本技术公开了一种球星伞真空镀膜机，具体涉及真空镀膜机技术领域，包括镀膜机本体和镀膜机外壁铰接的盖体，所述镀膜机本体内部开设有加工槽，所述加工槽内部转动连接有动力轴，所述动力轴底端固定连接有球星伞本体。本技术通过在转杆外壁设置圆盘，在圆盘外壁设置调节板，在圆盘外壁设置弹簧，在收纳槽内部设置调节槽，在球星伞本体外壁设置收纳槽，在收纳槽内部设置工装，在工装外壁设置固定板，使工装可以带动固定板运动，本技术中，使用带有角度的工装，改变伞状工装在公转过程中，大张角凹面产品边缘的蒸镀角，使大张角凹面产品的边缘部分蒸发角趋近于最优蒸发角度。来增强膜层的致密性。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空镀膜机，具体为一种球星伞真空镀膜机。
技术介绍
1、真空镀膜机，电子枪蒸发源：6孔坩埚，每孔40cc容量，电子枪位于真空室下部；电子枪冷却水流量监测，互锁保护，自带自动预熔功能、实现膜厚仪自动控制电子枪镀膜，操作更方便。电阻蒸发：2组蒸发电极，兼容蒸发舟、螺旋蒸发丝，带有自动档板。1台以色列产tdk蒸发电源功率：1.44kw，切换2组源蒸发。有机蒸发源：6组有机蒸发源，配套6组坩埚。6台有机蒸发电源，配备实时显示坩埚温度。工件架(自转水冷)：设备配有自转电动工件盘，一次性放置最大不超过150*150mm样品一片。配有单转轴空心磁流体密封，样品台水冷。高扭矩电机和控制器，转速0～30rpm可调。而球星伞真空镀膜机属于真空镀膜机的一种。
2、目前，市面上的真空镀膜机在进行使用时，特别是球星伞真空镀膜机在进行使用时，使用球星伞蒸镀大张角凹面产品，由于球星伞得公转模式以及双电子枪的位置分布模式，导致在蒸镀大张角凹面产品时，由于零件自身形状限制，导致在凹面边缘处的膜层蒸镀角度较大，最终产生膜层致密性差的结果。
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【技术保护点】
1.一种球星伞真空镀膜机，包括镀膜机本体(1)和镀膜机外壁铰接的盖体(2)，其特征在于：所述镀膜机本体(1)内部开设有加工槽(3)，所述加工槽(3)内部转动连接有动力轴(4)，所述动力轴(4)底端固定连接有球星伞本体(5)，所述球星伞本体(5)顶部开设有收纳槽(6)，所述球星伞本体(5)内部开设有调节槽(7)，所述调节槽(7)与收纳槽(6)连通，所述调节槽(7)内部设有转杆(8)，所述转杆(8)外壁固定连接有多个圆盘(9)，多个所述圆盘(9)外壁均固定连接有调节板(10)，所述转杆(8)顶端贯穿于球星伞本体(5)外壁一侧，且所述球星伞本体(5)与所述转杆(8)转动连接，转杆(8)可通过圆...
【技术特征摘要】
1.一种球星伞真空镀膜机，包括镀膜机本体(1)和镀膜机外壁铰接的盖体(2)，其特征在于：所述镀膜机本体(1)内部开设有加工槽(3)，所述加工槽(3)内部转动连接有动力轴(4)，所述动力轴(4)底端固定连接有球星伞本体(5)，所述球星伞本体(5)顶部开设有收纳槽(6)，所述球星伞本体(5)内部开设有调节槽(7)，所述调节槽(7)与收纳槽(6)连通，所述调节槽(7)内部设有转杆(8)，所述转杆(8)外壁固定连接有多个圆盘(9)，多个所述圆盘(9)外壁均固定连接有调节板(10)，所述转杆(8)顶端贯穿于球星伞本体(5)外壁一侧，且所述球星伞本体(5)与所述转杆(8)转动连接，转杆(8)可通过圆盘(9)带动调节板(10)在调节槽(7)和收纳槽(6)内部运动。
2.根据权利要求1所述的一种球星伞真空镀膜机，其特征在于：所述转杆(8)外壁设有弹簧(11)，所述弹簧(11)一端与调节槽(7)内部固定连接，所述弹簧(11)另一端...
【专利技术属性】
技术研发人员：石国强，郑丹丹，陈晗，刘海成，王李，
申请(专利权)人：长春格立特光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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