【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及数字信号处理,涉及离子注入机,属于半导体装备制造领域。
技术介绍
在半导体装备制造领域,特别是离子注入机,其关键指标就是离子束流的均匀性。通过软件算法实现对束流均匀性自动调节是提高离子注入机生产效率和产品质量的有效手段。然而,由于装备中各个系统的电气特性,很容易产生电子元器件短路,从而产生打火现象。此现象对离子束流产生类似于噪声的影响,使得法拉第杯反馈给均匀性算法的输入参数存在异常。这会致使自动调节均匀性失败。而且这种噪声在时域上接连不断的局部出现,每次的时延长度也很随机。所以,在使用算法之前可以通过小波变换的手段对所获取的离子束流的特征数据进行滤除噪声的处理。小波去噪的原理是:对小波分解后的各层系数模大于和小于某阈值的系数分别进行处理,然后利用处理后的小波系数重构出消噪后的数据。在阈值的选取中,若阈值太小,则消噪后的数据仍含有噪声;若阈值太大,重要数据特征会被滤掉,引起偏差。从直观上讲,对于给定的小波系数,噪声越大,阈值也愈大。本专利技术提供了一种利用小波变换滤除离子注入机打火产生的噪声的方法,该方法技术成熟,应用普遍,相关算法的编写实现简单,精确度极高,实践表明该方法对束流中掺杂的噪声去除效果良好。
技术实现思路
本专利技术涉及一种利用小波变换滤除离子注入机打火产生的噪声的方法。该专利技术应用于离子注入机,该方法适用于注入机均匀性调解之前对采集数据的处理。本专利技术通过以下技术方案实现:该种数字信号处理系统包括:1、扫束采集离子束数据单元;2、滤波去除离子束数据中的噪声的单元;3、去噪后信号处理单元。此三个单元全部由软件实现,核心单元为第二 ...
【技术保护点】
一种利用小波变换滤除离子注入机打火产生的噪声的方法,主要包括:采用小波去噪的手段对离子注入机法拉第杯采集到的掺杂数据进行处理。从而可以将含噪声的数据还原到无打火现象时的原始状态。因为用于离子注入机调节均匀性的算法需要以无噪声干扰情况下的束流特性数据作为输入值进行优化计算,所以使用去噪单元的输出数据作为其输入参数,能达到准确调节均匀性的效果。
【技术特征摘要】
1.一种利用小波变换滤除离子注入机打火产生的噪声的方法,主要包括:采用小波去噪的手段对离子注入机法拉第杯采集到的掺杂数据进行处理。从而可以将含噪声的数据还原到无打火现象时的原始状态。因为用于离子注入机调节均匀性的算法需要以无噪声干扰情况下的束流特性数据作为输入值进行优化计算,所以使用去噪单元的输出数据作为其输入参数,能达到准确调节均...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵林,
申请(专利权)人:北京中科信电子装备有限公司,
类型:发明
国别省市:北京;11
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。