一种蒸镀源制造技术

本实用新型专利技术公开了一种蒸镀源，包括蒸发舟和空心管道，空心管道均匀地缠绕并紧贴于蒸发舟的外侧，空心管道内通有循环介质，循环介质包括加热循环介质和冷却循环介质。本实用新型专利技术的蒸镀源采用循环介质直接加热和冷却的方法，通过迅速通入加热循环介质，能够在非常短的时间内达到蒸镀材料的蒸发温度；通过迅速通入冷却循环介质，可以在蒸镀完成后实现蒸镀舟的迅速降温，节约蒸镀材料，降低蒸镀成本；而且，由于循环介质的温度易于精确控制，如热煤油，其精度可控制在±0.1C°，便于精确控制蒸镀温度；同时，得益于介质的循环，受蒸镀材料影响的循环介质被及时带走，空心管道内一直保持恒温的循环介质，方便获得稳定的蒸发速率，进而提高膜的蒸镀质量。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀源
本技术属于OLED显示
，具体涉及一种新型的蒸镀源。
技术介绍
有机电致发光显不器(ActiveMatrix Organic Light Emitting D1de,AMOLED),又称“有机电激发光显示器”，被视为继LCD、PDP之后发展潜力最大的新型平板显示技术，由于其突出的性能优势得到了世界上许多国家和企业的重视，目前正处于技术快速发展、产业逐步启动的阶段。 目前的OLED制造、薄膜电池制造、镀膜等加工工艺中，普遍采用热蒸镀源加热材料的形式进行镀膜。热蒸镀源主要由蒸发舟和加热电阻丝组成，蒸发舟主要用来装蒸镀材料，采用不锈钢、氮化硼、硅、石英等材料制成，形状以圆柱形、圆锥形为主，蒸发舟外缠绕固定的加热电阻丝，对电阻丝通电发热传导蒸发舟发热实现材料的蒸发，完成镀膜。 热蒸镀源结构简单，工艺成熟，但存在很多缺点:首先，加热过程缓慢，电阻丝通电后温度有一个缓慢的升高过程，其次，温度控制精度不高，无论是电流还是电压控制都存在滞后问题。
技术实现思路
本技术的目的在于克服蒸镀源电阻丝加热方式存在的问题，提供一种蒸发速率稳定时间短、蒸发温度控制精度高且蒸发过程稳定性高的蒸镀源。 为解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案: —种蒸镀源，包括蒸发舟和空心管道，所述空心管道均匀地缠绕并紧贴于蒸发舟的外侧，所述空心管道内通有循环介质，所述循环介质包括加热循环介质和冷却循环介质。 进一步地，所述循环介质为煤油。 与现有技术相比，本技术的有益效果是: 首先，本技术的蒸镀源采用循环介质直接加热和冷却的方法，通过迅速通入加热循环介质，能够在非常短的时间内达到蒸镀材料的蒸发温度；通过迅速通入冷却循环介质，可以在蒸镀完成后实现蒸镀舟的迅速降温，节约蒸镀材料，降低蒸镀成本； 其次，由于循环介质的温度易于精确控制，如热煤油，其精度可控制在±0.1°C，且不存在滞后，便于精确控制蒸镀温度；同时，得益于介质的循环，受蒸镀材料影响的循环介质被及时带走，空心管道内一直保持恒温的循环介质，方便获得稳定的蒸发速率，进而提高膜的蒸镀质量。 【附图说明】 图1为本技术的结构示意图。 【具体实施方式】 为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。 如图1所示，本技术的蒸镀源包括蒸发舟I和空心管道2，空心管道2均匀地缠绕于蒸发舟I的外侧，为了尽量避免热量损失，空心管道2紧贴蒸发舟I的外壁，空心管道2内通有循环介质，循环介质分为加热循环介质和冷却循环介质。 当需要蒸镀时，先将蒸镀材料放入蒸发舟1，然后将加热循环介质通入空心管道2中；加热循环介质的温度便通过空心管道2管壁传导给蒸发舟I迅速带动蒸发舟I升温，达到蒸镀材料的蒸发温度后，蒸镀材料便开始蒸发；当蒸镀结束时，将冷却循环介质通入空心管道2中，蒸发舟I迅速被降温，蒸镀材料停止蒸镀。 煤油是一种常见液体，且其精度可控制在±0.1 °C，本实施例中的蒸镀源的循环介质优选为煤油。 本实施例中的蒸镀源结构简单,操作简便，蒸发温度便于精确、稳定控制，蒸发速率稳定，且蒸镀完成后能够实现蒸发舟的迅速降温，不但能够获得高质量的蒸镀膜，且可以节约蒸镀材料，降低蒸镀成本。 尽管这里参照本技术的最佳解释性实施例对本技术进行了描述，但是，应该理解，本领域技术人员可以设计出很多其他的修改和实施方式，这些修改和实施方式将落在本申请公开的原则范围和精神之内。更具体地说，在本申请公开、附图和权利要求的范围内，可以对主题组合布局的组成部件和/或布局进行多种变型和改进。除了对组成部件和/或布局进行的变型和改进外，对于本领域技术人员来说，其他的用途也将是明显的。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀源，其特征在于：包括蒸发舟和空心管道，所述空心管道均匀地缠绕并紧贴于蒸发舟的外侧，所述空心管道内通有循环介质，所述循环介质包括加热循环介质和冷却循环介质。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀源，其特征在于:包括蒸发舟和空心管道，所述空心管道均匀地缠绕并紧贴于蒸发舟的外侧，所述空心管道内通有循...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐元刚，林成勇，
申请(专利权)人：四川虹视显示技术有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51