下载多电极电子光学系统的技术资料

文档序号:13542457

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种准直器电极堆叠(70),其包括:至少三个准直器电极(71‑80),其用于准直沿着光轴(A)的带电粒子束(54),其中每个准直器电极包括具有电极孔的电极主体,电极孔用于允许带电粒子束通过,其中电极主体沿着与光轴基本上平行的轴向方...
该专利属于迈普尔平版印刷IP有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过迈普尔平版印刷IP有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。