分离装置制造方法及图纸

技术编号:27223884 阅读:31 留言:0更新日期:2021-02-04 11:44
本发明专利技术提供了一种分离装置。分离装置包括:固定机构,包括固定吸板组件和辅助吸附平台,固定吸板组件为叉状结构,固定吸板组件相对辅助吸附平台固定设置,辅助吸附平台包括辅助吸板和驱动机构,驱动机构用于驱动辅助吸板相对固定吸板组件移动;旋转机构,包括驱动组件和薄膜吸附组件;薄膜吸附组件的吸附平面具有与固定吸板组件和辅助吸附平台的吸附平面相对,且薄膜吸附组件的吸附平面与固定吸板组件的吸附平面相贴合的结合位置;薄膜吸附组件的吸附平面具有与固定吸板组件和辅助吸附平台的吸附平面相互分离的分离位置。本发明专利技术的分离装置能够提高晶片和薄膜的分离成功率。离装置能够提高晶片和薄膜的分离成功率。离装置能够提高晶片和薄膜的分离成功率。

【技术实现步骤摘要】
分离装置


[0001]本专利技术涉及太阳能电池制作
,具体而言,涉及一种分离装置。

技术介绍

[0002]新能源是二十一世纪世界经济发展中最具决定力的五大
之一。太阳能是一种清洁、高效和永不衰竭的新能源。而光伏发电具有安全可靠、无噪声、无污染、制约少、故障率低、维护简便等优点。
[0003]太阳能电池生产过程中,可以在将薄膜(例如薄的光伏膜)与生长的晶片(例如砷化镓基板)分离。通过分离设备将太阳能电池和生长太阳能电池的衬底剥离。分离出的晶片或衬底(例如砷化镓晶片)经过抛光和清洗后可重复使用多次,从而显著降低薄膜发电的成本。
[0004]目前的太阳能电池剥离包括湿法分离和干法分离。湿法分离是通过刻蚀液将太阳能电池芯片和衬底之间的牺牲层刻蚀掉。但是,刻蚀后的太阳能电池的晶片和薄膜依靠表面张力贴合在一起。当需要将晶片和薄膜分离时,现有的分离装置的分离成功率很低。

