晶圆片盒悬挂机构制造技术

本发明专利技术提供了一种晶圆片盒悬挂机构，涉及半导体晶圆加工技术领域。晶圆片盒悬挂机构包括片盒转动部件和倾斜调节部件；片盒转动部件包括通过铰接轴铰接连接的片盒挂板和固定板，片盒挂板用于安放晶圆片盒，固定板固定设置；倾斜调节部件能够带动片盒挂板相对于固定板转动，以调整安放在片盒挂板上的晶圆片盒的倾斜角度。解决了现有技术中，晶圆在清洗槽内倾斜角度无法改变，在不同工况条件下，无法达到最佳的晶圆清洗效果的技术问题。本发明专利技术通过设置倾斜调节部件实现对片盒挂板与固定板之间角度的调节，实现对不同工况的晶圆清洗的更好的效果。

Wafer box suspension mechanism

The invention provides a wafer box suspension mechanism, which relates to the technical field of semiconductor wafer processing. The wafer box suspension mechanism consists of a wafer box rotating component and an inclination adjusting component; the wafer box rotating component includes a wafer box hanging plate and a fixing plate articulated by an articulated shaft; the wafer box hanging plate is used to place the wafer box, and the fixing plate is fixed; the inclination adjusting component can drive the wafer box hanging plate to rotate relative to the fixing plate to adjust the inclination angle of the wafer box mounted on the wafer box hanging plate. \u3002 In the prior art, the tilt angle of the wafer in the cleaning tank can not be changed, and the optimal cleaning effect of the wafer can not be achieved under different working conditions. The invention realizes the angle adjustment between the hanging plate and the fixing plate of the wafer box by setting an inclined adjusting component, and achieves better effect of wafer cleaning under different working conditions.

【技术实现步骤摘要】
晶圆片盒悬挂机构
本专利技术涉及半导体晶圆加工过程领域，尤其是涉及一种晶圆片盒悬挂机构。
技术介绍
随着半导体及相关产业的不断扩大和发展，对晶圆清洗的工艺要求也越来越高。晶圆的清洗一般会用到超声清洗槽和晶圆片盒悬挂机构，晶圆片盒悬挂机构放置在超声清洗槽内。需要对晶圆进行清洗时，直接将晶圆放置在晶圆片盒悬挂机构上夹持的晶圆片盒内，且使得清洗槽内的清洗液的液面超出晶圆片盒，通过清洗槽内的超声波装置实现对清洗液的振动，进而实现对晶圆的清洗。一般当晶圆相对于超声波装置的超声振板有一定角度时清洗效果会比垂直时好些。而且不同规格的晶圆，以及不同清洗工况的条件下的最佳倾斜角度也有所不同。但是现有的晶圆片盒悬挂机构的倾斜角度不可调，无法满足不同晶圆清洗时对晶圆倾斜角度的要求，从而无法达到最佳的清洗效果；为了适应不同工况，并满足清洗要求，只能更换晶圆片盒悬挂机构，费时费力且成本高。而且，晶圆片盒悬挂机构只能放置一种规格的晶圆片盒，需要对不同规格的晶圆片盒进行清洗时，还需要对晶圆片盒悬挂机构进行替换，这就需要有多个不同的晶圆片盒悬挂机构，生产成本高。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种晶圆片盒悬挂机本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆片盒悬挂机构，其特征在于，所述晶圆片盒悬挂机构包括片盒转动部件和倾斜调节部件；所述片盒转动部件包括通过铰接轴铰接连接的片盒挂板和固定板，所述片盒挂板用于安放晶圆片盒，所述固定板固定设置；所述倾斜调节部件能够带动所述片盒挂板相对于所述固定板转动，以调整安放在片盒挂板上的晶圆片盒的位置。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆片盒悬挂机构，其特征在于，所述晶圆片盒悬挂机构包括片盒转动部件和倾斜调节部件；所述片盒转动部件包括通过铰接轴铰接连接的片盒挂板和固定板，所述片盒挂板用于安放晶圆片盒，所述固定板固定设置；所述倾斜调节部件能够带动所述片盒挂板相对于所述固定板转动，以调整安放在片盒挂板上的晶圆片盒的位置。2.根据权利要求1所述的晶圆片盒悬挂机构，其特征在于，所述倾斜调节部件包括连接柱和调节固定部；所述连接柱的一端与片盒挂板铰接连接，所述连接柱的另一端穿过所述固定板，且所述连接柱的另一端能够相对所述固定板移动，以调整片盒挂板相对与固定板的偏转角度；所述调节固定部能够将连接柱与固定板相对固定。3.根据权利要求2所述的晶圆片盒悬挂机构，其特征在于，所述倾斜调节部件还包括连接轴；所述固定板上设有安装孔，所述连接轴转动连接在固定板的安装孔内，所述连接轴长度方向的中部设置有通孔，所述连接柱的另一端穿过所述通孔。4.根据权利要求2所述的晶圆片盒悬挂机构，其特征在于，所述调节固定部包括第一锁母，所述连接柱的外侧设有螺纹；所述第一锁母套接在连接柱上，且与连接柱上的螺纹连接，所述第一锁母设置在连接轴的靠近...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈苏伟，吴光庆，宋文超，吴娖，秦亚奇，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11