下载一种离子源弧光室的灯丝夹结构的技术资料

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本实用新型公开一种离子源弧光室的灯丝夹结构,圆形基座上方设置源体腔,源体腔内设置加热坩埚,源体腔的上方设置弧光室,弧光室内设置灯丝和反射板,弧光室的最上方为发射面板;所述源体腔的外壁设置固定座,灯丝夹通过所述固定座固定在源体腔上;所述灯丝夹...
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