集成电路制造用移送装置制造方法及图纸

集成电路制造用移送装置能够将收容光掩膜的EUV盒体从收容所述EUV盒体的EUV盒体运载体搬出或将所述EUV盒体搬入所述EUV盒体运载体内。所述集成电路制造用移送装置可包括运载体端口、盒体端口、移送部件及离子发生器等。所述EUV盒体运载体可配置于所述运载体端口上，所述EUV盒体可配置于所述盒体端口上。所述移送部件可自动工作以在所述运载体端口及所述盒体端口之间沿着预先设定的路径移送所述EUV盒体。所述离子发生器在利用所述移送部件将所述EUV盒体从所述EUV盒体运载体搬出或将所述EUV盒体搬入所述EUV盒体运载体内时可从所述移送部件及所述EUV盒体去除静电。

Transfer Device for Integrated Circuit Manufacturing

The transfer device for integrated circuit manufacturing can remove the receiving photomask EUV box from the EUV box carrier receiving the EUV box body or move the EUV box body into the EUV box carrier. The transfer device for integrated circuit manufacturing may include a carrier port, a box port, a transfer component and an ion generator, etc. The EUV box carrier can be configured on the carrier port, and the EUV box can be configured on the box port. The transfer component can automatically work to transfer the EUV box along a predetermined path between the carrier port and the box port. The ion generator can remove static electricity from the transfer component and the EUV box when removing the EUV box from the EUV box carrier or moving the EUV box into the EUV box carrier by using the transfer component.

【技术实现步骤摘要】
集成电路制造用移送装置本申请享有2017年11月30日向韩国特许厅申请的韩国专利申请第10-2017-0162646的优先权。
本专利技术的例示实施例涉及集成电路制造用移送装置。更详细来讲，本专利技术的例示实施例涉及能够将极紫外(EUV：extremeultraviolet)盒体(POD)从EUV盒体运载体搬出，能够搬入所述EUV盒体运载体内的集成电路制造用移送装置。
技术介绍
为了制造半导体装置、平板显示装置等集成电路，可通过光刻(photolithography)工程之类的单位工程在基板上形成具有所需电路构成的图案。这种光刻工程可利用具有对应于形成到所述基板上的所述图案的电路构成的构成的光掩膜(reticle)。大体可使用配置收容所述光掩膜的EUV盒体的EUV盒体运载体移送所述光掩膜。例如，可以从所述EUV盒体运载体移送收容所述光掩膜的EUV盒体，或者可以将收容所述光掩膜的所述EUV盒体移送到所述EUV盒体运载体内。将所述EUV盒体从所述EUV盒体运载体搬出或将所述EUV盒体搬入所述EUV盒体运载体内时，以往由作业人员控制所述EUV盒体的动作。即，所述EUV盒体的动作由所述作业人本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种集成电路制造用移送装置，其能够将收容光掩膜的极紫外盒体从收容所述极紫外盒体的极紫外盒体运载体搬出，能够将所述极紫外盒体搬入所述极紫外盒体运载体内,其特征在于，包括：运载体端口，其上部被配置所述极紫外盒体运载体；盒体端口，其上部被配置所述极紫外盒体；移送部件，其通过自动工作在所述运载体端口及所述盒体端口之间沿着预先设定的路径移送所述极紫外盒体；以及离子发生器，其在利用所述移送部件将所述极紫外盒体从所述极紫外盒体运载体搬出或将所述极紫外盒体搬入所述极紫外盒体运载体内时从所述移送部件及所述极紫外盒体去除静电。

【技术特征摘要】
2017.11.30 KR 10-2017-01626461.一种集成电路制造用移送装置，其能够将收容光掩膜的极紫外盒体从收容所述极紫外盒体的极紫外盒体运载体搬出，能够将所述极紫外盒体搬入所述极紫外盒体运载体内,其特征在于，包括：运载体端口，其上部被配置所述极紫外盒体运载体；盒体端口，其上部被配置所述极紫外盒体；移送部件，其通过自动工作在所述运载体端口及所述盒体端口之间沿着预先设定的路径移送所述极紫外盒体；以及离子发生器，其在利用所述移送部件将所述极紫外盒体从所述极紫外盒体运载体搬出或将所述极紫外盒体搬入所述极紫外盒体运载体内时从所述移送部件及所述极紫外盒体去除静电。2.根据权利要求1所述的集成电路制造用移送装置，其特征在于：所述集成电路制造用移送装置还包括第一重量测定部件及第二重量测定部件，所述第一重量测定部件在所述极...

【专利技术属性】
技术研发人员：李政勋，金泳宇，孙旺贤，孔泰景，朴峻彻，朴鲁宰，姜辉才，李瑟，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR