多电极电子光学系统技术方案

本发明专利技术涉及一种准直器电极堆叠(70)，其包括：至少三个准直器电极(71‑80)，其用于准直沿着光轴(A)的带电粒子束(54)，其中每个准直器电极包括具有电极孔的电极主体，电极孔用于允许带电粒子束通过，其中电极主体沿着与光轴基本上平行的轴向方向(Z)间隔开，并且其中电极孔沿着所述光轴同轴地对准；以及多个间隔结构(89)，其被设置在每一对相邻准直器电极之间并且由电绝缘材料制成，多个间隔结构(89)用于沿着所述轴向方向以预定距离来定位准直器电极。准直器电极(71‑80)中的每一个电连接至单独的电压输出端(151‑160)。本发明专利技术还涉及一种操作带电粒子束产生器的方法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】201480071804

【技术保护点】
一种准直器电极堆叠(70)，其包括：‑至少三个准直器电极(71‑80)，其用于准直沿着光轴(A)的带电粒子束(54)，其中每个准直器电极包括具有电极孔(82)的电极主体(81)，所述电极孔(82)用于允许所述带电粒子束通过，其中所述电极主体沿着与所述光轴基本上平行的轴向方向(Z)间隔开，并且其中所述电极孔沿着所述光轴同轴地对准；‑多个间隔结构(89)，其被设置在每一对相邻准直器电极之间并且由电绝缘材料制成，所述多个间隔结构(89)用于沿着所述轴向方向以预定距离来定位所述准直器电极，并且其中所述准直器电极(71‑80)中的每一个电连接至单独的电压输出端(151‑160)。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：MJJ维兰德，WH乌尔巴努斯，
申请(专利权)人：迈普尔平版印刷IP有限公司，
类型：发明
国别省市：荷兰;NL