振动器件、电子设备以及移动体制造技术

本发明专利技术提供振动器件、电子设备以及移动体，既能够确保振动元件的固定强度又能够防止振动元件的特性降低。作为振动器件的振子具备：作为基体的发热元件；作为弹性部件的第1支承臂以及第2支承臂，它们构成板簧，该板簧的一端与发热元件连接，并且从该一端向设置在与发热元件分离的位置的另一端延伸；以及振动元件，其与第1支承部以及第2支承部连接，该第1支承部以及第2支承部与发热元件分离地设置在第1支承臂以及第2支承臂的该另一端侧。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术设及振动器件W及使用该振动器件的电子设备和移动体。
技术介绍
W往公开了在集成电路巧片（振荡电路元件）的有源面上设置加热单元并采用倒 装巧片安装或者导电性粘结剂等将振动元件与集成电路巧片的有源面直接连接而进行加 热的构造的振动器件（例如参照专利文献1)。 专利文献1 ;日本特开2010-213280号公报 在上述结构的振动器件中，在集成电路巧片的有源面上W单臂支承的方式直接固 定振动元件。该样，当直接固定振动元件时，具有由于温度变化等而产生的振动元件的应力 难W从固定部扩散，由于该应力的影响，可能产生振动元件的振动特性降低。为了减少该样 的应力对振动元件的影响，减小固定部的面积是有效的。 但是，在上述单臂支承的结构中，具有该样的课题；当对振动元件施加落下等的冲 击时，冲击应力集中于单臂的固定部分，所W，容易产生振动元件被剥落等的不良状况，从 而无法减小固定部的面积。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，可作为W下的方式或应用例 来实现。[应用例^[000引本应用例的振动器件的特征是具备：其具备；基体；弹性部件，其一端与所述基体 连接且从所述一端延伸，并且在与所述基体分离的位置设置有支承部；W及振动元件，其与 所述支承部连接。 根据本应用例，在与基体连接的弹性部件的与基体分离设置的支承部上连接振动 元件。该样，在单臂支承于基体的弹性部件上支承振动元件，所W能够利用弹性部件来吸收 或扩散由于温度变化等而产生的振动元件的应力，防止由于应力的影响而引起的振动元件 的振动特性降低。另外，能够利用弹性部件吸收或者扩散振动元件的应力，所W也能够增大 振动元件的固定面积，除此之外，还能够利用通过弹性部件支承振动元件所带来的冲击力 等的缓冲效果，提高振动元件的支承强度。 [应用例引 在上述应用例记载的振动器件中优选的是，上述弹性部件是在俯视时W细长形状 进行延伸且具备弯曲部的弹黃部件。 根据本应用例，利用在俯视时W细长形状进行延伸且具备弯曲部的弹黃部件来支 承振动元件。在该种结构的弹性部件中，施加应力时的变形（弯曲）的自由度增加，所W容 易吸收或扩散支承振动元件时的应力，能够防止振动元件的振动特性降低。另外，由于冲击 力等的缓冲效果也变大，从而能够提高振动元件的支承强度。[001引[应用例引 在上述应用例记载的振动器件中优选的是，所述弹性部件设置有多个，多个所述 弹性部件的所述延伸的方向朝着由通过所述基体的中屯、的假想直线分割的一方的第1区 域侧，并且多个所述支承部配置在所述第1区域。 根据本应用例，因为利用在一方的第1区域（基体的一侧）内设置的多个弹性部 件各自的支承部来固定振动元件，所W，施加应力时的变形（弯曲）的自由度增加，能够使 振动元件的固定姿势更加稳定，并且能够可靠地进行振动元件的固定。[应用例句 在上述应用例记载的振动器件中优选的是，该振动器件具有底座基板，该底座基 板具备安装所述振动元件的空间，所述基体与所述底座基板连接。 根据本应用例，因为基体与底座基板连接，所W能够在底座基板具备的空间内安 装振动元件。换言之，能够效率高地在空间内安装振动元件。[应用例引 在上述应用例记载的振动器件中优选的是，所述基体设置在所述底座基板上。 根据本应用例，因为基体设置在底座基板上，所W不用单独地设置基体就能在底 座基板的安装振动元件的空间内收纳振动元件。换言之，能够在作为有限空间的安装振动 元件的空间内高效地安装振动元件。 在上述应用例记载的振动器件中优选的是，所述基体是发热部件。 