一种涂胶显影设备的传送臂制造技术

一种涂胶显影设备的传送臂，包括装配基座和机械臂，所述的机械臂安装于所述的装配基座上，机械臂由主臂和环臂组成，环臂为缺口圆环结构，环臂通过主臂同装配基座固接，环臂朝向圆心的一侧上均匀设置若干个一级指托，一级指托包括固接段、阶差段以及支承段，一级指托通过固接段固接于环臂上，支承段通过阶差段形成低于固接段的一个高度差，于一级指托的支承段外侧面设置二级指托，二级指托支承面高度低于支承段的支承面高度。通过在传送臂上设置多级指托，使得一个传送臂可以适应多种尺寸的晶片，且避免了传送臂更换的繁琐操作，极大程度上拓宽了传送臂的普遍适用性，提高了涂胶显影的工作效率，同时降低了传送臂的生产成本和购买成本。

A conveyor arm of glue-coated developing equipment

The transmission arm of a glue-coated developing equipment includes an assembly base and a mechanical arm. The mechanical arm is mounted on the assembly base. The mechanical arm consists of a main arm and a ring arm. The ring arm is a notched ring structure. The ring arm is fixed with the assembly base through the main arm, and the ring arm is evenly arranged with several first-order finger brackets on one side of the center. First-level finger support includes fixed segment, step difference segment and support segment. First-level finger support is fixed on the ring arm through the fixed segment. The support segment forms a height difference below the fixed segment through the step difference segment. Second-level finger support is set on the outer side of the support segment of first-level finger support, and the support surface height of second-level finger support is lower than the support surface height of the support segment. By setting multi-level finger on the transmission arm, a transmission arm can adapt to various sizes of wafers, and avoid the tedious operation of the replacement of the transmission arm, which greatly broadens the universal applicability of the transmission arm, improves the efficiency of glue coating and development, and reduces the production cost and purchase cost of the transmission arm.