技术实现思路

[0005]本专利技术的主要目的在于提供一种分离装置,以解决现有技术中的分离装置的分离成功率比较低的问题。
[0006]为了实现上述目的,本专利技术提供了一种分离装置,包括:固定机构,所述固定机构包括固定吸板组件和辅助吸附平台,所述固定吸板组件为叉状结构,所述固定吸板组件相对所述辅助吸附平台固定设置,所述辅助吸附平台包括辅助吸板和驱动机构,所述驱动机构用于驱动所述辅助吸板相对所述固定吸板组件移动;所述固定吸板组件和所述辅助吸附平台分别包括吸附平面,当所述辅助吸附平台与所述固定吸板组件之间的距离最近时,所述固定吸板组件的吸附平面和所述辅助吸附平台的吸附平面位于同一平面;旋转机构,所述旋转机构包括驱动组件和薄膜吸附组件,所述驱动组件包括旋转运动的输出轴,所述驱动组件相对所述固定吸板组件固定设置,所述薄膜吸附组件与所述驱动组件的输出轴连接,所述薄膜吸附组件包括吸附平面;所述驱动组件带动所述薄膜吸附组件旋转过程中:所述薄膜吸附组件的吸附平面具有与所述固定吸板组件和所述辅助吸附平台的吸附平面相对,且所述薄膜吸附组件的吸附平面与所述固定吸板组件的吸附平面相贴合的结合位置;所述薄膜吸附组件的吸附平面具有与所述固定吸板组件和所述辅助吸附平台的吸附平面相互分离的分离位置。
[0007]进一步地,所述薄膜吸附组件包括:上盖板和下盖板,所述上盖板和所述下盖板围设形成第一密闭腔室,所述下盖板上设置有多个贯穿的小孔,所述小孔与所述第一密闭腔室连通,所述第一密闭腔室与真空设备连通。
[0008]进一步地,所述固定机构还包括第一安装板;所述驱动机构为滑台气缸,所述滑台气缸固定在所述第一安装板的侧面以驱动所述辅助吸板升降。
[0009]进一步地,所述辅助吸板与所述滑台气缸的活塞杆固定连接,所述辅助吸板包括第二密闭腔室,所述辅助吸板上均匀设置有多个第一真空吸附孔,所述第一真空吸附孔位于所述辅助吸板的吸附平面上。
[0010]进一步地,所述辅助吸板上设置有两个定位凹槽,所述叉状结构包括两个分叉结构,所述定位凹槽与一个所述分叉结构相匹配,当所述固定吸板组件的吸附平面和所述辅助吸附平台的吸附平面位于同一平面时,所述分叉结构的端部一一对应地安装在所述定位凹槽内。
[0011]进一步地,所述叉状结构包括:吸附主体,所述吸附主体安装在所述第一安装板的顶部,所述吸附主体上设置有第三密闭腔室;真空连接件,所述真空连接件与所述吸附主体的第三密闭腔室连通;两个所述分叉结构平行间隔设置在所述吸附主体上,所述分叉结构包括:上固定板,所述上固定板的第一端固定在所述吸附主体上,所述上固定板的第二端设置有多个第二真空吸附孔,所述第二真空吸附孔位于所述固定吸板组件的吸附平面上;下固定板,所述下固定板位于上固定板的底部并与所述上固定板围设形成第四密闭腔室,所述第四密闭腔室与所述第三密闭腔室连通。
[0012]进一步地,所述分离装置还包括:吹风/喷水机构,所述吹风/喷水机构包括支架和吹喷件,所述吹喷件可转动地安装在所述支架上,所述吹喷件的吹气口朝向所述固定吸板组件的吸附平面设置。
[0013]进一步地,所述吹喷件为风刀件。
[0014]进一步地,所述旋转机构还包括直线移动单元和第二安装板,所述直线移动单元相对所述叉状结构固定设置,所述直线移动单元的长度方向与所述叉状结构的长度方向一致,所述第二安装板安装在所述直线移动单元上,所述薄膜吸附组件和驱动组件均安装在所述第二安装板上。
[0015]进一步地,所述分离装置还包括底架,所述固定机构和所述旋转机构均安装在所述底架上。
[0016]应用本专利技术的技术方案,本专利技术中通过呈叉状的固定吸板组件和辅助吸附平台的共同吸附作用,能够将晶片稳定地吸附固定,同时结合旋转机构的薄膜吸附组件的吸附作用对薄膜进行吸附分离,能够提高晶片和薄膜的分离成功率。
附图说明
[0017]构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本专利技术的进一步理解,本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术,并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中:
[0018]图1示意性示出了本专利技术的分离装置的立体图;
[0019]图2示意性示出了本专利技术的平移旋转机构的立体图;
[0020]图3示意性示出了本专利技术的固定机构的立体图;
[0021]图4示意性示出了本专利技术的固定吸板组件的立体图;
[0022]图5示意性示出了本专利技术的辅助真空吸附平台的立体图;
[0023]图6示意性示出了本专利技术的吹风/喷水机构的立体图。
[0024]其中,上述附图包括以下附图标记:
[0025]10、底架;11、支撑板;12、支撑地脚;20、旋转机构;21、直线移动单元;22、第二安装
板;23、电机;24、减速机;25、减速机安装板;26、同步带组件;27、轴承座;28、转轴;29、薄膜吸附组件;30、固定机构;31、第一安装板;32、固定吸板组件;321、真空连接件;322、吸附主体;323、上固定板;3231、第二真空吸附孔;324、下固定板;33、辅助吸附平台;331、滑台气缸;332、定位板;333、辅助吸板;3331、定位凹槽;334、第一真空吸附孔;40、吹风/喷水机构;41、支架;42、风刀件。
具体实施方式
[0026]需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本专利技术。
[0027]需要注意的是,这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式,而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的,除非上下文另外明确指出,否则单数形式也意图包括复数形式,此外,还应当理解的是,当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时,其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
[0028]为了便于描述,在这里可以使用空间相对术语,如“在
……
之上”、“在
……
上方”、“在
……
上表面”、“上面的”等,用来描述如在图中所本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种分离装置,其特征在于,包括:固定机构(30),所述固定机构(30)包括固定吸板组件(32)和辅助吸附平台(33),所述固定吸板组件(32)为叉状结构,所述固定吸板组件(32)相对所述辅助吸附平台(33)固定设置,所述辅助吸附平台包括辅助吸板(333)和驱动机构,所述驱动机构用于驱动所述辅助吸板(333)相对所述固定吸板组件(32)移动;所述固定吸板组件(32)和所述辅助吸附平台(33)分别包括吸附平面,当所述辅助吸附平台(33)与所述固定吸板组件(32)之间的距离最近时,所述固定吸板组件(32)的吸附平面和所述辅助吸附平台(33)的吸附平面位于同一平面;旋转机构(20),所述旋转机构(20)包括驱动组件和薄膜吸附组件(29),所述驱动组件包括旋转运动的输出轴,所述驱动组件相对所述固定吸板组件(32)固定设置,所述薄膜吸附组件(29)与所述驱动组件的输出轴连接,所述薄膜吸附组件(29)包括吸附平面;所述驱动组件带动所述薄膜吸附组件(29)旋转过程中:所述薄膜吸附组件(29)的吸附平面具有与所述固定吸板组件(32)和所述辅助吸附平台(33)的吸附平面相对,且所述薄膜吸附组件(29)的吸附平面与所述固定吸板组件(32)的吸附平面相贴合的结合位置;所述薄膜吸附组件(29)的吸附平面具有与所述固定吸板组件(32)和所述辅助吸附平台(33)的吸附平面相互分离的分离位置。2.根据权利要求1所述的分离装置,其特征在于,所述薄膜吸附组件(29)包括:上盖板和下盖板,所述上盖板和所述下盖板围设形成第一密闭腔室,所述下盖板上设置有多个贯穿的小孔,所述小孔与所述第一密闭腔室连通,所述第一密闭腔室与真空设备连通。3.根据权利要求1所述的分离装置,其特征在于,所述固定机构(30)还包括第一安装板(31);所述驱动机构为滑台气缸(331),所述滑台气缸(331)固定在所述第一安装板(31)的侧面以驱动所述辅助吸板(333)升降。4.根据权利要求3所述的分离装置,其特征在于,所述辅助吸板(333)与所述滑台气缸(331)的活塞杆固定连接,所述辅助吸板(333)包括第二密闭腔室,所述辅助吸板(333)上均匀设置有多个第一真空吸附孔(334),所述第一真空吸附孔(334)位于所述辅助吸板(333)的吸附平面上。...

【专利技术属性】
技术研发人员:邹金成王敬苗申兵兵
申请(专利权)人:东泰高科装备科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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