根据本应用例，弹性部件与基体连接，在该连接部件上固定振动元件。利用该样的 结构，能够经由弹性部件向振动元件高效地传导作为发热部件的基体产生的热能量。 在上述应用例记载的振动器件中优选的是，所述基体与所述弹性部件利用导电部 件来连接。 根据本应用例，既能够实现基体与弹性部件的电导通又能够进行弹性部件的固 定。 在上述应用例记载的振动器件中优选的是，所述基体在一面上设置有电极，所述 弹性部件与所述电极连接。 根据本应用例，因为能够使弹性部件与电极直接连接，所W能够提高弹性部件安 装中的空间效率。 在上述应用例记载的振动器件中优选的是，所述弹性部件与所述振动元件利用具 有导电性的连接部件来连接。 根据本应用例，既能够实现振动元件的应力缓解又能够容易地确保电导通。 在上述应用例记载的振动器件中优选的是，所述振动元件在正反面设置有激励电 极，一方的所述激励电极利用引线键合与所述基体电连接。 根据本应用例，因为利用引线键合连接进行一方的激励电极与基体的连接，所W 进行弹性部件与振动元件的电连接的固定部只要设置一处即可。由此，能够进一步减小振 动元件的固定面积，进一步减小固定对振动元件的振动特性带来的影响。[003引在上述应用例记载的振动器件中优选的是，所述安装的空间由与所述底座基板接 合的盖体气密地封闭。 根据本应用例，可提供在由盖体气密地封闭的安装空间内收纳有基体或振动元件 的振动器件。目P，能够成为可通过在安装的空间内气密地保持基体或振动元件来维持更稳 定的特性的振动器件。 本应用例的电子设备的特征是具备上述应用例中的任意一例所记载的振动器件。 根据本应用例，采用了能够防止由于应力引起的振动特性的降低或由于落下冲击 等引起的振动特性的降低等的振动器件，所W可提供能够维持更稳定的特性的电子设备。 本应用例的移动体的特征是具备上述应用例中的任意一例所记载的振动器件。 根据本应用例，采用了能够防止由于应力引起的振动特性的降低或由于落下冲击 等引起的振动特性的降低等的振动器件，所W可提供能够维持更稳定的特性的移动体。【附图说明】 图1示出本专利技术的振动器件的第1实施方式的振子的概况，图1的（a)是俯视图， 图1的化）是正剖视图。图2的（a)、图2的化）是示出SC切石英基板的切出方法的图。 图3是示意性示出作为基体的发热元件（发热部件）的概况的正剖视图。 图4示出板黃的一例，图4的（a)是俯视图，图4的化）是主视图。 图5是示出第1实施方式的振子的落下耐久性的曲线图。 图6示出本专利技术的振动器件的第2实施方式的振子的概况，图6的（a)是俯视图， 图6的化）是正剖视图。 图7示出板黃的一例，图7的（a)是俯视图，图7的化）是主视图。 图8示出本专利技术的振动器件的第3实施方式的振子的概况，图8的（a)是俯视图， 图8的化）是正剖视图。 图9是示出本专利技术的振动器件的第4实施方式的振荡器的概况的正剖视图。[0化引图10示出板黃的变形例，图10的（a)是俯视图，图10的化）是主视图。 图11是示出作为电子设备的一例的移动型个人计算机的结构的立体图。 图12是作为电子设备的一例的移动电话机的结构的立体图。[005引图13是示出作为电子设备的一例的数字照相机的结构的立体图。 图14是示出作为移动体的一例的汽车的结构的立体图。 标号说明 1、3、4作为振动器件的振子；2SC切石英基板（压电基板）；5振动基板；10底板； 11侧壁；12框状基板；12a台部；13封装；14内部空间（凹部）；15振动元件；16、18激励 电极；17、19连接电极；20作为基体的发热元件；21作为弹性部件的第1支承臂；22作为弹 性部件的第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种振动器件，其特征在于，其具备：基体；弹性部件，其一端与所述基体连接且从所述一端延伸，并且在与所述基体分离的位置设置有支承部；以及振动元件，其与所述支承部连接。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：近藤学，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP