一种高温气相沉积炉体结构制造技术

本实用新型专利技术公开一种高温气相沉积炉体结构，包括上圈、中圈及下圈；所述上圈包括不锈钢环，不锈钢环下方是套装结构的两个纤维环，所述中圈为沿轴向设置的两个纤维环；所述下圈包括沿轴向设置的两个纤维环，最下面的纤维环的下方设置不锈钢圈底，所述不锈钢圈底内设置岩棉；所述不锈钢圈底上设置通孔；不锈钢圈底的下方设置定位套管及调节螺丝组件；所述上圈与中圈间为上壁，所述上壁由两个纤维环组成；所述中圈与下圈间为下壁，所述下壁由两个纤维环组成；上圈及下圈间设置螺杆穿套成一整体。本实用新型专利技术的优点是：炉体分段设置，并且，根据炉体温度的要求不同，可相应设置不同的厚度及形状；更换方便。

A high temperature vapor deposition furnace structure

The utility model discloses a structure of a high temperature vapor deposition furnace body, including an upper ring, a middle ring and a lower ring; the upper ring comprises a stainless steel ring, and two fiber rings of a suit structure are arranged under the stainless steel ring, and the middle ring is two fiber rings arranged along the axial direction; the lower ring comprises two fiber rings arranged along the axial direction, and the lowest one. A stainless steel ring bottom is arranged below the fiber ring, and a rock wool is arranged inside the stainless steel ring bottom; a through hole is arranged on the stainless steel ring bottom; a positioning sleeve and a regulating screw assembly are arranged below the stainless steel ring bottom; the upper ring and the middle ring are in the middle of the upper wall, and the upper wall is composed of two fiber rings; the middle ring and the lower ring are in the lower wall; The lower wall is composed of two fiber rings, and a screw rod is arranged between the upper ring and the lower ring to form a whole. The utility model has the advantages that the furnace body is arranged in sections, and different thickness and shape can be set accordingly according to the different temperature requirements of the furnace body, and the replacement is convenient.

【技术实现步骤摘要】
一种高温气相沉积炉体结构
本技术涉及电子技术设备领域，具体说是一种气相沉积炉。
技术介绍
现有的气相沉积炉的炉体结构有很多种，一般炉体为筒形结构，筒壁由单层耐热纤维组成，在单层耐热纤维的外侧设置不锈钢外壁，该结构虽然简单，但保温效果不好，尤其是如果某一位置出现破损，需要更换整个炉体，造成极大的损失。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术的目的是提供一种炉体，可有效解决上述技术问题，具体技术方案如下：一种高温气相沉积炉体结构，上圈、中圈及下圈；所述上圈包括不锈钢环，不锈钢环下方是套装结构的两个纤维环，所述中圈为沿轴向设置的两个纤维环；所述下圈包括沿轴向设置的两个纤维环，最下面的纤维环的下方设置不锈钢圈底，所述不锈钢圈底内设置岩棉；所述不锈钢圈底上设置通孔；不锈钢圈底的下方设置定位套管及调节螺丝组件；所述上圈与中圈间为上壁，所述上壁由两个纤维环组成；所述中圈与下圈间为下壁，所述下壁由两个纤维环组成；上圈及下圈间设置螺杆穿套成一整体。本技术的优点是：炉体分段设置，并且，根据炉体温度的要求不同，可相应设置不同的厚度及形状；更换方便。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为调节螺丝组件示意图。具体实施方式下面结合附图，具体说明本技术，如图1所示，本技术包括包括上圈100、中圈200及下圈300；所述上圈包括不锈钢环1，不锈钢环1下方是套装结构的两个纤维环2、3，所述中圈为沿轴向设置的两个纤维环6、7；所述下圈包括沿轴向设置的两个纤维环10、11，最下面的纤维环11的下方设置不锈钢圈底15，所述不锈钢圈底15内设置岩棉13；所述不锈钢圈底15上设置通孔；不锈钢圈底15的下方设置定位套管14及调节螺丝组件17；所述上圈100与中圈200间为上壁400，所述上壁400由两个纤维环4、5组成；所述中圈200与下圈300间为下壁500，所述下壁500由两个纤维环8、9组成；上圈及下圈间设置螺杆20、21穿套成一整体。如图2所示，调节螺丝组件17包括探管172，所述探管172通过螺母171固定在半陶瓷体173上。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高温气相沉积炉体结构，其特征在于：包括上圈、中圈及下圈；所述上圈包括不锈钢环，不锈钢环下方是套装结构的两个纤维环，所述中圈为沿轴向设置的两个纤维环；所述下圈包括沿轴向设置的两个纤维环，最下面的纤维环的下方设置不锈钢圈底，所述不锈钢圈底内设置岩棉；所述不锈钢圈底上设置通孔；不锈钢圈底的下方设置定位套管及调节螺丝组件；所述上圈与中圈间为上壁，所述上壁由两个纤维环组成；所述中圈与下圈间为下壁，所述下壁由两个纤维环组成；上圈及下圈间设置螺杆穿套成一整体。

【技术特征摘要】
1.一种高温气相沉积炉体结构，其特征在于：包括上圈、中圈及下圈；所述上圈包括不锈钢环，不锈钢环下方是套装结构的两个纤维环，所述中圈为沿轴向设置的两个纤维环；所述下圈包括沿轴向设置的两个纤维环，最下面的纤维环的下方设置不锈钢圈底，...

【专利技术属性】
技术研发人员：王玉泉，
申请(专利权)人：丹东英普朗特科技有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁,21