管式化学气相沉积仪及其炉门装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种管式化学气相沉积仪及其炉门装置，炉门装置包括第一位移机构、第二位移机构以及炉门本体。第一位移机构包括第一导引件及第一滑动件。第一导引件固定于炉管且位于管口一侧，且沿垂直于管口所在平面的第一水平方向延伸。第一滑动件滑动设于第一导引件且由第一驱动件驱动。第二位移机构包括第二导引件及第二滑动件。第二导引件固定于第一滑动件，且沿垂直于第一水平方向的第二水平方向延伸。第二滑动件滑动设于第二导引件且由第二驱动件驱动。炉门本体通过炉门支架固定连接于第二滑动件，炉门本体为实心结构。

Tubular chemical vapor deposition apparatus and its furnace door device

The utility model discloses a tube type chemical vapor deposition instrument and a furnace door device, and the furnace door device comprises a first displacement mechanism, a second displacement mechanism and a furnace door body. The first displacement mechanism comprises a first guide part and a first sliding member. The first guide is fixed on the furnace tube and is located at one side of the pipe mouth and extends along the first horizontal direction perpendicular to the plane of the pipe mouth. The first slide is slid on the first guide and is driven by the first drive. The second displacement mechanism comprises second guide parts and two sliding parts. The second guide is fixed to the first slide and extends along the second horizontal direction perpendicular to the first horizontal direction. The second slide is located on the second guide and is driven by the second drive part. The furnace door body is fixedly connected to the second sliding part through the furnace door bracket, and the furnace door body is a solid structure.

【技术实现步骤摘要】
管式化学气相沉积仪及其炉门装置
本技术涉及管式化学气相沉积仪
，具体而言，涉及一种管式化学气相沉积仪及其炉门装置。
技术介绍
光伏晶体硅太阳能电池生产的主要流程包括：制绒、扩散、湿法刻蚀、减反射薄膜制备、丝网印刷电极、烧结及测试分选。其中，产业化的光伏太阳能电池减反射薄膜的制备，常采用管式或链式增强型等离子体化学气相沉积仪(PECVD，PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)，其工作原理是借助微波或射频电源等使含有薄膜组成原子的气体，在真空炉腔内形成等离子体，利用较强的等离子体化学活性，通过化学反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。该沉积方法具有产能高、成膜均匀、自动化程度高、成本低等优势。现有的管式PECVD仪真空腔管的炉门通常设有有石英观察窗，长时间多频次的抽真空工作过程中，石英观察窗处的小密封圈、炉门处的三个密封圈(由炉门外至内逐渐变大，均比观察窗处密封圈大)会因为炉管较高温度(400-450℃)而变形，导致管式PECVD仪的真空腔炉管气密性下降。