显影机的花篮摇摆架制造技术

本实用新型专利技术涉及一种显影机的花篮摇摆架，包括摆杆和用来安置花篮的花篮座，所述花篮座的一端与摆杆的底部固定连接；所述花篮座包括两个并排布置的用来支撑两端有花篮臂的花篮杆的承载臂，以及位于承载臂外侧的锁止座；每一个承载臂上均设有用来卡装2个花篮臂中的一个花篮臂的卡槽；所述锁止座包括挡板、连接板和固定座，所述连接板的底部与固定座固定连接，挡板与连接板的顶部固定连接，且挡板位于固定座的上方，所述固定座的内侧设有用来卡装另一个花篮臂的凹槽。本实用新型专利技术能够适用多种类型花篮，而且能够有效防止花篮晃动，并对花篮进行锁止。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种摇摆架，具体涉及一种显影机的花篮摇摆架。
技术介绍
硅片在用显影机进行显影工序时，需要先将硅片放置在花篮上，花篮上有多个用来插装硅片的插槽，然后将花篮装在摇摆架上，而花篮浸没在显影机的显影池内的显影液中，即可实施。一方面，已有的用来承载硅片的花篮有单排插槽，有的是双排插槽，那根据不同的花篮，就要有不同的摇摆架进行配套使用，这样，就导致一种摇摆架不能适用于多种类型花篮使用，而是需要多个配套的摇摆架，因此，不仅占用空间大，而且根据不同产品在实施显影时，就需要装配不同的摇摆架，使得工作效率低。另一方面，现有的花篮装在摇摆架上后，会因摇摆架摆动或显影液产生的浮力导致花篮会晃动，一旦花篮发生晃动，就会使得花篮上的硅片也晃动，不仅会影响硅片的显影，严重时，还会导致硅片因晃动而发生破裂的情况发生，直接造成硅片为废料。
技术实现思路
本技术所述摇摆架，是专门用来与显影机的花篮配置使用的摇摆架。本技术的目的是：提供一种不仅能够适用多种类型花篮，而且能够有效防止花篮晃动，并对花篮进行锁止的显影机的花篮摇摆架，以克服现有技术的不足。为了达到上述目的，本技术的技术方案是：一种显影机的花篮摇摆架，包括摆杆和用来安置花篮的花篮座，所述花篮座的一端与摆杆的底部固定连接；其创新点在于：所述花篮座包括两个并排布置的用来支撑两端有花篮臂的花篮杆的承载臂，以及位于承载臂外侧的锁止座；每一个承载臂上均设有用来卡装2个花篮臂中的一个花篮臂的卡槽；所述锁止座包括挡板、连接板和固定座，所述连接板的底部与固定座固定连接，挡板与连接板的顶部固定连接，且挡板位于固定座的上方，所述固定座的内侧设有用来卡装另一个花篮臂的凹槽。在上述技术方案中，所述每一个承载臂上均设有一个或两个卡槽，所述固定座的内侧设有与一个或两个卡槽相对应的凹槽。在上述技术方案中，所述摆杆的顶部设有铰接座，底部设有连接座，且连接座与花篮座的一端固定连接。本技术所具有的积极效果是：采用本技术的摇摆架后，由于本技术所述花篮座包括两个并排布置的用来支撑两端有花篮臂的花篮杆的承载臂，每一个承载臂上均设有用来卡装2个花篮臂中的一个花篮臂的卡槽，这样，具有单排插槽的花篮或双排插槽的花篮都可与本技术配套使用，不仅减少了配备的辅助工装，占用空间小，而且根据不同产品在实施显影时，使得本技术能够适用于多种不同类型的花篮，有效提高了工作效率；又由于所述花篮座还包括位于承载臂外侧的锁止座，所述锁止座包括挡板、连接板和固定座，所述连接板的底部与固定座固定连接，挡板与连接板的顶部固定连接，且挡板位于固定座的上方，所述固定座的内侧设有用来卡装另一个花篮臂的凹槽，这样，在与花篮配套使用时，先将花篮的一个花篮臂卡装在固定座的凹槽内，再将花篮的花篮杆支撑在承载臂上，并且另一个花篮臂卡装在卡槽内，配装后的花篮杆位于挡板的下方，这样，硅片在实施显影时，就不会因摆杆的摆动或显影液产生的浮力，而导致花篮发生晃动的现象，也就使得花篮上的硅片不会晃动，使得硅片实施显影工序的质量好，也不会发生硅片因晃动而产生破裂的情况，大大减少了硅片在该工序产生废料的数量，实现了本技术的目的。附图说明图1是本技术一种具体实施方式的结构示意图；图2是图1的右视示意图；图3是图1的俯视示意图；图4是图1的A-A剖视示意图；图5图1的B-B剖视示意图；图6是本技术一种使用状态示意图；图7是图6的右视示意图；图8是本技术另一种使用状态示意图。具体实施方式以下结合附图以及给出的实施例，对本技术作进一步的说明，但并不局限于此。