用于热系统的功率转换器技术方案

本公开总体上描述了一种系统，该系统包括加热器、包括功率开关的功率转换器、以及控制器。功率转换器与加热器通信，并且可操作用于将可调整的电压施加到加热器。控制器与功率开关通信，以基于加热器处的负载电流和检测到的电压中的至少一者来控制功率转换器的电压输出。控制器操作功率开关以调整功率转换器的电压输出。

Power Converter for Thermal System

The present disclosure generally describes a system comprising a heater, a power converter including a power switch, and a controller. The power converter communicates with the heater and is operable to apply an adjustable voltage to the heater. The controller communicates with the power switch to control the voltage output of the power converter based on at least one of the load current at the heater and the detected voltage. The controller operates the power switch to adjust the voltage output of the power converter.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于热系统的功率转换器
本公开涉及热系统，更具体地，涉及具有各种不同功率的热系统。
技术介绍
本节中的陈述仅提供与本公开相关的背景信息，并且可以不构成现有技术。通常，基座加热器是用于加热设置在其上的晶片的半导体加工工具。基座加热器包括加热板和设置在加热板下方的支撑轴。加热板可包括陶瓷基板和多个电阻加热元件，所述多个电阻加热元件嵌入所述陶瓷基板中以限定多个加热区。通常，在加热器启动期间将相同的功率按照相同的斜变速率向多个电阻加热元件施加。尽管对电阻加热元件施加相同的功率，但是由于例如加热区域相对于散热器的定位以及由制造不均匀导致的加热区的特性的差异，一些电阻加热元件可以比其他加热元件更快地被加热。当加热区比相邻加热区加热更快时，相邻加热区之间的温差导致不同的热膨胀并因此导致相邻加热区之间的热应力。显著的热应力会在陶瓷基板中导致热裂缝的产生。
技术实现思路
在一种形式中，本公开提供了一种热系统，所述热系统包括加热器、包括功率开关的功率转换器、以及控制器。功率转换器与加热器通信，并且可操作用于将可调整的电压施加到加热器。控制器与功率开关通信，以基于加热器处的电流和电压中的至少一者来控制功率转换本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种热系统，所述热系统包括：加热器；功率转换器，所述功率转换器包括功率开关，所述功率转换器与所述加热器通信，其中所述功率转换器可操作用于将可调整的电压施加到所述加热器；以及控制器，所述控制器与所述功率开关通信以基于在所述加热器处的电流和电压中的至少一者来控制所述功率转换器的电压输出，其中所述控制器操作所述功率开关以调整所述功率转换器的所述电压输出。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.06.15 US 62/350,2751.一种热系统，所述热系统包括：加热器；功率转换器，所述功率转换器包括功率开关，所述功率转换器与所述加热器通信，其中所述功率转换器可操作用于将可调整的电压施加到所述加热器；以及控制器，所述控制器与所述功率开关通信以基于在所述加热器处的电流和电压中的至少一者来控制所述功率转换器的电压输出，其中所述控制器操作所述功率开关以调整所述功率转换器的所述电压输出。2.根据权利要求1所述的热系统，其特征在于，所述功率转换器包括降压转换器，所述降压转换器包括所述功率开关。3.根据权利要求1所述的热系统，其特征在于，所述控制器进一步包括具有微处理器的电子器件。4.根据权利要求1所述的热系统，其特征在于，所述功率开关是场效应晶体管(FET)。5.根据权利要求1所述的热系统，其特征在于，所述控制器基于一个或多个限制来对给到所述加热器的输入电压进行缩放。6.根据权利要求5所述的热系统，其特征在于，所述一个或多个限制包括感测到的参数值，所述感测到的参数值包括电压、电流和瓦特数中的至少一者。7.根据权利要求1所述的热系统，其特征在于，所述控制器将给到所述加热器的输入电压缩放到小于全线电压的值。8.根据权利要求1所述的热系统，其特征在于，所述控制器将给到所述加热器的输入电压缩放到预设的最小值与预设的最大值之间。9.根据权利要求1所述的热系统，其特征在于，所述控制器基于控制算法来对给到所述加热器的输入电压进行缩放。10.根据权利要求9所述的热系统，其特征在于，所述控制器基于所述加热器的所述电流和所述电压来确定电阻，并且基于所述电阻来对所述输入电压进行缩放。11.根据权利要求1所述的热系统，其特征在于，所述控制器将给到所述加热器的输入电压缩放到施加给所述加热器的电压限制量。12.根据权利要求1所述的热系统，进一步包括多个加热器和多个功率转换器，使得所述加热器中的每一个加热器由所述功率转换器中的一个或多个控制。13.根据权利要求1所述的热系统，其特征在于，所述控制器确...

【专利技术属性】
技术研发人员：S·霍普金斯布雷特洛，J·莱姆克，J·亨特吉斯，K·内斯，E·艾里斯，W·博林格，
申请(专利权)人：沃特洛电气制造公司，
类型：发明
国别省市：美国,US