一种PVD设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种PVD设备，旋转动力组件、腔体、工作组件和至少两个靶材，所述腔体包括相互连通的第一腔体和第二腔体，所述第一腔体内设置所述靶材和所述旋转支撑组件，所述第二腔体内设置所述工作组件，所述靶材通过旋转支撑组件与所述旋转动力组件连接，所述靶材随所述旋转动力组件旋转，以使所述靶材其中任意一个正对所述工作组件。该PVD设备实现了至少两个靶材集中在同一腔体进行PVD工艺制造，提高腔体利用率，不改变腔室结构，降低了工艺时间，提升了PVD工艺效率。

A PVD device

【技术实现步骤摘要】
一种PVD设备
本技术涉及半导体制造设备
，特别是涉及一种PVD设备。
技术介绍
PVD设备(PhysicalVaporDeposition，简称PVD，物理气相沉积)目前采用传统工艺设备进行制造，一个腔体搭配一个靶材/加热器。这种生产工艺对设备生产效能利用率有限，且每种腔体制程固定，每次靶材使用到极限必须进行更换才能继续生产，这样增加了生产时间，降低了生产效率。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种PVD设备，该PVD设备实现至少两个靶材集中在同一腔体进行PVD工艺制造。为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种PVD设备，包括：旋转动力组件、腔体、工作组件和至少两个靶材，所述腔体包括相互连通的第一腔体和第二腔体，所述第一腔体内设置所述靶材和所述旋转支撑组件，所述第二腔体内设置所述工作组件，所述靶材通过旋转支撑组件与所述旋转动力组件连接，所述旋转动力组件用于驱动所述至少两个靶材旋转旋转，以使任意一个所述靶材与所述工作组件配合进行物理气相沉积。优选地，所述旋转动力组件包括动力组件、旋转轴和两个支撑轴，所述旋转轴包括第一端和第二端，所述第一端和所述第二端分别连接所述支撑轴，所述支撑轴用支撑件承载连接在所述第一腔体上；所述第一端或所述第二端上的所述支撑轴上安装所述动力组件，并通过传送带连接所述旋转轴，以使所述旋转轴随动力组件转动。优选地，所述旋转动力组件还包括流体滑环，所述流体滑环包括分别位于两端的静止轴和转动轴，所述静止轴与所述支撑轴连接，所述转动轴与所述旋转轴的第一端连接，靠近所述转动轴的所述旋转轴上设置有一圈水环，所述靶材的水路通过所述旋转支撑动力组件并联连接到所述水环，所述水环引出两条水路连接至所述流体滑环的转动轴，再通过所述静止轴和所述支撑轴，并做密封处理连接至外水路。优选地，所述旋转动力组件还包括导电滑环，所述导电滑环包括分别位于两端的定子和转子，所述定子与所述支撑轴连接，所述转子与所述旋转轴的第二端连接，所述靶材的电路连接至旋转轴中心，并联到所述转子上，再通过所述定子和所述支撑轴，并做密封处理连接至电源端。优选地，所述第二腔体内设有靶材定位发射组件，所述靶材上设有靶材定位接受组件。优选地，所述第一腔体与所述第二腔体之间设有腔体适配器，用于密封连接所述第一腔体和所述第二腔体。优选地，所述工作组件包括中空的上屏蔽罩和中空的下屏蔽罩，所述上屏蔽罩设有上屏蔽罩支撑动力组件，所述上屏蔽罩位于所述下屏蔽罩的内腔中，用于连通所述靶材和工件。优选地，所述工作组件底部设有工件升降组件。优选地，所述工作组件包括加热器，所述加热器与工件升降组件连接，以使所述加热器随所述工件升降组件移动。优选地，相邻所述靶材之间设置靶材组件连接密封块。综上所述，本技术提供的PVD设备，将至少两个靶材安装在旋转动力组件上，通过旋转的方式实现至少两个靶材在同一腔体内进行PVD工艺制造；通过在旋转动力组件中设置水环，并搭载流体滑环，用以解决靶材旋转造成水路管线缠绕问题；同时在旋转动力组件中搭载导电滑环，用以解决靶材旋转造成电路管线缠绕问题；在第二腔体内设有靶材定位发射组件，靶材上设有靶材定位接受组件，提升靶材的精准定位，以使所需靶材旋转到精确位置进行PVD工艺；工作组件包括上屏蔽罩和下屏蔽罩，用以保证第二腔体内部清洁；上屏蔽罩底部设有上屏蔽罩支撑动力组件，用于工作时使下屏蔽罩移动到合适的位置，起到屏蔽靶材溅射的作用。附图说明图1为本技术实施例一的PVD设备正视图；图2为图1所示PVD设备侧视图；图3为图1所示PVD设备中旋转动力组件示意图；图4为图1所示PVD设备中靶水路示意图；图5为图1所示PVD设备中靶电路示意图；其中，101-第一腔体，102-靶材，103-旋转动力组件，104-靶材组件连接密封块，105-旋转支撑组件，106-靶材定位接受器，107-靶材盖子，108-支撑杆，109-靶材定位发射器，110-腔体设配器，111-下屏蔽罩，112-第二腔体，113-上屏蔽罩支撑动力组件，114-晶圆升降组件，115-覆盖环，116-加热器，117-上屏蔽罩，201-支撑轴，202-旋转轴，203-动力组件，204-传送带，205-流体滑环，206-水环，207-水路管道，208-导电滑环，209-导线。具体实施方式本技术的目的在于一种可实现至少两个靶材集中在同一腔体进行PVD工艺制造的PVD设备。为使本技术的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图1-5对本技术提出的PVD设备作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或者位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。参阅图1，其是本技术实施例一的PVD设备正视图。本实施例的PVD设备包括旋转动力组件103、腔体、工作组件和五个靶材102，所述腔体包括相互连通的第一腔体101和第二腔体112，所述第一腔体101内设置所述靶材102和所述旋转支撑组件105，所述第二腔体112内设置所述工作组件，所述靶材102通过旋转支撑组件105与旋转动力组件103连接，靶材102绕旋转动力组件103均匀周向排列，相邻靶材102之间设置靶材组件连接密封块104，用于固定连接靶材102，所述靶材102随所述旋转动力组件103旋转，以使任意一个所述靶材102与所述工作组件配合进行物理气相沉积。当然，本领域技术人员应当明了，靶材102的数量并不仅仅局限于5个，可以是2个或者2个以上的其他数量。在本专利技术中，通过所述旋转动力组件的旋转，来更换靶材，提高了物理气相沉积的效率，节省了操作时间。第一腔体101位于第二腔体112的上端，并通过腔体适配器110使二者密封连通。第一腔体101、腔体适配器110和第二腔体112形成一密封腔体，在工作时，密封腔体处于真空状态。每个靶材102上均设置靶材盖子107，并安装有靶材定位接受器106，而第二腔体112内设有靶材定位发射器109，用于定位靶材102，使工作的靶材102旋转至合适的位置，进行PVD工艺，进而提高了PVD工艺的精度。结合图3和图1所示，其中图3为本实施例中旋转动力组件的结构示意图。旋转动力组件103包括动力组件203、旋转轴202和两个支撑轴201，所述旋转轴202包括第一端和第二端，所述第一端和所述第二端分别搭载一个所述支撑轴201，其中旋转轴202绕两个支撑轴201进行转动，所述支撑轴201用支撑杆108载连接到所述第一腔体上，用以固定旋转动力组件103；所述第一端或所述第二端上的所述支撑轴201安装所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种PVD设备，其特征在于，包括：旋转动力组件、腔体、工作组件和至少两个靶材，所述腔体包括相互连通的第一腔体和第二腔体，所述第一腔体内设置所述靶材和所述旋转动力组件，所述第二腔体内设置所述工作组件，所述靶材通过旋转支撑组件与所述旋转动力组件连接，所述旋转动力组件用于驱动所述至少两个靶材旋转，以使任意一个所述靶材与所述工作组件配合进行物理气相沉积。/n

