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本发明提供了一种晶圆片盒悬挂机构，涉及半导体晶圆加工技术领域。晶圆片盒悬挂机构包括片盒转动部件和倾斜调节部件；片盒转动部件包括通过铰接轴铰接连接的片盒挂板和固定板，片盒挂板用于安放晶圆片盒，固定板固定设置；倾斜调节部件能够带动片盒挂板相对于...该专利属于北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）所有，仅供学习研究参考，未经过北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）授权不得商用。