A wafer counting device includes a counting unit, a rolling unit and an auxiliary unit. The counting unit includes a positioning block and a photoelectric sensor. A number of partitions are arranged on the positioning block, and photoelectric sensors are arranged on the same side of the partition. The photoelectric sensor includes a transmitter and a receiver, alternately arranged at the transmitter and the receiver, and an external counting circuit board of the photoelectric sensor. A rolling unit and an auxiliary unit parallel to the positioning block are respectively arranged on both sides of the positioning block. The rolling unit comprises a rolling shaft and a baffle structure. Several baffle structures are evenly arranged on the rolling shaft. The auxiliary unit provides an auxiliary supporting role for the wafer, including a support shaft with several grooves. The device is simple in structure and easy to operate automatically. It can well cooperate with the flower basket loaded with wafers to count. It can effectively compensate for the lack of wafer counting device, reduce labor costs and improve production efficiency.
【技术实现步骤摘要】
晶圆的计数装置
本技术涉及半导体集成电路制造领域,尤其涉及对花篮中的晶圆进行计数的装置。
技术介绍
在集成电路制造过程中,晶圆在各个不同设备中进行流转,对于晶圆只是进行简单的传送,例如在晶圆的送片系统中,只是负责对晶圆进行简单传送,对于晶圆的送入和取出数量都没有自动统计装置,需要进行人工统计,极大的增加了统计成本,降低了制造效率。因此,针对以上缺陷,需要对现有技术进行有效创新。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种晶圆的计数装置,该装置结构简单易自动化操作,可以很好的配合装载晶圆的花篮进行计数,有效弥补晶圆计数装置的缺失,降低人工成本的同时提高生产效率。为实现上述目的,本技术采用如下技术方案:晶圆的计数装置,包括计数单元、滚动单元和辅助单元,所述计数单元包括定位块和光电传感器,所述定位块上设置若干个隔块,于所述隔块的同一侧设置光电传感器,当晶圆插入隔块间时,便于光电传感器对晶圆进行计数,所述光电传感器包括发射端和接收端,发射端和接收端交替设置,光电传感器外接计数线路板,晶圆处于光电传感器的发射端和接收端之间,阻挡了光电传感器发射端发出的光线,由此实现晶圆的计数,在定位块两侧方向上分别设置同所述定位块平行的滚动单元和辅助单元,所述滚动单元包括滚动轴和隔板结构,所述滚动轴上均匀设置若干个所述隔板结构,通过滚动轴的滚动带动晶圆的旋转,直至晶圆上的缺口或平边旋转到同一方向,保证了晶圆放置的统一性,所述的辅助单元对晶圆提供一个辅助支撑作用,包括设置有若干个凹槽的支撑轴;相应的,隔块的间隔同装载晶圆的花篮侧壁上的竖形插槽对应设置,保证花篮内的晶圆可以对应插入隔块形成的间隔中 ...
【技术保护点】
1.晶圆的计数装置,包括计数单元、滚动单元和辅助单元,其特征在于:所述计数单元包括定位块和光电传感器,所述定位块上设置若干个隔块,于所述隔块的同一侧设置光电传感器,所述光电传感器包括发射端和接收端,发射端和接收端交替设置,光电传感器外接计数线路板,在定位块两侧方向上分别设置同所述定位块平行的滚动单元和辅助单元,所述滚动单元包括滚动轴和隔板结构,所述滚动轴上均匀设置若干个所述隔板结构,所述的辅助单元包括设置有若干个凹槽的支撑轴。
【技术特征摘要】
1.晶圆的计数装置,包括计数单元、滚动单元和辅助单元,其特征在于:所述计数单元包括定位块和光电传感器,所述定位块上设置若干个隔块,于所述隔块的同一侧设置光电传感器,所述光电传感器包括发射端和接收端,发射端和接收端交替设置,光电传感器外接计数线路板,在定位块两侧方向上分别设置同所述定位块平行的滚动单元和辅助单元,所述滚动单元包括滚动轴和隔板结构,所述滚动轴上均匀设置若干个所述隔板结构,所述的辅助单元包括设置有若干个凹槽的支撑轴。2.根据权利要求1所述的晶圆的计数装置,其特征在于:所述隔块的间隔同装载晶圆的花篮侧壁上的竖形插槽对应设置。3.根据权利要求1所述的晶圆的计数装置,其特征在于:所述隔板结构和凹槽均同隔块对应设置,隔板结构所形成的间隔和凹槽均同对应的隔块间形成的间隔处于...
【专利技术属性】
技术研发人员:钱勇,张志峰,
申请(专利权)人:上海精典电子有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
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