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本实用新型离子注入机离子源电极插座，由座体（１），在座体（１）上开设有锥形插孔（２）、导线连接插孔（３）、导线固定锁紧螺钉（４），在锥形插孔（２）内设有与其配合的锥形开口销套（５）构成。电极通过销套（５）插入，在锥面的配合下挤压箍紧，接触性...
该专利属于丹东英普朗特科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过丹东英普朗特科技有限公司授权不得商用。

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