【技术实现步骤摘要】
本技术属于金刚石加工，尤其涉及一种微波化学气相沉积炉用水冷台。
技术介绍
1、化学气相沉积金刚石的方法一般如下：将氢气、含碳的气体(如甲烷)等通过高温活化源后，离解为氢原子、碳原子和各种碳氢基团。当气流遇到温度较低的衬底时，在氢原子的作用下，碳原子沉积为金刚石。目前，按照活化源的不同，利用化学气相沉积制备金刚石的方法主要有三种：微波法、热丝法和直流电弧喷射法。用于微波化学气相沉积金刚石，由于该炉内沉积面积小，受热量大，因此热量得不到消散，会影响金刚石沉积质量。
技术实现思路
1、本技术的目的是针对上述存在的技术问题，提供一种微波化学气相沉积炉用水冷台,达到了使与台体接触的沉积台在横截面方向上均能降温，通过高压水泵配合阀门调节进水管和出水管的进出水速度，能够根据需要调节降温效率的效果。
2、有鉴于此，本技术提供一种微波化学气相沉积炉用水冷台，包括：
3、台体，所述台体内设置有容水腔，容水腔内设置有冷却水导向流道，导向流道从台体中心向台体侧边延伸；
4、进水管，所述进水管用于向台体内进水；
5、出水管，所述出水管用于排出台体内的冷却水；
6、其中，所述进水管能伸入台体与冷却水导向流道的进水端连接，所述出水管能伸入台体与冷却水导向流道的出水端连接。
7、在本技术方案中，通过导向流道从台体中心向台体侧边延伸，可以使冷却水沿着导向流道流动遍布整个台体横截面，使与台体接触的沉积台在横截面方向上均能降温，通过高压水泵配合阀门
8、进一步的，所述台体呈圆盘状，上述导向流道呈螺旋状从圆盘圆心延伸到边缘。
9、进一步的，所述进水管与台体圆盘中间处导向流道一端连接，出水管与台体圆盘边缘处导向流道的另一端连接。
10、在本技术方案中，通过将冷水从进水管通入台体中间，因为与台体中间接触的是沉积台的中心，为温度最高处，冷水进入后能直接吸走温度最高处的温度，然后沿着导向流道逐渐流向温度较低处吸热，这样能使沉积台横截面的各处温度均将至接近相同的温度，可以使金刚石的沉积更均匀。
11、进一步的，所述台体的材质为纯铜。
12、在本技术方案中，铜的导热性强，能提高水冷台和沉积台之间的温度交换，增加水冷台的冷却效果。
13、进一步的，所述台体包括台座和台盖，台座一端开口，上述导向流道设置在台座内，台盖盖设在台座开口处且与台座密封焊接。
14、进一步的，所述导向流道通过铣削的方式生成。
15、进一步的，所述导向流道的螺旋间距从台体圆心出直边缘逐渐增大。
16、在本技术方案中，通过这样的设置，可以使刚进入台体的温度较低的冷却水在台体内的在狭小的导向流道内流速增大，与台体上表面撞击剧烈，能够带走更多热量，而到了台体边缘处，导向流道变宽，冷却水能够缓缓流动，能够防止温度升高的水温过度撞击而持续升温。
17、进一步的，所述台体中心开设有让位孔，让位孔与沉积台内的调节孔连通。
18、在本技术方案中，两个孔之间的气体相互连通，也能产生热量交换，辅助沉积台冷却。
19、本技术的有益效果是：
20、1.通过导向流道从台体中心向台体侧边延伸，可以使冷却水沿着导向流道流动遍布整个台体横截面，使与台体接触的沉积台在横截面方向上均能降温，通过高压水泵配合阀门调节进水管和出水管的进出水速度，能够根据需要调节降温的效率。
21、2.通过将冷水从进水管通入台体中间，因为与台体中间接触的是沉积台的中心，为温度最高处，冷水进入后能直接吸走温度最高处的温度，然后沿着导向流道逐渐流向温度较低处吸热，这样能使沉积台横截面的各处温度均将至接近相同的温度，可以使金刚石的沉积更均匀。
22、3.导向流道的螺旋间距从台体圆心出直边缘逐渐增大，通过这样的设置，可以使刚进入台体的温度较低的冷却水在台体内的在狭小的导向流道内流速增大，与台体上表面撞击剧烈，能够带走更多热量，而到了台体边缘处，导向流道变宽，冷却水能够缓缓流动，能够防止温度升高的水温过度撞击而持续升温。
23、4.台体中心开设有让位孔，让位孔与沉积台内的调节孔连通。两个孔之间的气体相互连通，也能产生热量交换，辅助沉积台冷却。
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1.一种微波化学气相沉积炉用水冷台(1)，其特征在于,包括：
2.根据权利要求1所述的一种微波化学气相沉积炉用水冷台(1)，其特征在于，所述台体(2)呈圆盘状，上述导向流道(6)呈螺旋状从圆盘圆心延伸到边缘。
3.根据权利要求2所述的一种微波化学气相沉积炉用水冷台(1)，其特征在于，所述进水管(3)与台体(2)圆盘中间处导向流道(6)一端连接，出水管(4)与台体(2)圆盘边缘处导向流道(6)的另一端连接。
4.根据权利要求1-3任意一项所述的一种微波化学气相沉积炉用水冷台(1)，其特征在于，所述台体(2)的材质为纯铜。
5.根据权利要求1所述的一种微波化学气相沉积炉用水冷台(1)，其特征在于，所述台体(2)包括台座和台盖(9)，台座一端开口，上述导向流道(6)设置在台座内，台盖(9)盖设在台座开口处且与台座密封焊接。
6.根据权利要求1所述的一种微波化学气相沉积炉用水冷台(1)，其特征在于，所述导向流道(6)通过铣削的方式生成。
7.根据权利要求3所述的一种微波化学气相沉积炉用水冷台(1)，其特征在于，所述导
8.根据权利要求7所述的一种微波化学气相沉积炉用水冷台(1)，其特征在于，所述台体(2)中心开设有让位孔(7)，让位孔(7)与沉积台(8)内的调节孔(10)连通。
...【技术特征摘要】
1.一种微波化学气相沉积炉用水冷台(1)，其特征在于,包括：
2.根据权利要求1所述的一种微波化学气相沉积炉用水冷台(1)，其特征在于，所述台体(2)呈圆盘状，上述导向流道(6)呈螺旋状从圆盘圆心延伸到边缘。
3.根据权利要求2所述的一种微波化学气相沉积炉用水冷台(1)，其特征在于，所述进水管(3)与台体(2)圆盘中间处导向流道(6)一端连接，出水管(4)与台体(2)圆盘边缘处导向流道(6)的另一端连接。
4.根据权利要求1-3任意一项所述的一种微波化学气相沉积炉用水冷台(1)，其特征在于，所述台体(2)的材质为纯铜。
5.根据权利要求1所述的一种微波化学气相...
【专利技术属性】
技术研发人员：何克强，
申请(专利权)人：浙江金砺科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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