同时，石英观察窗密封圈在变形初始阶段，真空腔炉管气密性下降不明显，薄膜淀积压力变化不大，表面上看减反射薄膜的外观颜色无差异，但是对沉积致密性减反射薄膜造成困扰。另外，产业化减反射薄膜制备过程中，在炉管内或石英观察窗上残留白色粉末颗粒，需要定期清理以保持干净。加之，观察窗口处密封圈与石英玻璃是用胶体粘在一起，更换密封圈时，相应的石英窗也需要同时更换掉。再者，设置有石英观察窗的炉门，采用的是旋转和直线两个不同气缸来工作，尤其旋转气缸运作时用时较长，且对所能够承载的炉门的重量有一定限制。基于上述现有的管式PECVD仪真空腔管的炉门设计，会对电池产业化生产造成不利影响。炉门的密封性直接影响了沉积仪炉管的真空气密性。炉门上众多备件或易耗品，如气缸、密封圈、传感器等都型号有异，无法单品内互相通用。观察窗的存在，给设备维护保养造成了耗费工时长。旋转气缸的使用，使炉门开/关用时较长，影响生产产能，并且对炉门重量有一定限制
技术实现思路
本技术的一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种密封性能良好、通用性较强且结构简单的炉门装置。本技术的另一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种具有上述炉门装置的管式化学气相沉积仪。为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：根据本技术的一个方面，提供一种炉门装置，其安装于管式化学气相沉积仪的炉管的管口处。其中，所述炉门装置包括第一位移机构、第二位移机构以及炉门本体。所述第一位移机构包括第一导引件及第一滑动件。所述第一导引件固定于所述炉管且位于所述管口的一侧，且沿垂直于所述管口所在平面的第一水平方向延伸。第一滑动件滑动设于所述第一导引件且由第一驱动件驱动。所述第二位移机构包括第二导引件及第二滑动件。所述第二导引件固定于所述第一滑动件，且沿垂直于第一水平方向的第二水平方向延伸。所述第二滑动件滑动设于所述第二导引件且由第二驱动件驱动。所述炉门本体通过炉门支架固定连接于所述第二滑动件，所述炉门本体为实心结构。其中，所述炉门装置通过所述第二位移机构控制所述炉门本体在第二水平方向上移动，并通过所述第一位移机构控制所述炉门本体在第一水平方向上移动，从而控制所述炉门本体封闭或开启所述管口。根据本技术的其中一个实施方式，所述第一导引件为导杆，所述第一滑动件为滑套，所述滑套套设于所述导杆。根据本技术的其中一个实施方式，所述第一位移机构包括多根导杆，多根所述导杆在水平方向上平行间隔设置，每根所述导杆上分别套设有所述滑套，所述第二导引件固定于多个所述滑套。根据本技术的其中一个实施方式，所述第一位移机构还包括距离传感器。所述距离传感器设于所述第一滑动件，用以检测所述炉门本体与所述管口的相对距离，并将相应的感应信号传递至所述第一驱动件，以使所述第一驱动件调节所述第一滑动件的运动状态。根据本技术的其中一个实施方式，所述第二位移机构为直线导轨，所述第二导引件为所述直线导轨的导轨，所述第二滑动件为所述直线导轨的滑块，所述炉门本体通过所述炉门支架固定连接于所述滑块。根据本技术的其中一个实施方式，所述炉门装置还包括导轨座。所述导轨座固定于所述第一滑动件，所述第二导引件固定于所述导轨座内。根据本技术的其中一个实施方式，所述第二位移机构还包括限位传感器。所述限位传感器设于所述导轨座，用以检测所述炉门本体在第二水平方向上的位置，并将相应的感应信号传递至所述第二驱动件，以使所述第二驱动件调节所述第二滑动件的运动状态。根据本技术的其中一个实施方式，所述炉门装置还包括炉门导向机构。所述炉门导向机构包括第三导引件以及第三滑动件。所述第三导引件固定于所述第一滑动件且与所述第二导引件平行相对设置。所述第三滑动件滑动设于所述第三导引件且连接于所述炉门支架；其中，所述炉门本体通过所述炉门支架随所述第二滑动件沿所述第二导引件滑动时，所述炉门支架带动所述第三滑动件沿所述第三导引件滑动，以对所述炉门本体导向。根据本技术的其中一个实施方式，所述第三滑动件与所述炉门支架为一体结构。根据本技术的另一个方面，提供一种管式化学气相沉积仪，包括炉管，所述炉管开设有管口。其中，所述管式化学气相沉积仪还包括上述各实施方式所述的炉门装置。