如图1、2、3、4、5、6、7、8所示，一种显影机的花篮摇摆架，包括摆杆1和用来安置花篮3的花篮座2，所述花篮座2的一端与摆杆1的底部固定连接；所述花篮座2包括两个并排布置的用来支撑两端有花篮臂3-2的花篮杆3-1的承载臂2-1，以及位于承载臂2-1外侧的锁止座2-2；每一个承载臂2-1上均设有用来卡装2个花篮臂3-1中的一个花篮臂的卡槽2-1-1；所述锁止座2-2包括挡板2-2-1、连接板2-2-2和固定座2-2-3，所述连接板2-2-2的底部与固定座2-2-3固定连接，挡板2-2-1与连接板2-2-2的顶部固定连接，且挡板2-2-1位于固定座2-2-3的上方，所述固定座2-2-3的内侧设有用来卡装另一个花篮臂3-2的凹槽2-2-3-1。如图2、7所示，为了使得结构更加合理，所述挡板2-2-1与连接板2-2-相互垂直。如图3、4、5所示，为了便于与不同规格的装载硅片的花篮3配用，所述每一个承载臂2-1上均设有一个或两个卡槽2-1-1，所述固定座2-2-3的内侧设有与一个或两个卡槽2-1-1相对应的凹槽2-2-3-1。如图1、2、6、8所示，为了便于与显影机的转轴装连，以及使得摆杆的结构更加合理，使得使用寿命长，所述摆杆1的顶部设有铰接座1-1，底部设有连接座1-2，且连接座1-2与花篮座2的一端固定连接。如图6、7所示，单排插槽的花篮3包括单排硅片插槽和一个花篮杆3-1，所述花篮杆3-1的两端分别设有方形的花篮臂3-2；如图8所示，双排插槽的花篮3包括双排硅片插槽和两个平行布置的花篮杆，每一个花篮杆的两端均设有方形的花篮臂。上述两种规格的花篮与本技术配套使用时，花篮杆是支撑在花篮座2的承载臂2-1上的。将具有单排插槽的花篮3（如图6、7所示）或双排插槽的花篮3（如图8所示）与本技术配套使用，使用时，先将花篮3的一个花篮臂3-2卡装在固定座2-2-3的凹槽2-2-3-1内，再将花篮杆3-1支撑在承载臂2-1上，并令花篮3的另一个花篮臂3-2卡装在卡槽2-1-1内，配装后的花篮3的花篮杆3-1位于挡板2-2-1的下方，不仅减少了配备的辅助工装，占用空间小，而且根据不同产品在实施显影时，就无需另外再配备相匹配的摇摆架，使得本技术能够适用于多种不同类型的花篮，有效提高了工作效率；硅片在实施显影时，就不会因摆杆的摆动或显影液产生的浮力，而导致花篮发生晃动的现象，也就使得花篮上的硅片不会晃动，使得硅片实施显影工序的质量好，也不会发生硅片因晃动而产生破裂的情况，大大减少了硅片在该工序产生废料的数量。本技术小试结果显示，其效果是十分满意的。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显影机的花篮摇摆架，包括摆杆（1）和用来安置花篮（3）的花篮座（2），所述花篮座（2）的一端与摆杆（1）的底部固定连接；其特征在于：所述花篮座（2）包括两个并排布置的用来支撑两端有花篮臂（3‑2）的花篮杆（3‑1）的承载臂（2‑1），以及位于承载臂（2‑1）外侧的锁止座（2‑2）；每一个承载臂（2‑1）上均设有用来卡装2个花篮臂（3‑1）中的一个花篮臂的卡槽（2‑1‑1）；所述锁止座（2‑2）包括挡板（2‑2‑1）、连接板（2‑2‑2）和固定座（2‑2‑3），所述连接板（2‑2‑2）的底部与固定座（2‑2‑3）固定连接，挡板（2‑2‑1）与连接板（2‑2‑2）的顶部固定连接，且挡板（2‑2‑1）位于固定座（2‑2‑3）的上方，所述固定座（2‑2‑3）的内侧设有用来卡装另一个花篮臂（3‑2）的凹槽（2‑2‑3‑1）。

【技术特征摘要】
1.一种显影机的花篮摇摆架，包括摆杆（1）和用来安置花篮（3）的花篮座（2），所述花篮座（2）的一端与摆杆（1）的底部固定连接；其特征在于：
所述花篮座（2）包括两个并排布置的用来支撑两端有花篮臂（3-2）的花篮杆（3-1）的承载臂（2-1），以及位于承载臂（2-1）外侧的锁止座（2-2）；每一个承载臂（2-1）上均设有用来卡装2个花篮臂（3-1）中的一个花篮臂的卡槽（2-1-1）；
所述锁止座（2-2）包括挡板（2-2-1）、连接板（2-2-2）和固定座（2-2-3），所述连接板（2-2-2）的底部与固定座（2-2-3）固定连接，挡板（2-2-1）与连接板（2-2...

【专利技术属性】
技术研发人员：高宝华，
申请(专利权)人：常州银河电器有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32