【技术实现步骤摘要】
一种涂胶显影设备的传送臂
本技术涉及半导体集成电路制作领域，尤其涉及一种涂胶显影设备的传送臂。
技术介绍
目前，在半导体器件的制造中，通常利用涂胶显影设备(ACT)进行涂覆光刻胶和显影。通常涂胶显影设备具有承载台、涂胶单元、显影单元以及传送臂等。首先，涂胶显影设备通过传送臂将承载台上的晶片取出放置到涂胶单元进行涂胶，之后将晶片放到曝光设备进行曝光，曝光完成后再将晶片放置到显影单元进行显影，显影结束后将晶片放回承载台。传送臂负责将晶片在设备内部各个单元间进行传送，但现有的涂胶显影设备的传送臂均具有唯一适用性，因此，常见的传送臂多数为生产8吋晶片而设计，随着LED产业及其它新型器件的兴起，需要设备适用其他尺寸的蓝宝石片或其它衬底基片的生产，一方面其他尺寸的设备产量少，购买上存在一定难度，另一方面，为了适用不同的尺寸而购买不同尺寸的设备，极大地增加了生产成本。为此，申请号为201621374618.5的专利设计了一种在一个设备上设置双尺寸的机械手臂，根据所需传送的晶片尺寸的不同而采用不同的机械手臂，在一定程度上解决了现有技术的不足。但是该方案采用的双机械臂只能用于传送8寸和4寸的晶片，实用范围依然受限，并且在使用过程中，根据传送晶片的尺寸不同，需要不停更换对应尺寸的机械手臂，一方面机械手臂的经常性装卸更换耗时费力，降低了生产效率，另一方面，这种经常性的装卸行为容易出现连接松动、固接不稳的情况，带来更多的检修问题，此外，采用双机械臂的结构增加了材料成本，同时也增加了机械臂自身的重量，对机械手臂的固接和支撑部件损耗更大。因此，需要对现有技术进行有效创新。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种涂胶显影设备的传送臂，通过设计新的传送臂结构，使得一个传送臂可以适应多种尺寸的晶片，且避免了传送臂更换的繁琐操作，极大程度上拓宽了传送臂的普遍适用性，提高了涂胶显影的工作效率，同时降低了传送臂的生产成本和购买成本。为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：一种涂胶显影设备的传送臂，包括装配基座和机械臂，所述的机械臂安装于所述的装配基座上，机械臂由主臂和环臂组成，环臂为缺口圆环结构，环臂通过主臂同装配基座固接，环臂朝向圆心的一侧上均匀设置若干个一级指托，一级指托包括固接段、阶差段以及支承段，一级指托通过固接段固接于环臂上，支承段通过阶差段形成低于固接段的一个高度差，于一级指托的支承段外侧面设置二级指托，二级指托支承面高度低于支承段的支承面高度；相应的，环臂上均匀设置三个一级指托，三个一级指托上分别设置三个二级指托，可以在采用最少的指托数量的情况下保证晶片放置的稳定性；相应的，阶差段为斜向设置，且阶差段对应的垂直高度大于等于晶片的厚度，避免晶片在传送中掉落；相应的，二级指托同支承段支承面的高度差大于等于晶片的厚度，避免晶片在传送中掉落；相应的，若干个支承段连线成圆环形，圆环的内圆直径小于晶片直径，且圆环的外圆直径大于晶片直径，保证晶片完全处于支承段的支承范围；相应的，若干个二级指托连线成圆环形，圆环的内圆直径小于晶片直径，且圆环的外圆直径大于晶片直径，保证晶片完全处于二级指托的支承范围；相应的，支承段连线形成的圆环外圆直径为20cm，适用于八吋的晶片；相应的，二级指托形成的圆环内圆直径为15cm，适用于六吋的晶片；相应的，一个传送臂上至少设置一级指托、二级指托这两级或两级以上的多级指托；相应的，固接段宽度为1.1cm，阶差段宽度为0.75cm，斜度45°，支承段宽度为2.5cm，二级指托宽度为1.5cm，二级指托支承面同支承段支承面的高度差为0.3cm。本技术的有益效果：通过在传送臂上设置多级指托，使得一个传送臂可以适应多种尺寸的晶片，且避免了传送臂更换的繁琐操作，极大程度上拓宽了传送臂的普遍适用性，提高了涂胶显影的工作效率，同时降低了传送臂的生产成本和购买成本。附图说明图1是本技术实施例中所述的传送臂的结构示意图；图2是指托的侧面结构示意图；图3是三个支承段连线成圆环形的示意图；图4是三个二级指托连线成圆环形的示意图；图中：1、装配基座；2、主臂；3、环臂；41、固接段；42、阶差段；43、支承段；5、二级指托。具体实施方式如图1、2所示，涂胶显影设备的传送臂，包括装配基座1和机械臂，所述的机械臂安装于所述的装配基座1上，机械臂由主臂2和环臂3组成，环臂3为缺口圆环结构，环臂3通过主臂2同装配基座固接，环臂3朝向圆心的一侧上均匀设置若干个一级指托，一级指托包括固接段41、阶差段42以及支承段43，一级指托通过固接段41固接于环臂3上，支承段43通过阶差段42形成低于固接段41的一个高度差，于一级指托的支承段43外侧面设置二级指托5，二级指托5支承面43高度低于支承段43的支承面高度。如图3所示，以在环臂3上设置三个一级指托，并在一级指托上设置二级指托5，一级指托用于承载八吋的晶片，二级指托5用于承载六吋的晶片为例进行说明。设定固接段宽度为1.1cm，阶差段宽度为0.75cm，斜度45°，支承段宽度为2.5cm，二级指托宽度为1.5cm，二级指托支承面同支承段支承面的高度差为0.3cm，阶差段42作为固接段41和支承段43的过渡段，使得支承段43同固接段41间存在一个高度差为(0.75^2)/2cm，且该高度差等于八吋晶片的厚度，使得八吋的晶片放置于支承段43上时，正好沉入支承段43和阶差段42的夹持范围，放置更为稳妥，避免八吋晶片在传送中掉落，同理，二级指托5同支承段43支承面的高度差0.3cm等于六吋晶片的厚度也是为了便于六吋晶片放置的稳妥。将三个支承段43连线成圆环形(只是进行虚拟连线可构成圆环)，圆环的外圆直径大于八吋晶片直径，保证了一级指托的实用性。如图4所示，将三个二级指托5连线成圆环形(只是进行虚拟连线可构成圆环)，圆环的内圆直径小于六吋晶片直径，且圆环的外圆直径大于六吋晶片直径，让六吋晶片的横截面面积处于内圆面积于外圆面积之间，保证了二级指托5的实用性。此外，对于更多不同尺寸的晶片，只需根据晶片的尺寸，在一个环臂3上依次设置多级指托，各级指托满足高度差大于等于该级指托所需承载晶片的厚度，并保证晶片的横截面积处于该级指托虚拟连线构成的圆环的内圆面积和外圆面积之间即可。如需承载四吋晶片，因四吋晶片小于六吋晶片，就在原来用于承载六吋晶片的二级指托5上设置三级指托，如果需承载的是十吋的晶片，因其大于八吋的晶片，将承载十吋晶片的作为一级指托设置于环臂3上即可，以此类推，该传送臂适用性更广，且节省了生产材料、降低了生产成本、提高了生产效率。此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种涂胶显影设备的传送臂，包括装配基座和机械臂，机械臂安装于装配基座上，其特征在于：所述的机械臂由主臂和环臂组成，环臂为缺口圆环结构，环臂通过主臂同装配基座固接，环臂朝向圆心的一侧上均匀设置若干个一级指托，一级指托包括固接段、阶差段以及支承段，一级指托通过固接段固接于环臂上，支承段通过阶差段形成低于固接段的一个高度差，于一级指托的支承段外侧面设置二级指托，二级指托支承面高度低于支承段的支承面高度。

【技术特征摘要】
1.一种涂胶显影设备的传送臂，包括装配基座和机械臂，机械臂安装于装配基座上，其特征在于：所述的机械臂由主臂和环臂组成，环臂为缺口圆环结构，环臂通过主臂同装配基座固接，环臂朝向圆心的一侧上均匀设置若干个一级指托，一级指托包括固接段、阶差段以及支承段，一级指托通过固接段固接于环臂上，支承段通过阶差段形成低于固接段的一个高度差，于一级指托的支承段外侧面设置二级指托，二级指托支承面高度低于支承段的支承面高度。2.根据权利要求1所述的一种涂胶显影设备的传送臂，其特征在于：所述的环臂上均匀设置三个一级指托，三个一级指托上分别设置三个二级指托。3.根据权利要求1所述的一种涂胶显影设备的传送臂，其特征在于：所述的阶差段为斜向设置，且阶差段对应的垂直高度大于等于晶片的厚度。4.根据权利要求1所述的一种涂胶显影设备的传送臂，其特征在于：所述的二级指托同支承段支承面的高度差大于等于晶片的厚度。5.根据权利要求1所述的一种涂胶显影设备的...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘青，俞韶兵，
申请(专利权)人：上海精典电子有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31