一种利用SPM废液对溶液进行加热的装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种利用SPM废液对溶液进行加热的装置，所述装置包括：水箱，其限定了容纳溶液的腔室；SPM管道，其穿过所述水箱的腔室，用于输送SPM废液；进液管，其与所述水箱的腔室连通，将待加热的溶液输送到所述水箱的腔室；以及出液管，其与所述水箱的腔室连通，将加热后的溶液从所述水箱的腔室排出；其中，所述SPM管道中的SPM废液与所述水箱的腔室中的溶液进行热交换，使得SPM废液被冷却，溶液被加热。本发明专利技术通过SPM废液和溶液例如DIW热传导传热，达到SPM废液降温和DIW升温的效果，使SPM废液剩余的热量实现最大限度利用，达到节能减排的目的。

A device for heating solution with SPM waste liquid

The invention provides a device for heating solution by using SPM waste liquid. The device includes a water tank, which defines a chamber for holding solution; a SPM pipeline, which passes through the chamber of the water tank for transporting SPM waste liquid; a liquid inlet tube, which is connected with the chamber of the water tank, which transports the solution to be heated to the chamber of the water tank; and a liquid outlet tube, which is connected with the chamber of the water tank. The chamber is connected, and the heated solution is discharged from the chamber of the water tank, in which the SPM waste liquid in the SPM pipeline is heat exchanged with the solution in the chamber of the water tank, so that the SPM waste liquid is cooled and the solution is heated. The invention achieves the effect of cooling SPM waste liquid and increasing DIW temperature through heat conduction and heat transfer of SPM waste liquid and solution, such as DIW, so as to maximize the utilization of residual heat of SPM waste liquid and achieve the purpose of energy saving and emission reduction.

【技术实现步骤摘要】
一种利用SPM废液对溶液进行加热的装置
本专利技术涉及半导体
，具体涉及一种利用SPM废液对溶液进行加热的装置，所述溶液可以是去离子水。
技术介绍
在晶圆加工过程中，通常采用硫酸和双氧水的混合液(SPM)去除晶圆表面残留的有机物，硫酸可以使有机物脱水而碳化，而双氧水可将碳化产物氧化成一氧化碳或二氧化碳气体。由于制程的需要，SPM的使用温度为130℃左右，但是由于厂务运输的管道不能承受这么高的温度，所以SPM清洗完晶圆后要经过冷却单元冷却(冷却到50℃左右)才能排到厂务进行回收利用。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种利用SPM废液对溶液进行加热的装置，所述溶液可以是去离子水(DIW)。清洗晶圆后的130℃左右的SPM废液与厂务过来的25℃左右的DIW有一个比较大的温度差，所以可以通过热传导传热进行热交换，达到SPM废液降温和DIW升温的效果。为了实现上述目的，本专利技术提供一种利用SPM废液对溶液进行加热的装置，所述装置包括：水箱，其限定了容纳溶液的腔室；SPM管道，其穿过所述水箱的腔室，用于输送SPM废液；进液管，其与所述水箱的腔室连通，将待加热的溶液输送到所述水箱的腔室本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种利用SPM废液对溶液进行加热的装置，其特征在于，所述装置包括：水箱，其限定了容纳溶液的腔室；SPM管道，其穿过所述水箱的腔室，用于输送SPM废液；进液管，其与所述水箱的腔室连通，将待加热的溶液输送到所述水箱的腔室；以及出液管，其与所述水箱的腔室连通，将加热后的溶液从所述水箱的腔室排出；其中，所述SPM管道中的SPM废液与所述水箱的腔室中的溶液进行热交换，使得SPM废液被冷却，所述溶液被加热。

【技术特征摘要】
1.一种利用SPM废液对溶液进行加热的装置，其特征在于，所述装置包括：水箱，其限定了容纳溶液的腔室；SPM管道，其穿过所述水箱的腔室，用于输送SPM废液；进液管，其与所述水箱的腔室连通，将待加热的溶液输送到所述水箱的腔室；以及出液管，其与所述水箱的腔室连通，将加热后的溶液从所述水箱的腔室排出；其中，所述SPM管道中的SPM废液与所述水箱的腔室中的溶液进行热交换，使得SPM废液被冷却，所述溶液被加热。2.如权利要求1所述的利用SPM废液对溶液进行加热的装置，其特征在于，所述溶液为用于清洁晶圆的去离子水。3.如权利要求2所述的利用SPM废液对溶液进行加热的装置，其特征在于，所述SPM管道位于所述水箱的腔室中的部分具有螺旋形结构。4.如权利要求2所述的利用SPM废液对溶液进行加热的装置，其特征在于，所述SPM管道采用石英管制成。5.如权利要求2所述的利用SPM废液对溶液进行加热的装置，其特征在于，所述水箱、所述进液管和所述出液管采用PFA管制成。6.如权利要求1到5中任一项所述的利用SPM废液对溶液...

【专利技术属性】
技术研发人员：周至军，高英哲，张文福，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32