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本实用新型公开一种带有中心承片圈的蒸镀装置，包括电机、支架、支撑臂、行星锅及坩埚；电机带动支架旋转，支撑臂的一端与支架固定，支撑臂的另外一端与行星锅的转轴轴接；行星锅在轨道上自转；电子束轰击坩埚内的源，源内物质均匀蒸发到即公转又自转的行星锅...
该专利属于丹东英普朗特科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过丹东英普朗特科技有限公司授权不得商用。

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