温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

集成电路制造用移送装置能够将收容光掩膜的EUV盒体从收容所述EUV盒体的EUV盒体运载体搬出或将所述EUV盒体搬入所述EUV盒体运载体内。所述集成电路制造用移送装置可包括运载体端口、盒体端口、移送部件及离子发生器等。所述EUV盒体运载体可配...
该专利属于细美事有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过细美事有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。