本发明专利技术公开了一种离子注入机工厂自动化控制方法，包括：服务器(1)、工控机(2)、离子注入机台(3)、工厂自动化控制计算机(4)、工厂自动化处理层(5)、通讯处理(6)、HOST(7)和控制逻辑处理(8)，其中服务器(1)与工控机(2)，服务器(1)与工厂自动化控制计算机(4)之间是通过TCP/IP协议进行通信，离子注入机设备(3)与服务器(1)和工控机(2)之间都是通过RS232串口或者TCP/IP网络通讯；工厂自动化处理层(5)、通讯处理(6)和控制逻辑处理(8)是运行于服务器(1)上的软件，HOST(7)为运行在工厂自动化控制计算机(4)的软件。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种半导体器件制造工厂自动化车间级控制方法。
技术介绍
离子注入机是一种是集成电路制造前工序中的关键设备，离子注入是对半导体表面附近区域进行掺杂的技术，其目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型的设备，离子注入机由离子源、均匀性控制系统、传输系统、靶室系统、真空系统和辅助系统等组成。此设备在高真空、高电压等复杂环境下进行，在此背景下，对离子注入机设备的自动化控制尤其重要，以提高生产效能，减少人工数量，降低厂商成本。
技术实现思路
本专利技术是通过面向国际SEMI标准的工厂自动化设备控制方法，以提高生产效能，减少人工数量，降低厂商成本的设备远程控制方法。本专利技术通过以下技术方案实现：1.本专利技术公开了一种离子注入机工厂自动化控制方法，包括：服务器(1)、工控机(2)、离子注入机台(3)、工厂自动化控制计算机(4)、工厂自动化处理层(5)、通讯处理(6)、HOST(7)和控制逻辑处理(8)，其中服务器(1)与工控机(2)，服务器(1)与工厂自动化控制计算机(4)之间是通过TCP/IP协议进行通信，离子注入机设备(3)与服务器(1)和工控机(2)之间都是通过RS232串口或者TCP/IP网络通讯；工厂自动化处理层(5)、通讯处理(6)和控制逻辑处理(8)是运行于服务器(1)上的软件，HOST(7)为运行在工厂自动化控制计算机(4)的软件。2.如权利要求1所述的一种离子注入机工厂自动化控制方法，其特征在于：通过远程的工厂自动化计算机(4)控制离子注入机台(3)，以实现离子注入机的车间级管理。3.如权利要求1所述的一种离子注入机工厂自动化控制方法，其特征在于：工厂自动化计算机(4)可以向不同的离子注入机台(3)发出统一的、符合SEMI国际标准的操作指令。4.如权利要求1所述的一种离子注入机工厂自动化控制方法，其特征在于：通过远程的工厂自动化发出简单的组合命令，离子注入机台(3)完成一系列复杂的晶片离子注入操作。本专利技术具有如下显著优点：1.软件模块间面向接口编程，各个功能快层次清晰，确保单个软件故障不影响整个设备，故障诊断简单。2.控制逻辑层周期请求读取离子注入机台(3)数据，以保证工厂自动化远程获取设备实时数据，提高设备性能。如图23.采用状态机的编程模式，通过完善的流程和系统控制方法，在保证设备安全的前提下，提高了程序的执行速度，节约了时间，提高了效率。4.采用国际半导体SEMI标准。如图3，离子注入机台(3)向工厂自动化控制计算机(4)发出S6F11命令(表示FOUP Arrived信息)，工厂自动化控制计算机(4)返回S6F12命令，进行下一步操作，其中S6F11和S6F12是国际半导体SEMI标准指令。附图说明图1为离子注入工厂自动化的通信控制模式图。图2为离子注入工厂自动化的软件架构图。图3为离子注入工厂自动化的控制流程图。具体实施方式下面结合附图1、附图2和附图3对本专利技术作进一步的介绍，但不作为对本专利技术的限定。如图1中所示，服务器(1)和工厂自动化控制计算机(4)采用TCP/IP网络通讯，双方基于异步通信，服务器(4)端接收和处理工厂自动化控制计算机(4)发出的命令，同时向工厂自动化控制计算机(4)反馈事件及相关参数；服务器(1)与离子注入机台(3)不同子系统采用TCP/IP网络或者RS232串口通讯，双方基于异步通信方式，关键设备间都采用设备连锁方法保护设备以避免用户的误操作；工控机(2)上运行着离子注入机台(2)设备的嵌入式程序，工控机(2)与离子注入机台(3)不同子设备采用TCP/IP网络或者RS232串口通讯，工控机(2)实时采集设备数据；而服务器(1)与工控机(2)是通过TCP/IP网络进行通信，服务器发出命令后，不能再次进行相应操作，等待命令反馈结果后，才能进行其他命令操作，这样可以避免误操作，对设备部件造成损坏，同时也是设备联锁机制的一部分，提高设备的稳定性。如图2中所示，工厂自动化控制计算机(4)运行着HOST端SEMI标准程序，向设备发出命令，控制逻辑处理(8)翻译SEMI命令，并向通讯处理(6)层转发，通讯处理(6)向工厂自动化处理层(5)转发，工厂自动化处理层(5)中维护工厂自动化状态自动机，工厂自动化处理层(5)处理命令，并向通讯处理(6)反馈事件及参数，通讯处理(6)向控制逻辑处理(8)转发，控制逻辑处理(8)按照SEMI标准向HOST(7)发送，操作人员收到信息后，进行下一步处理。如图3中所示，工厂自动化控制计算机(1)和服务器(1)间的控制流程，其中FA为服务器(1)上的工厂自动化处理层(5)程序。本专利技术专利的特定实施例已对本专利技术专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本专利技术专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本专利技术专利的侵犯，将承担相应的法律责任。本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.本发明公开了一种离子注入机工厂自动化控制方法，包括：服务器(1)、
工控机(2)、离子注入机台(3)、工厂自动化控制计算机(4)、工厂自动化处理
层(5)、通讯处理(6)、HOST(7)和控制逻辑处理(8)，其中服务器(1)与工控机
(2)，服务器(1)与工厂自动化控制计算机(4)之间是通过TCP/IP协议进行通
信，离子注入机设备(3)与服务器(1)和工控机(2)之间都是通过RS232串口或
者TCP/IP网络通讯；工厂自动化处理层(5)、通讯处理(6)和控制逻辑处理(8)
是运行于服务器(1)上的软件，HOST(7)为运行在工厂自动...
【专利技术属性】
技术研发人员：余佳，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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