【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种宽带束流离子源引出电极运动控制系统，尤其的涉及离子注入机，属于半导体器件制造设备领域。
技术介绍
在半导体制造工艺设备离子注入机中，离子源引出电极是整机设备关键部件之一，其与离子源本体结合在一起构成离子注入机的核心部件——离子源系统；其决定了离子注入机诸多性能指标，不仅决定离子源系统的引出束流大小、引出能量大小、引出束流品质及束稳定性能，同时与离子注入机其他光学部件匹配结合决定整机离子光学系统的束流传输效率和整机的生产效率。 宽带束流离子源引出电极采用的是加减速三电极结构，反复实验及长期使用情况表明，引出电极上的引出缝相对于离子源腔体的引出缝之间位置对离子引出束流及束品质有着极其重要的影响。带装束流离子源要求从离子源发出的离子束具有较大的宽度，本专利所涉及的离子源束流宽度超过了 300mm，为了使这么宽的束流能有效引出，满足集成电路工艺和生产的要求，必须保证引出电极的引出缝和离子源腔体的引出缝在同一水平面上，并且保持平行。
技术实现思路
本专利技术即是针对上述要求而提出的一种结构简单、可靠性高的宽带束流离子源引出电极运动控制系统。本专利技术通过以下...
【技术保护点】
本专利技术提供宽带束流离子源引出电极运动控制系统，包括：主控计算机(1)、光纤通信卡(2)、四轴电机运动控制卡(3)、Y1轴直流电机(4)、Y2轴直流电机(5)、Z1轴直流电机(6)、Z2轴直流电机(7)、Y1轴直线位移电位器(8)、Y2轴直线位移电位器(9)、Z1轴直线位移电位器(10)、Z1轴直线位移电位器(11)、条行引出电极(12)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张继恒，伍三忠，彭立波，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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