The invention relates to a planetary rotary shelf device for a nanometer coating equipment, belonging to the vacuum coating technology field. In the device, the top of the chamber connected to the exhaust port, the chamber center shaft position is provided with a hollow tube, a hollow tube connected to the exhaust port, the bottom of the chamber is provided with a rotary motor, rotary motor is installed on the rotary planetary shelf; the planetary rotary shelf, the rotary shaft and a rotary electric machine is connected to the rotary shaft and the hollow tube coaxial. The axis of rotation, fixedly arranged on the rotating rack, rotating racks are symmetrically arranged on at least two planets around the axis of rotation, the planetary shaft is provided with at least one layer of storage units, the workpiece to be processed is placed on the table. The invention has the advantages that the coating process of planetary rotary shelf revolution and rotation of dual rotation, avoid the emergence of regional chemical monomer gas density caused by uneven uneven coating thickness fixed region phenomenon. At the same time, the rotation of the planet rotating shelf is also favorable for mixing the chemical monomer gas into the chamber.
【技术实现步骤摘要】
一种纳米镀膜设备行星回转货架装置
本专利技术属于真空镀膜
,特别涉及一种纳米镀膜设备行星回转货架装置。
技术介绍
等离子镀膜作为提升材料表面性能有效方法被广泛应用于航空航天、汽车制造、机械重工和五金工具制造等领域。在等离子镀膜过程中,需要将镀膜设备腔室内空气抽出维持低压力状态,同时需要通入工艺气体和化学单体气体用于反应生成聚合物涂层。由于整个等离子镀膜过程中需要持续抽气,且抽气口、进气口、加料口位置是固定的,因此化学单体气体有向抽气口方向扩散的趋势,导致化学单体气体在加料口区域和扩散方向区域的密度相对较大。这就出现了这些区域放置的被镀膜工件表面聚合物涂层厚度较厚而其他区域涂层厚度较薄现象,造成批量生产的质量不一致。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服上述不足,提供一种纳米镀膜设备行星回转货架装置。本专利技术为实现上述目的所采用的技术方案是:一种纳米镀膜设备行星回转货架装置,其特征在于:包括腔室,所述腔室顶部连接抽气口,抽气口连接真空泵,进气阀通过进气管路与腔室连接,加料阀通过加料管路与腔室连接,射频电源通过导线与腔室内电极连接,腔室中心轴位置安装有中空管,中空管上开有通孔,所述中空管上端连接到抽气口,所述腔室底部安装有旋转电机,旋转电机上安装有行星回转货架;所述行星回转货架包括旋转轴、旋转置物架,所述旋转轴与旋转电机连接,旋转轴与中空管同轴,旋转轴上固定设置旋转置物架,旋转置物架上对称设置有至少两根行星旋转轴,所述行星转转轴上设置至少一层置物台,所述行星旋转轴垂直于旋转置物架且可自转,置物台上放置待处理的工件。所述行星旋转轴为2-8根,所述置物台为1- ...
【技术保护点】
一种纳米镀膜设备行星回转货架装置,其特征在于:包括腔室,所述腔室(3)顶部连接抽气口(2),抽气口连接真空泵(1),进气阀(4)通过进气管路与腔室(3)连接,加料阀(5)通过加料管路与腔室(3)连接,射频电源(12)通过导线与腔室(3)内电极连接,腔室中心轴位置安装有中空管(10),中空管上开有通孔,所述中空管上端连接到抽气口,所述腔室底部安装有旋转电机(9),旋转电机上安装有行星回转货架;所述行星回转货架包括旋转轴、旋转置物架(11),所述旋转轴与旋转电机连接,旋转轴与中空管同轴,旋转轴上固定设置旋转置物架(11),旋转置物架上对称设置有至少两根行星旋转轴(6),所述行星转转轴上设置至少一层置物台(8),所述行星旋转轴垂直于旋转置物架且可自转,置物台上放置待处理的工件(7)。
【技术特征摘要】
1.一种纳米镀膜设备行星回转货架装置,其特征在于:包括腔室,所述腔室(3)顶部连接抽气口(2),抽气口连接真空泵(1),进气阀(4)通过进气管路与腔室(3)连接,加料阀(5)通过加料管路与腔室(3)连接,射频电源(12)通过导线与腔室(3)内电极连接,腔室中心轴位置安装有中空管(10),中空管上开有通孔,所述中空管上端连接到抽气口,所述腔室底部安装有旋转电机(9),旋转电机上安装有行星回转货架;所述行星回转货架包括旋转轴、旋转置物架(11),所述旋转轴与旋转电机连接,旋转轴与中空管同轴,旋转轴上固定设置旋转置物架(11),旋转置物架上对称设置有至少两根行星旋转轴(6),所述行星转转轴上设置至少一层置物台(8...
【专利技术属性】
技术研发人员:宗坚,
申请(专利权)人:无锡荣坚五金工具有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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