【技术实现步骤摘要】
一种离子源弧光室的灯丝夹结构
本技术涉及半导体装备技术，具体说是一种离子源。
技术介绍
离子源是通过向弧光室主阴极加压，将充入弧光室的惰性气体经辉光放电电离成等离子体，经离子光学系统引出带正电的离子束，经过下游端的中和阴极向离子束发射与束电流等量的电子流进行电荷中和，生成高能高速的中性离子束。弧光室的上方为发射面板，发射面板的中心设置条形槽，气体自弧光室的侧板上的气体入口进入后，被灯丝(filament)电离后形成等离子体，最后经上方的发射面板输出；现有技术的灯丝固定方式一般采用将灯丝的电极插入灯丝夹上的灯丝孔内，该方式利用灯丝电极与灯丝孔的尺寸配合来保证灯丝的连接与固定；而由于工作时灯丝的温度极高，可达到2000度以上，因此，造成了接触状态的不稳定。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术的目的是提供一种灯丝夹结构，具体技术方案如下：一种离子源弧光室的灯丝夹结构，圆形基座上方设置源体腔，源体腔内设置加热坩埚，源体腔的上方设置弧光室，弧光室内设置灯丝和反射板，弧光室的最上方为发射面板；所述源体腔的外壁设置固定座，灯丝夹通过所述固定座固定在源体腔上；所述灯丝夹的夹体上设置长条形孔和灯丝固定孔，自长条形孔至夹体的上端设置开槽，长条形孔和灯丝固定孔间设置通孔；两个灯丝夹间设置绝缘隔环，绝缘隔环的位置与所述通孔对应；灯丝的电极插入所述灯丝固定孔内；螺栓穿过所述通孔和绝缘隔环后由螺母紧固。所述长条形孔的两端为圆弧型。所述夹体通过螺栓固定在固定座上。本技术的优点是：由于采用了二次紧固结构，保证了灯丝的稳定连接，因此，离子源工作稳定，可靠性提高。附图说明图1为离子源的结构...
【技术保护点】
1.一种离子源弧光室的灯丝夹结构，其特征在于：圆形基座上方设置源体腔，源体腔内设置加热坩埚，源体腔的上方设置弧光室，弧光室内设置灯丝和反射板，弧光室的最上方为发射面板；所述源体腔的外壁设置固定座，灯丝夹通过所述固定座固定在源体腔上；所述灯丝夹的夹体上设置长条形孔和灯丝固定孔，自长条形孔至夹体的上端设置开槽，长条形孔和灯丝固定孔间设置通孔；两个灯丝夹间设置绝缘隔环，绝缘隔环的位置与所述通孔对应；灯丝的电极插入所述灯丝固定孔内；螺栓穿过所述通孔和绝缘隔环后由螺母紧固。
【技术特征摘要】
1.一种离子源弧光室的灯丝夹结构，其特征在于：圆形基座上方设置源体腔，源体腔内设置加热坩埚，源体腔的上方设置弧光室，弧光室内设置灯丝和反射板，弧光室的最上方为发射面板；所述源体腔的外壁设置固定座，灯丝夹通过所述固定座固定在源体腔上；所述灯丝夹的夹体上设置长条形孔和灯丝固定孔，自长条形孔至夹体的上端设置开槽，长条形孔和灯丝固定...
【专利技术属性】
技术研发人员：王玉泉，
申请(专利权)人：丹东英普朗特科技有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁,21
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