An integrated closed type graphite cartridge, consisting of a graphite box body, a graphite cover matching the body of a graphite box, and a graphite gasket for placing the pre deposited substrate. The graphite cover is located on the graphite box body, and the graphite gasket is arranged in the body of a stone cartridge and separated into an upper chamber and used for placing the gasified substance. In the lower cavity, the through holes are evenly distributed on the graphite gasket, and a transverse groove and/or a longitudinal groove are arranged on the graphite gasket for placing the pre-deposited substrate. The deposited film of the utility model is more uniform and repeatable, and the solid reaction concentration is high, the reaction pressure is increased, and the reaction is more rapid, and the contact between the gas and the pre deposited substrate is more uniform and full.
【技术实现步骤摘要】
一种一体式封闭式石墨盒
本技术属于薄膜化学气相沉积
,特别涉及一种一体式封闭式石墨盒。
技术介绍
化学气相沉积法是一种典型的无机合成方法,主要是一定沉积温度下,预沉积衬底与一种或多种源气体发生气-固反应,在衬底表面上生成薄膜的方法。源气体主要有两种,一种是常温下高纯气体(例如:氢气,氧气等),一种是在一定温度下气态化的物质(例如:硫,碘等)。传统的化学气相沉积采用开放式装置。例如,在管式炉的石英管中以敞口石英舟为容器,一边盛放待反应预沉积衬底,一边盛放一定温度下能气态化的物质。经过高温加热,使易气态化的物质挥发弥漫在石英管中,与另一个石英舟中的预沉积衬底反应生成薄膜。石英舟的敞口设计有三个显著的缺点:一是气化后的物质会扩散到整个管式炉中使固-气反应的浓度降低;二是由于管式炉中受热不均,预沉积衬底与可气化物质的摆放位置不同,温度不均匀,使反应条件增多,反应可控性降低,产物均一性低,薄膜沉积不均匀。因此,采用开放式反应装置合成的产物往往批次不同所表现的物化性质也不同,沉积的薄膜材料稳定性和质量大大降低。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是,针对上述现有技术存在的开放式化学气相沉积制备薄膜过程中反应浓度低、温度不均导致薄膜沉积不均匀的问题,提供一种一体式封闭式石墨盒。本技术所采用的技术方案为:一种一体式封闭式石墨盒,包括石墨盒本体、与石墨盒本体相匹配的石墨盖和用于放置预沉积衬底的石墨垫片,石墨盖盖设在石墨盒本体上;石墨垫片设置在石墨盒本体中并将石墨盒本体分隔成上腔体和用于放置可气化物质的下腔体,石墨垫片上均匀分布有通孔,石墨垫片上开设有用于放置预沉积衬底的横 ...
【技术保护点】
1.一种一体式封闭式石墨盒,其特征在于:包括石墨盒本体(1)、与石墨盒本体相匹配的石墨盖(2)和用于放置预沉积衬底的石墨垫片(3),石墨盖(2)盖设在石墨盒本体(1)上;石墨垫片(3)设置在石墨盒本体(1)中并将石墨盒本体(1)分隔成上腔体和用于放置可气化物质的下腔体,石墨垫片(3)上均匀分布有通孔(3.1),石墨垫片上开设有用于放置预沉积衬底的横槽(3.2)和/或纵槽(3.3)。
【技术特征摘要】
1.一种一体式封闭式石墨盒,其特征在于:包括石墨盒本体(1)、与石墨盒本体相匹配的石墨盖(2)和用于放置预沉积衬底的石墨垫片(3),石墨盖(2)盖设在石墨盒本体(1)上;石墨垫片(3)设置在石墨盒本体(1)中并将石墨盒本体(1)分隔成上腔体和用于放置可气化物质的下腔体,石墨垫片(3)上均匀分布有通孔(3.1),石墨垫片上开设有用于放置预沉积衬底的横槽(3.2)和/或纵槽(3.3)。2.根据权利要求1所述的一体式封闭式石墨盒,其特征在于:所述的一体式封闭式石墨盒整体为圆柱形,所述上腔体的横截面为矩形,所述下腔体的横截面为弧形,所述弧形的最长的弦的长度与所述矩形的底边的长度一致...
【专利技术属性】
技术研发人员:谷龙艳,雷岩,郑直,高远浩,何伟伟,朱聪旭,铁伟伟,
申请(专利权)人:许昌学院,
类型:新型
国别省市:河南,41
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