【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种离子镀设备装配管道,特别是涉及一种用于多弧离子镀阴极弧源冷却水输入输出的管道。
技术介绍
多弧离子镀设备采用的是圆柱形直筒状的阴极弧源冷却水输入输出管道,由于靠近阴极弧源磁场,在进行调弧、阴极弧源磁场拆卸的时候,非常不方便且容易受损。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于多弧离子镀阴极弧源冷却水输入输出的管道,该管道为阴极弧源冷却水输入输出管道为L形管道;管道内部直角部分采用圆弧过渡,这样解决了多弧离子镀设备的阴极弧源磁场控制元件拆卸麻烦的问题,同时也保证了阴极弧源冷却水输入输出的顺畅。本技术的目的是通过以下技术方案实现的:一种用于多弧离子镀阴极弧源冷却水输入输出的管道,所述管道包括阴极弧源底座与多弧离子镀设备炉体的连接处,阴极弧源底座, L形阴极弧源冷却水输入输出的管道,阴极弧源磁场控制元件;管道为L形管道,管道内部直角部分为圆弧状,L形管焊接在阴极弧源底座上,阴极弧源底座与炉体连接。本技术的优点与效果是:1.本技术一种用于多弧离子镀阴极弧源冷却水输入输出的管道,该阴极弧源冷却水输入输出管道为L形管道。管道内部直角部分采用圆弧过渡,这样解决了多弧离子镀设备的阴极弧源磁场控制元件拆卸麻烦的问题,同时也保证了阴极弧源冷却水输入输出的顺畅。2.本实新型阴极弧源冷却水输入输出管道既方便调弧,又不影响阴极弧源冷却效果。附图说明图1一种用于多弧离子镀阴极弧源冷却水输入输出的管道示意图。附图中的部件标号为:1为阴极弧源底座与多弧离子镀设备炉体的连接处,2为阴极弧源底座,3为L形阴极弧源冷却水输入输出的管道,4为阴极弧源磁场控制元件。具体实施方式下面结 ...
【技术保护点】
一种用于多弧离子镀阴极弧源冷却水输入输出的管道,其特征在于,所述管道包括阴极弧源底座与多弧离子镀设备炉体的连接处(1),阴极弧源底座(2), L形阴极弧源冷却水输入输出的管道(3),阴极弧源磁场控制元件(4);管道为L形管道,管道内部直角部分为圆弧状,L形管焊接在阴极弧源底座(2)上,阴极弧源底座与炉体连接。
【技术特征摘要】
1.一种用于多弧离子镀阴极弧源冷却水输入输出的管道,其特征在于,所述管道包括阴极弧源底座与多弧离子镀设备炉体的连接处(1),阴极弧源底座(2), L形阴极弧...
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