【技术实现步骤摘要】
本技术涉及机械加工
,具体为一种高温真空炉连续卷对卷镀膜设备。
技术介绍
石墨烯薄膜是一种新型碳纳米材料薄膜。电子的运输特性是石墨烯的最重要的一个性质,这种独特的电学性质表明石墨烯在各个方面具备广泛的潜在应用前景,比如高速晶体管,透明电极,光电压力传感器等。但是,由于现有的机械剥离石墨烯面积太小、制备工艺受到限制,无法进行产业化。所以制备大面积、高质量的石墨烯便成为目前学术界的研究热点,化学气相沉积法(CVD)是最有可能进行产业化的方法,它是用气态碳源在铜和镍衬底上生长石墨烯,而铜基CVD生长的石墨烯薄膜具有良好的单层性和连续性。本专利就结合连续卷对卷镀膜设备和高温真空炉两者特点,设计出了一种铜基CVD方法制备大面积、高质量石墨烯透明导电薄膜的的装置。为此,针对上述技术问题,本技术提出一种高温真空炉连续卷对卷镀膜设备,实用性强,一定程度上解决上述技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种高温真空炉连续卷对卷镀膜设备,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种高温真空炉连续卷对卷镀膜设备,包括有放卷室和收卷室,其中,在放卷室和收卷室之间设置有加热组件,所述加热组件包括有热屏蔽固定杆,在热屏蔽固定杆上设置放卷夹持辊和收卷夹持辊,在放卷夹持辊和收卷夹持辊设置加热丝。一种高温真空炉连续卷对卷镀膜设备,在放卷夹持辊上端设置工艺进气装置,在放卷夹持辊下端设置排气装置。一种高温真空炉连续卷对卷镀膜设备,其中,在放卷夹持辊左端设置放卷热屏蔽组件,在收卷夹持辊右端设置收卷热屏蔽组件。优选的,所述加热丝为铜箔材质。优选的,在收卷室上方 ...
【技术保护点】
一种高温真空炉连续卷对卷镀膜设备,包括有放卷室和收卷室,其特征在于,在放卷室和收卷室之间设置有加热组件,所述加热组件包括有热屏蔽固定杆,在热屏蔽固定杆上设置放卷夹持辊和收卷夹持辊,在放卷夹持辊和收卷夹持辊设置加热丝。
【技术特征摘要】
1.一种高温真空炉连续卷对卷镀膜设备,包括有放卷室和收卷室,其特征在于,在放卷室和收卷室之间设置有加热组件,所述加热组件包括有热屏蔽固定杆,在热屏蔽固定杆上设置放卷夹持辊和收卷夹持辊,在放卷夹持辊和收卷夹持辊设置加热丝。2.根据权利要求1所述的一种高温真空炉连续卷对卷镀膜设备,其特征在于,在放卷夹持辊上端设置工艺进气装置,在放卷夹持辊下端设置排气装置。3.根据权利要求1所述的一种高温真空炉连续卷对卷镀膜...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨元才,朱振东,林晨,周通,谭新,郑战伟,钱鹏亮,
申请(专利权)人:上海福宜真空设备有限公司,
类型:新型
国别省市:上海;31
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