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本实用新型公开一种高温气相沉积炉体结构，包括上圈、中圈及下圈；所述上圈包括不锈钢环，不锈钢环下方是套装结构的两个纤维环，所述中圈为沿轴向设置的两个纤维环；所述下圈包括沿轴向设置的两个纤维环，最下面的纤维环的下方设置不锈钢圈底，所述不锈钢圈底...
该专利属于丹东英普朗特科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过丹东英普朗特科技有限公司授权不得商用。

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