所述炉门本体分别由所述第一位移机构和所述第二位移机构驱动而在第一水平方向和第二水平方向上相对所述管口移动，从而控制所述炉门本体封闭或开启所述管口。由上述技术方案可知，本技术提出的管式化学气相沉积仪及其炉门装置的优点和积极效果在于：本技术提出的管式化学气相沉积仪及其炉门装置，通过第一位移机构和第二位移机构的设计，实现炉门本体相对于管口的两个方向上的移动，能够实现实心结构的炉门本体的全封闭状态，从而实现炉门本体对管口的封闭，其密封性能良好。另外，本技术通用性较强且结构简单，单品内可互相通用，方便采购和炉门维修，炉门开/关操作用时缩短，提高生产产能。附图说明通过结合附图考虑以下对本技术的优选实施方式的详细说明，本技术的各种目标、特征和优点将变得更加显而易见。附图仅为本技术的示范性图解，并非一定是按比例绘制。在附图中，同样的附图标记始终表示相同或类似的部件。其中：图1是根据一示例性实施方式示出的一种炉门装置的结构示意图；图2是图1示出的炉门装置的俯视图。其中，附图标记说明如下：111.导杆；112.滑套；121.导轨；122.滑块；131.炉门本体；132.炉门支架；140.导轨座；151.导向轨；210.炉管；220.管口；X.第一水平方向；Y.第二水平方向。具体实施方式体现本技术特征与优点的典型实施例将在以下的说明中详细叙述。应理解的是本技术能够在不同的实施例上具有各种的变化，其皆不脱离本技术的范围，且其中的说明及附图在本质上是作说明之用，而非用以限制本技术。在对本技术的不同示例性实施方式的下面描述中，参照附图进行，所述附图形成本技术的一部分，并且其中以示例方式显示了可实现本技术的多个方面的不同示例性结构、系统和步骤。应理解，可以使用部件、结构、示例性装置、系统和步骤的其他特定方案，并且可在不偏离本实用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种炉门装置，安装于管式化学气相沉积仪的炉管的管口处，其特征在于，所述炉门装置包括：第一位移机构，其包括：第一导引件，固定于所述炉管且位于所述管口的一侧，且沿垂直于所述管口所在平面的第一水平方向延伸；及第一滑动件，滑动设于所述第一导引件且由第一驱动件驱动；第二位移机构，其包括：第二导引件，固定于所述第一滑动件，且沿垂直于第一水平方向的第二水平方向延伸；及第二滑动件，滑动设于所述第二导引件且由第二驱动件驱动；以及炉门本体，通过炉门支架固定连接于所述第二滑动件，所述炉门本体为实心结构；其中，所述炉门装置通过所述第二位移机构控制所述炉门本体在第二水平方向上移动，并通过所述第一位移机构控制所述炉门本体在第一水平方向上移动，从而控制所述炉门本体封闭或开启所述管口。

【技术特征摘要】
1.一种炉门装置，安装于管式化学气相沉积仪的炉管的管口处，其特征在于，所述炉门装置包括：第一位移机构，其包括：第一导引件，固定于所述炉管且位于所述管口的一侧，且沿垂直于所述管口所在平面的第一水平方向延伸；及第一滑动件，滑动设于所述第一导引件且由第一驱动件驱动；第二位移机构，其包括：第二导引件，固定于所述第一滑动件，且沿垂直于第一水平方向的第二水平方向延伸；及第二滑动件，滑动设于所述第二导引件且由第二驱动件驱动；以及炉门本体，通过炉门支架固定连接于所述第二滑动件，所述炉门本体为实心结构；其中，所述炉门装置通过所述第二位移机构控制所述炉门本体在第二水平方向上移动，并通过所述第一位移机构控制所述炉门本体在第一水平方向上移动，从而控制所述炉门本体封闭或开启所述管口。2.根据权利要求1所述的炉门装置，其特征在于，所述第一导引件为导杆，所述第一滑动件为滑套，所述滑套套设于所述导杆。3.根据权利要求2所述的炉门装置，其特征在于，所述第一位移机构包括多根导杆，多根所述导杆在水平方向上平行间隔设置，每根所述导杆上分别套设有所述滑套，所述第二导引件固定于多个所述滑套。4.根据权利要求1所述的炉门装置，其特征在于，所述第一位移机构还包括：距离传感器，设于所述第一滑动件，用以检测所述炉门本体与所述管口的相对距离，并将相应的感应信号传递至所述第一驱动件，以使所述第一驱动件调节所述第一滑动件的运动状态。5.根据权利要求1所述的炉门装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：和江变，邢智龙，于洋，张国文，周聪林，
申请(专利权)人：内蒙古日月太阳能科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：内蒙古,15