一种快速寻找束流最大值的方法技术

本发明专利技术阐述了一种快速寻找束流最大值的方法，其特征在于在改变电源输入值，寻找束流最大值的过程中，通过缓存记忆电源输入的三个值及其对应的束流值作为三组分析数据，并且对这三组数据进行趋势判断，来寻找束流最大值。本方法涉及离子注入机，属于半导体制造领域。束流值与电源设定值宏观上呈一个二次曲线的关系(1)，当电源设定到某个值时，束流值达到最大。本方法会缓存三个具有一定关系的电源设定值及所对应的束流值作为三组分析数据，这三组数据可能有三种情况：上升趋势(2)，二次曲线趋势(3)，下降趋势(4)。通过分析这三组趋势找到最大的束流值。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及离子注入机寻找束流最大值的方法。此方法通过缓存记忆电源输入的三个值及其对应的束流值作为三组分析数据，并且对这三组数据进行趋势判断，来寻找束流最大值。
技术介绍
半导体集成电路制造工艺已发展到12英寸晶片、纳米技术节点时期。随着晶圆片尺寸越来越大，单元器件尺寸越来越小，对半导体工艺设备的性能要求也就越来越高。离子注入机是半导体集成电路器件制造工艺中必不可少的关键设备。为了提高离子注入机的性能，使其满足现代大晶圆片、纳米器件生产工艺的要求和适应将来半导体工艺技术的发展，必须要开发高效的全自动控制系统。 离子注入机中，有许多的电源，包括高压源，电流源等等。这些电源的控制好坏直接影响了引出束流的稳定性。通过更改电源设定值来寻找束流的最大值，是通过扫描一段区间内的束流值来获取的。这样对于电源的设定值做了限制，而且通常时间也比较长。
技术实现思路
本专利技术主要是为了更加准确，快速的寻找到束流的最大值。具体步骤如下<1>根据不同电源，获取电源个性配置值，包括趋势差值DV，电源改变步长值SV (5)。〈2>获取初始的三组数据。将此时电源设定值及束流值作为第一组数据(ax，ay)(6)，然后计算新的电源设定值(bx = ax+SV)并将其设定到电源(7)，待电源稳定后，将电源设定值及束流值作为第二组数据(bx, by) (8),再计算新的电源设定值(cx = bx+SV)并将其设定到电源(9)，待电源稳定后，将电源设定值及束流值作为第三组数据(CX，Cy)(10)。〈3>判断三组数据的趋势。接收到三组数据值(11)，将第二组束流值减去第一组束流值得到差值D21，D21与趋势差值DV作比较(12)如果D21大于DV (13)，则将第三组束流值减去第二组束流值得到差值D32，D32与趋势差值DV作比较(15):若D32小于DV (17)，则此时获得了类似于(3)所描述的二次曲线趋势(21),接下来就可以获得取束流最大值时电源设定值SetPoint = ax+(cx_ax) *0. 68,完成，退出(25);若032大于DV(18)，则此时获得了类似于(2)所描述的上升趋势(22)。如果D21小于DV (14)，第三组束流值减去第二组束流值得到差值D32，D32与趋势差值DV作比较(16):若D32小于DV(19)，则获得了类似于(4)所描述的下降趋势(23);若DD32大于DV (20)，则趋势判断出错，退出(24)。〈4>根据获得的趋势更新数据，递归执行寻找束流最大值。根据获得的趋势来计算新的设定值，如果是上升趋势，则将第一组数据舍弃，将后两组数据前移，即ax = bx,ay =by,bx = cx,by = cy。cx = bx+SV,设定新值并获取新的束流值cy.如果是下降趋势,则将第三组数据舍弃，同时将前两组数据后移，即cx = bx, cy = by, bx = ax, by = ay. ax =bx-SV,设定新值并获取新的束流值ay (26)，然后将新获得的三组数据传递给趋势判断算法(11)，进行下一轮的判断。本专利技术具有如下显著优点I.对于电源的扫描范围无限制。2.更加快速。具体实施例方式下面结合具体实施例对本专利技术作进一步详细描述，但不作为对本专利技术专利的限·定。