The utility model discloses a wet capping Observatory for a chip, which comprises a base, an observation plate and a titration device. The observation plate is connected above the base through a support rod. An observation eyepiece is arranged on the observation plate. An opening box is arranged on the base, a heating plate is arranged at the bottom of the capping box, and an opening is arranged on the top of the capping box. The titration device has a titration tube extending from the opening into the cap opening box. The wet capping observation platform of the chip of the utility model can observe at the same time of capping and improve the working efficiency.
【技术实现步骤摘要】
一种芯片的湿法开帽观察台
本技术涉及芯片开帽
,具体涉及一种芯片的湿法开帽观察台。
技术介绍
芯片开片,又称为开盖,开封,开帽,DECAP,Decapsulation,IC去封胶,是指去除掉IC的管芯(DIE,晶圆)上面的环氧树脂或者其他成分的封装材料,露出管芯,为解密,FIB,拍照或者防止解密等做准备,现有的开帽方式主要是湿法开帽,但是现有的开帽装置需要先开帽,然后在观察,这样很容易导致开帽过程不受控制,容易损坏芯片的母片,且先开帽,然后转移母片,然后在进行观察这个过程中也容易损坏母片。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种芯片的湿法开帽观察台,本技术通过设置底座、观察板、滴定装置解决现有技术的问题。为实现上述目的,本技术的技术方案是:本技术的一种芯片的湿法开帽观察台,包括底座、观察板、滴定装置,所述的观察板通过支撑杆连接在所述底座的上方,所述的观察板上设置有观察目镜,所述的底座上设置有开帽盒,所述的开帽盒的底部设置有加热板,所述的开帽盒的顶部设置有开口,所述的滴定装置具有从所述开口伸入所述开帽盒的滴定管。作为本技术的优选,所述的加热板为陶瓷加热板。作为本技术的优 ...
【技术保护点】
1.一种芯片的湿法开帽观察台,其特征在于:包括底座(1)、观察板(2)、滴定装置(3),所述的观察板(2)通过支撑杆(4)连接在所述底座(1)的上方,所述的观察板(2)上设置有观察目镜(5),所述的底座(1)上设置有开帽盒(6),所述的开帽盒(6)的底部设置有加热板(7),所述的开帽盒(6)的顶部设置有开口(8),所述的滴定装置(3)具有从所述开口(8)伸入所述开帽盒(6)的滴定管(3‑1)。
【技术特征摘要】
1.一种芯片的湿法开帽观察台,其特征在于:包括底座(1)、观察板(2)、滴定装置(3),所述的观察板(2)通过支撑杆(4)连接在所述底座(1)的上方,所述的观察板(2)上设置有观察目镜(5),所述的底座(1)上设置有开帽盒(6),所述的开帽盒(6)的底部设置有加热板(7),所述的开帽盒(6)的顶部设置有开口(8),所述的滴定装置(3)具有从所述开口(8)伸入所述开帽盒(6)的滴定管(3-1)。2.根据权利要求1所述的一种芯片的湿法开帽观察台,其特征在于:所述的加热板(7)为陶瓷加热板。3.根据权利要求1所述的一种芯片的湿法开帽观察台,其特征在于:所述的加热板(7)与设置在所述底座(1)上的陶瓷质的倾斜台座(11)通过硅酸钠胶水胶合,所述的倾斜台座(11)的上表面相对所述加热板(7)的上表面倾斜设置。4.根据权利要求3所述的一种芯片的湿法开帽观察台...
【专利技术属性】
技术研发人员:尚跃,余夕霞,
申请(专利权)人:上海聚跃检测技术有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
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