一种涌动式电极制作系统技术方案

本发明专利技术公开了一种涌动式电极制作系统，包括反应系统和循环系统，所述反应系统包括外槽、设于所述外槽内的内槽和涌动装置，所述循环系统包括穿过所述外槽后连通所述内槽底部的进液管、连通外槽底部的出液管以及连接在所述进液管和所述出液管之间的动力装置；所述涌动装置设于所述内槽内，包括用于在所述内槽内的液体没过电极后自所述出液管一侧朝所述进液管一侧传送电极的搬运装置。本发明专利技术的电极制作系统并不使用传统的喷头对电极表面喷射化学液，而是将液体浸过电极产品并利用不断循环涌动的液体对电极表面进行比较平和的处理，可以实现显影、蚀刻和脱膜各阶段的制作过程，可以用于极细的铜网格线条的制作而不易损坏，很好的提高了产品的良率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电极制备
，尤其涉及一种涌动式电极制作系统。
技术介绍
作为目前最为主流的触摸屏制作工艺，黄光制程被普遍应用在触摸屏厂商的生产过程中。黄光制程主要采用喷淋化学液的工作方式完成曝光、显影、蚀刻和脱膜等工序，而在整个工艺过程中，各段的喷头必须要保持畅通，不能有堵塞现象，同时，各段喷射溶液、喷淋水和喷射压力需要精确控制。液体喷淋时，从喷头喷出的液体产生一定的冲击力，直接作用于触摸屏的电极表面，在生产电极尤其是极细网格线条(宽度为1-10μm)的电极结构时对显影、蚀刻、脱膜等工序的产品非常容易造成损坏，降低了产品良率。
技术实现思路
鉴于现有技术存在的不足，本专利技术提供了一种可有效避免电极的网格结构损坏的涌动式电极制作系统，可用于电极线路的制备。为了实现上述的目的，本专利技术采用了如下的技术方案：一种涌动式电极制作系统，包括反应系统和循环系统，所述反应系统包括外槽、设于所述外槽内的内槽和涌动装置，所述循环系统包括穿过所述外槽后连通所述内槽底部的进液管、连通所述外槽底部的出液管以及连接在所述进液管和所述出液管之间的动力装置；所述涌动装置设于所述内槽内，包括用于在所述内槽内的液体没过电极后自所述出液管一侧朝所述进液管一侧传送电极的搬运装置。进一步地，所述涌动装置还包括连接所述进液管的输送管，所述输送管竖直设于所述内槽内靠近所述进液管侧且顶端高于所述搬运装置。进一步地，所述涌动装置还包括连接所述输送管并朝所述进液管侧延伸的支管。进一步地，所述支管上连接有至少一根分支的动力管。进一步地，所述支管的管壁上开设有多个通孔。进一步地，所述支管为多根，间隔地连接在所述输送管的侧壁的多个部位。进一步地，所述的涌动式电极制作系统还包括废液排放系统，所述废液排放系统连接在所述外槽底部。进一步地，所述内槽与所述外槽的底面间隔设置，所述外槽的底面和所述内槽底部同时连接所述废液排放系统。进一步地，所述循环系统还包括连接在所述出液管和所述动力装置之间的循环箱。进一步地，所述循环箱的底部与所述废液排放系统连接。本专利技术的电极制作系统并不使用传统的喷头对电极表面喷射化学液，而是将液体浸过电极产品并利用不断循环涌动的液体对电极表面进行比较平和的处理，可以实现显影、蚀刻和脱膜各阶段的制作过程，可以用于极细的铜网格线条的制作而不易损坏，很好的提高了产品的良率。附图说明图1为本专利技术实施例的涌动式电极制作系统的结构示意图。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。参阅图1，本专利技术实施例的涌动式电极制作系统包括反应系统1和循环系统2，反应系统1用于放置电极产品并进行显影、蚀刻和脱膜各个制程，包括外槽11、设于外槽11内的内槽12和涌动装置13，而循环系统2包括进液管21、出液管22和动力装置23，进液管21穿过外槽11后连接在内槽12的底部，出液管22连接在外槽11的底部，且与进液管21在不同侧。动力装置23包括动力泵，连接在进液管21和出液管22之间，用于为循环系统2提供动力，使液体自进液管21流入内槽12，并对内槽12内的电极产品进行处理，液体液位达到一定高度后自内槽12溢出，并流入外槽11后自出液管22流出，实现液体的循环和反复利用；涌动装置13设于内槽12内，包括用于在内槽12内的液体没过电极后自出液管22一侧朝进液管21一侧传送电极的搬运装置131，这里，搬运装置131优选为水平布置的若干传送辊，放置在传送辊上的电极产品的两面都可以由内槽12内的液体浸润，在液体的涌动下完成各项制程。在外槽11和内槽12的侧壁之间还分别安装有一组风刀10，每组风刀10上下相对设置在电极产品的两侧，其中一组风刀10(靠近出液管22一侧的风刀10)将电极产品两侧吹干后，电极产品被搬运装置131送入内槽12内由液体浸泡并进行涌动处理，完成显影、蚀刻和脱膜，然后经过外槽11内另一组风刀10(靠近进液管21一侧的风刀10)烘干后送出。