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本发明阐述了一种快速寻找束流最大值的方法，其特征在于在改变电源输入值，寻找束流最大值的过程中，通过缓存记忆电源输入的三个值及其对应的束流值作为三组分析数据，并且对这三组数据进行趋势判断，来寻找束流最大值。本方法涉及离子注入机，属于半导体制造...
该专利属于北京中科信电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科信电子装备有限公司授权不得商用。

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