离子注入机离子源电极插座制造技术

本实用新型专利技术离子注入机离子源电极插座，由座体（１），在座体（１）上开设有锥形插孔（２）、导线连接插孔（３）、导线固定锁紧螺钉（４），在锥形插孔（２）内设有与其配合的锥形开口销套（５）构成。电极通过销套（５）插入，在锥面的配合下挤压箍紧，接触性好，配合紧密，使用可靠。（*该技术在2014年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及的是电极插座，特别是用于离子注入机离子源的电极插座。
技术介绍
现有NV-6200型离子注入机离子源电极的插座是在座体内设有弹簧片插孔结构构成。离子注入机离子源的电极经常插拔，弹簧片插孔结构在使用中容易造成松动、存留脏物和锈蚀氧化，使电阻变大，另外弹簧片与电极配合面较小，压力较小，紧密配合不够，接触电阻较大，在70安培电流下极易发热温升，易造成弹簧片弹性下降，造成电阻进一步变大，导致接触电阻恶性循环，造成电极插座和电极过热，直至烧毁，影响整个设备。
技术实现思路
本技术的目的是针对上述问题，提供一种结构简单，配合紧密，使用可靠，特别是用于离子注入机离子源的电极插座。本技术由座体1，在座体1上开设有锥形插孔2、导线连接插孔3、导线固定锁紧螺钉4，在锥形插孔2内设有与其配合的锥形开口销套5构成。本技术电极8插入锥形开口销套5，在锥面的挤压配合下，对电极8形成很强的挤压箍紧力。其结构简单，接触性好，配合紧密，接触电阻小，具有良好的导电连接性能，保证了使用的可靠性。附图说明图1是本技术结构示意图。图2是图1的A-A剖视图。具体实施方式本技术由座体1，在座体1上开设有锥形插孔2、导线连接插本文档来自技高网...

【技术保护点】
离子注入机离子源电极插座，其特征是由座体（１），在座体（１）上开设有锥形插孔（２）、导线连接插孔（３）、导线固定锁紧螺钉（４），在锥形插孔（２）内设有与其配合的锥形带开口的销套（５）构成，锥形开口销套（５）的开口至少是两个，或者是十字花形开口。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王玉泉，
申请(专利权)人：丹东英普朗特科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：21[中国|辽宁]