【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于真空离子镀膜的送气系统，其特征在于，包括若干个进气管道和与进气管道连接的混合室，所述的进气管道上设有进气控制阀，所述混合室的混合腔内具有阻流结构，所述的混合室另一端连接有出气管道，所述的出气管道上设有出气控制阀，所述的出气管道的输出端与真空室内的布气管连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：范玉山，陈君，
申请(专利权)人：苏州涂冠镀膜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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