵(3)，沉积腔(1)的侧壁面固定安装有两个相互对称的安装板(4)，沉积腔(1)的底端设置有下底板(5)，其特征在于，所述下底板(5)的底部设置有用于将下底板(5)上下移动的升降组件(6)，下底板(5)顶部设置有用于将下底板(5)与沉积腔(1)进行连接的密封组件(7)，下底板(5)的顶部固定安装有齿环(8)，下底板(5)的右侧设置有倒立L型结构的安装架(9)，安装架(9)水平部分的底部固定安装有第二伺服电机(10)，第二伺服电机(10)的输出端固定安装有齿轮(11)，齿轮(11)与齿环(8)啮合连接，下底板(5)的顶部对应沉积腔(1)的位置开设有与沉积腔(1)相适配的环形槽(12)，环形槽(12)的内部底面固定安装有密封环(13)。
2.根据权利要求1所述的一种密封性好的原子层沉积设备沉积腔，其特征在于，所述升降组件(6)包括有两个C型框(601)，两个C型框(601)呈镜像分布，每个C
3.根据权利要求2所述的一种密封性好的原子层沉积设备沉积腔，其特征在于，所述两个活动块(604)中间固定安装有横杆(606)。
4.根据权利要求3所述的一种密封性好的原子层沉积设备沉积腔，其特征在于，所述横杆(606)的前后壁面均固定安装有倒立L型结构的支撑架(607)，两个支撑架(607)呈镜像分布，每个支撑架(607)的水平部分顶部均与下底板(5)的底部相贴合。
5.根据权利要求4所述的一种密封性好的原子层沉积设备沉积腔，其特征在于，所述两个支撑架(607)水平部分相互远离的一端均固定安装有限位块(609)。
6.根据权利要求1所述的一种密封性好的原子层沉积设备沉积腔，其特征在于，所述密封组件(7)包括有螺纹套(701)，下底板(5)的顶部固定安装有螺纹套(701)，上盖板(2)的内侧壁面下方设置有螺纹(702)，下底板(5)的侧壁面固定安装有圆环(703)，圆环(703)活动安装在两个凹槽(608)的内部。
...【技术特征摘要】
1.一种密封性好的原子层沉积设备沉积腔，包括沉积腔(1)，沉积腔(1)为圆形管状结构，沉积腔(1)的顶端设置有上盖板(2)，沉积腔(1)的侧壁面固定安装有与沉积腔(1)内部相连通的真空泵(3)，沉积腔(1)的侧壁面固定安装有两个相互对称的安装板(4)，沉积腔(1)的底端设置有下底板(5)，其特征在于，所述下底板(5)的底部设置有用于将下底板(5)上下移动的升降组件(6)，下底板(5)顶部设置有用于将下底板(5)与沉积腔(1)进行连接的密封组件(7)，下底板(5)的顶部固定安装有齿环(8)，下底板(5)的右侧设置有倒立l型结构的安装架(9)，安装架(9)水平部分的底部固定安装有第二伺服电机(10)，第二伺服电机(10)的输出端固定安装有齿轮(11)，齿轮(11)与齿环(8)啮合连接，下底板(5)的顶部对应沉积腔(1)的位置开设有与沉积腔(1)相适配的环形槽(12)，环形槽(12)的内部底面固定安装有密封环(13)。
2.根据权利要求1所述的一种密封性好的原子层沉积设备沉积腔，其特征在于，所述升降组件(6)包括有两个c型框(601)，两个c型框(601)呈镜像分布，每个c型框(601)的内部底面均固定安装有第一伺服电机(602)，每个第一伺服电机(602)的输出端均固定安装有螺纹杆(603)，每个螺纹杆(603)上均螺纹(702)连接有活动块...
【专利技术属性】
技术研发人员：张小强，南炳允，宋广伟，
申请(专利权)人：东领科技装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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