同时，由于内槽12靠近电极产品的搬运入口和出口处都会有液体溢出，为防止液体沿搬运装置131溢出至外槽11外，内槽12两侧的风刀10工作过程中还可形成两道屏障，将溢出的液体阻挡在两道屏障内，避免液体沿搬运装置131溢出至外槽11外。具体地，涌动装置13包括搬运装置131、输送管132和支管133，输送管132连接进液管21，且竖直设于内槽12内相比出液管22更靠近进液管21的一侧，若干条支管133间隔地连接在输送管132的多个部位上并朝进液管21侧延伸，输送管132的顶端高于搬运装置131，保证了最上方的支管133流出的液体可以自上而下涌动，搬运装置131下方的支管133流出的液体可以自下而上涌动，使得电极表面受力充分而平缓。在其他实施方式中，输送管132的顶部也可以开孔，液体自其顶端流出。在每根支管133的管壁上下还可开设有多个通孔(图未示)，液体可自管壁的各个方向流出，同时，每根支管133内还设有至少一根分支的动力管133a，优选动力管133a为多个，间隔地连接在每根支管133的管壁，垂直于相应的支管133并平行于内槽12底部(即水平设置)，每根动力管133a上也可以开设有供液体流出的通孔，这样液体的流出部位更多，提高了液体的涌动效果。动力装置23的动力泵优选为变频动力泵，其工作频率可在一定范围内进行调节，如35-75Hz，通过调节其工作频率，从支管133和动力管133a注入的液体的速度可相应变化，从而实时控制流入和流出内槽12的液体的速度，间接控制涌动幅度。为增强循环系统2的储液能力，防止涌动中断，循环系统2还包括连接在出液管22和动力装置23之间的大容量循环箱24。由于电极的显影、蚀刻等过程中会产生沉淀物杂质，本实施例的出液管22的顶端被设置成高出外槽11的底面，使得沉淀物不容易堵塞出液管22。同时，进液管21与动力装置23之间还连接有过滤装置25，可以过滤自出液管22流出的液体，进一步避免管道堵塞，该过滤装置25包括粗滤芯25a和细滤芯25b，粗滤芯25a设于靠近出液管22一端，细滤芯25b设于靠近进液管21一端，经出液管22流出的液体依次经过粗滤芯25a和细滤芯25b两次过滤后不断形成新鲜液体流入内槽12，液体杂质少。优选地，粗滤芯25a的过滤精度为10μm，细滤芯本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种涌动式电极制作系统，其特征在于，包括反应系统(1)和循环系统(2)，所述反应系统(1)包括外槽(11)、设于所述外槽(11)内的内槽(12)和涌动装置(13)，所述循环系统(2)包括穿过所述外槽(11)后连通所述内槽(12)底部的进液管(21)、连通所述外槽(11)底部的出液管(22)以及连接在所述进液管(21)和所述出液管(22)之间的动力装置(23)；所述涌动装置(13)设于所述内槽(12)内，包括用于在所述内槽(12)内的液体没过电极后自所述出液管(22)一侧朝所述进液管(21)一侧传送电极的搬运装置(131)。

【技术特征摘要】
1.一种涌动式电极制作系统，其特征在于，包括反应系统(1)和循环系
统(2)，所述反应系统(1)包括外槽(11)、设于所述外槽(11)内的内槽(12)
和涌动装置(13)，所述循环系统(2)包括穿过所述外槽(11)后连通所述内
槽(12)底部的进液管(21)、连通所述外槽(11)底部的出液管(22)以及连
接在所述进液管(21)和所述出液管(22)之间的动力装置(23)；所述涌动装
置(13)设于所述内槽(12)内，包括用于在所述内槽(12)内的液体没过电
极后自所述出液管(22)一侧朝所述进液管(21)一侧传送电极的搬运装置(131)。
2.根据权利要求1所述的涌动式电极制作系统，其特征在于，所述涌动装
置(13)还包括连接所述进液管(21)的输送管(132)，所述输送管(132)竖
直设于所述内槽(12)内靠近所述进液管(21)侧且顶端高于所述搬运装置(131)。
3.根据权利要求2所述的涌动式电极制作系统，其特征在于，所述涌动装
置(13)还包括连接所述输送管(132)并朝所述进液管(21)侧延伸的支管(133)。
4.根据权利要求3所...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵宗轩，陶少勋，
申请(专利权)人：深圳市博世知识产权运营有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44