【技术特征摘要】
1.一种PVD设备，其特征在于，包括：旋转动力组件、腔体、工作组件和至少两个靶材，所述腔体包括相互连通的第一腔体和第二腔体，所述第一腔体内设置所述靶材和所述旋转动力组件，所述第二腔体内设置所述工作组件，所述靶材通过旋转支撑组件与所述旋转动力组件连接，所述旋转动力组件用于驱动所述至少两个靶材旋转，以使任意一个所述靶材与所述工作组件配合进行物理气相沉积。


2.如权利要求1所述的PVD设备，其特征在于，所述旋转动力组件包括动力组件、旋转轴和两个支撑轴，所述旋转轴包括第一端和第二端，所述第一端和所述第二端分别连接所述支撑轴，所述支撑轴用支撑件承载连接在所述第一腔体上；所述第一端或所述第二端上的所述支撑轴上安装所述动力组件，并通过传送带连接所述旋转轴，以使所述旋转轴随动力组件转动。


3.如权利要求2所述的PVD设备，其特征在于，所述旋转动力组件还包括流体滑环，所述流体滑环包括分别位于两端的静止轴和转动轴，所述静止轴与所述支撑轴连接，所述转动轴与所述旋转轴的第一端连接，靠近所述转动轴的所述旋转轴上设置有一圈水环，所述靶材的水路通过所述旋转支撑动力组件并联连接到所述水环，所述水环引出两条水路连接至所述流体滑环的转动轴，再通过所述静止轴和所述支撑轴，并做密封处理连接至外水路。


4.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：何文，薛超，吴龙江，吴孝哲，林宗贤，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32