如图2所示，我们想要扫描聚焦电源的设定值来获取最大的束流值。首先获取电源聚焦电源的个性配置值，例如趋势差值O. 002mA,电源改变步长值O. 5kV。然后获取初始的三组数据。将此时聚焦电源设定值及束流值作为第一组数据，例如(IOkV，I. 500mA) (6)，然后计算新的电源设定值(bx = 10kV+0. 5Kv = 10. 5kV)并将其设定到聚焦电源(7)，待聚焦电源稳定后，将设定值及束流值作为第二组数据，例如(10. 5kV，I.510mA) (8)，再计算新的电源设定值(cx = 10. 5kV+0. 5kV = IlkV)并将其设定到电源(9)，待电源稳定后，将电源设定值及束流值作为第三组数据，例如(llkV，1.511) (10)。接下来判断这三组数据的趋势。将第二组束流值减去第一组束流值得到差值D21=O. 010mA, D21 与趋势差值 DV (O. 002mA)作比较(12)此时的D21 (O. OlOmA)大于DV(O. 002mA) (13)，然后将将第三组束流值减去第二组束流值得到差值 D32 = I. 51 ImA-L 510mA = O. 001mA, D32 (O. OOlmA)与趋势差值DV (O. 002mA)作比较(15):此时的D32 (O. OOlmA)是小于DV (O. 002mA) (17)的，考虑到误差及束流波动等因素，我们认为第三组数据的上升趋势是不成立，则我们获得了类似于(3)所描述的二次曲线趋势(21)，接下来就可以获得取束流最大值时电源设定值SetPoint =IOkV+(IlkV-IOkV) *0. 68 = 10. 68kV，完成，退出(25)。如果获得的是其他趋势，则更改设定值后反复执行，直至获得二次曲线趋势。附图说明图I为数据趋势说明图。图2为流程控制说明图本专利技术的特定实施例已对本专利技术的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本专利技术精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本专利技术专利的侵犯，将承担相应的法律责任。权利要求1.其特征在于会缓存三组电源设定值及对应的束流值作为分析数据。2.其特征在于会将三组数据分为三种趋势上升趋势(2)，二次曲线趋势(3)，下降趋势(4)，其他趋势报错。3.其特征在于在判断数据趋势时，会将三组数据差与一个定值做比较，用以减少数据采集误差及束流抖动带来影响。4.其特征在于通过递归调用的方法来不断更新三组数据，从而得到新的趋势，最后得到目标数据。5.其特征在于最后取得电源设定值时，采用了黄金分割的方法来获得。全文摘要本专利技术阐述了，其特征在于在改变电源输入值，寻找束流最大值的过程中，通过缓存记忆电源输入的三个值及其对应的束流值作为三组分析数据，并且对这三组数据进行趋势判断，来寻找束流最大值。本方法涉及离子注入机，属于半导体制造领域。束流值与电源设定值宏观上呈一个二次曲线的关系(1)，当电源设定到某个值时，束流值达到最大。本方法会缓存三个具有一定关系的电源设定值及所对应的束流值作为三组分析数据，这三组数据可能有三种情况上升趋势(2)，二次曲线趋势(3)，下降趋势(4)。通过分析这三组趋势找到最大的束流值。文档编号H01J37/317GK102956425SQ20111024113公开日2013年3月6日 申请日期2011年8月22日 优先权日2011年8月22日专利技术者周文龙, 唐景庭, 杨亚兵 申请人:北京中科信电子装备有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种快速寻找束流最大值的方法其特征在于：会缓存三组电源设定值及对应的束流值作为分析数据。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周文龙，唐景庭，杨亚兵，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：