【技术实现步骤摘要】
一种带有中心承片圈的蒸镀装置
本技术涉及电子
,具体说是一种蒸镀装置。
技术介绍
现有的蒸镀设备结构形式很多,典型的是硅晶圆紧贴行星锅体,该结构在蒸发过程中造成硅晶圆与行星锅粘连,造成硅晶圆在取出时碎裂;另外,现有的结构采用两个螺丝之间的角度为110°,由于角度过大,蒸镀过程中,温度变化较大,而由于温度造成的热缩力及膨胀力在两个螺丝之间直接压迫硅晶圆,容易造成硅晶圆碎裂。此外,现有的蒸镀锅每次对硅晶圆的蒸镀数量较少。
技术实现思路
为解决上述技术问题,本技术的目的是提供一种行星锅,可有效解决上述技术问题,具体技术方案如下:一种带有中心承片圈的蒸镀装置,包括电机、支架、支撑臂、行星锅及坩埚;电机带动支架旋转,支撑臂的一端与支架固定,支撑臂的另外一端与行星锅的转轴轴接;行星锅在轨道上自转;电子束轰击坩埚内的源,源内物质均匀蒸发到即公转又自转的行星锅内,从而均匀蒸发到固定在行星锅内侧的硅晶圆上;行星锅上设置多个通孔,所述通孔内设置承片圈,硅晶圆设置在所述承片圈内的凸台上,硅晶圆的外侧设置盖板,所述盖板外侧与锅盖抵接;所述锅盖固定在行星锅转轴上。所述行星锅的材料为工业纯钛。所述锅盖内侧设置弹片,所述弹片的位置与盖板的位置对应。本技术的优点是:采用钛为原料的行星锅,保证了一次蒸镀能加工更多数量的硅晶圆。材料更改的优点是:行星锅材料由316L不锈钢修改为工业纯钛,其优点是:A.由于工业纯钛的密度仅为4.51g/cm3,而316L不锈钢的密度为7.98g/cm3,在相同体积下,钛金属行星锅比316L不锈钢行星锅轻45%。这样就减轻了操作工人的体力劳动,提高生产效率。B.由 ...
【技术保护点】
1.一种带有中心承片圈的蒸镀装置,其特征在于:包括电机、支架、支撑臂、行星锅及坩埚;电机带动支架旋转,支撑臂的一端与支架固定,支撑臂的另外一端与行星锅的转轴轴接;行星锅在轨道上自转;电子束轰击坩埚内的源,源内物质均匀蒸发到即公转又自转的行星锅内,从而均匀蒸发到固定在行星锅内侧的硅晶圆上;行星锅上设置多个通孔,所述通孔内设置承片圈,锅盖固定在行星锅转轴上;所述锅盖内侧设置弹片,所述弹片的位置与盖板的位置对应;所述承片圈为圆盘型,所述承片圈的背部设置拉簧,所述拉簧一端固定在承片圈的圆心,另外一端固定有挂钩,所述挂钩嵌入承片圈径向端部的沟槽内并将硅晶圆固定在承片圈的另外一层。
【技术特征摘要】
1.一种带有中心承片圈的蒸镀装置,其特征在于:包括电机、支架、支撑臂、行星锅及坩埚;电机带动支架旋转,支撑臂的一端与支架固定,支撑臂的另外一端与行星锅的转轴轴接;行星锅在轨道上自转;电子束轰击坩埚内的源,源内物质均匀蒸发到即公转又自转的行星锅内,从而均匀蒸发到固定在行星锅内侧的硅晶圆上;行星锅上设置多个通孔,所述通孔内设置承片圈,锅盖固定在行星锅转轴上;所述锅盖内侧设置弹片,所述弹片的...
【专利技术属性】
技术研发人员:王玉泉,
申请(专利权)人:丹东英普朗特科技有限公司,
类型:新型
国别省市:辽宁,21
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