【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及物理量传感器和惯性计测装置。
技术介绍
1、在专利文献1中公开了一种对z方向的加速度进行检测的物理量传感器。公开了在该物理量传感器中，多个第1电极中的一个第1电极的沿着第1方向的第1电极的长度短于第1导电部的沿着第1方向的第1导电部的长度。另外，公开了在该物理量传感器中，多个第2电极中的一个第2电极的沿着第1方向的第2电极的长度短于第2导电部的沿着第1方向的第2导电部的长度。
2、专利文献1：日本特开2021-032819号公报
3、对物理量传感器要求进一步的小型化、高灵敏度化等构造的优化。因此，期望不会由于与用于检测电容的可动电极、固定电极连接的布线的引绕状况，而妨碍物理量传感器的构造等的适当化。在专利文献1中，没有公开与物理量传感器的布线的引绕有关的方法。
技术实现思路
1、本公开的一个方式涉及一种物理量传感器，在设相互正交的三个方向为第1方向、第2方向以及第3方向时，对所述第3方向上的物理量进行检测，所述物理量传感器包含：基板；第1固定部，其固定于所述基板；第1支承梁，其一端与所述第1固定部连接，沿着所述第2方向延伸；可动体，其与所述第1支承梁的另一端连接；第1固定电极固定部，其固定于所述基板；第2固定电极固定部，其固定于所述基板；第1固定电极部，其与所述第1固定电极固定部连接，相对于所述第1支承梁设置在所述第1方向侧；第2固定电极部，其与所述第2固定电极固定部连接，相对于所述第1支承梁设置在作为所述第1方向的相反方向的第4方向侧；以及第
2、本公开的其他方式涉及一种惯性计测装置，其包含：上述记载的物理量传感器；以及控制部，其基于从所述物理量传感器输出的检测信号进行控制。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种物理量传感器，其特征在于，在设相互正交的三个方向为第1方向、第2方向以及第3方向时，对所述第3方向上的物理量进行检测，所述物理量传感器包含：
2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的物理量传感器，其特征在于，
4.根据权利要求2所述的物理量传感器，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的物理量传感器，其特征在于，
6.根据权利要求2所述的物理量传感器，其特征在于，
7.根据权利要求1至6中的任一项所述的物理量传感器，其特征在于，
8.根据权利要求1至6中的任一项所述的物理量传感器，其特征在于，
9.根据权利要求8所述的物理量传感器，其特征在于，
10.根据权利要求8所述的物理量传感器，其特征在于，
11.根据权利要求10所述的物理量传感器，其特征在于，
12.根据权利要求1至5中的任一项所述的物理量传感器，其特征在于，
13.一种惯性计测装置，其特征在于，所述惯性计测装置包含：权利要求1至6中的任
...【技术特征摘要】
1.一种物理量传感器，其特征在于，在设相互正交的三个方向为第1方向、第2方向以及第3方向时，对所述第3方向上的物理量进行检测，所述物理量传感器包含：
2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的物理量传感器，其特征在于，
4.根据权利要求2所述的物理量传感器，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的物理量传感器，其特征在于，
6.根据权利要求2所述的物理量传感器，其特征在于，
7.根据权利要求1至6中的任一...
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