【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及不锈钢真空多弧离子镀膜专用卧式连体炉，利用一套真空泵组给两个真空镀色炉交替抽真空工作,主要应用于不锈钢板真空镀膜生产加工领域。
技术介绍
目前，常规的不锈钢镀色炉都是一套单体炉形式，一个镀色炉单独配一套真空泵组,这样的结构与组合形式有以下缺点:1、占用空间大；2、设备多,成本高；3、能耗高。因此，针对以上缺陷，对现有的不锈钢真空多弧离子镀膜卧式炉结构和配置进行合适改进，使之更合理与节能高效。
技术实现思路
针对以上缺陷，本专利技术提供一套新型不锈钢真空镀膜专用连体炉，最主要的优点是：结构紧凑、成本低，节省空间，能耗低。本专利技术不锈钢真空多弧离子镀膜专用卧式连体炉采用的技术方案：在2台扩散泵上方的冷却井的上方设置一个H型连通管道，管道上方分别设置一个高阀，高阀用于连接扩散泵与2个炉体，在2个高阀侧分别设置2条抽低真空的抽气管道，管道上分别设有控制开闭管道的粗抽阀，2条管道经过并流后与1200罗茨泵、70泵相连。因此，抽低真空的泵组可以分别给两个炉体抽真空，抽高真空的泵组可以分别给两个炉体抽真空。本专利技术不锈钢真空镀膜专用连体炉主要优点有：1、结构紧凑，布局合理。2、节省空间、成本低。3、能耗低。附图说明图1为本专利技术不锈钢真空多弧离子镀膜专用卧式连体炉的整体结构示意图。附图标记说明：1-炉，2-冷却井，3-前置阀，4-1200罗茨泵，5-70泵，6-30泵，7-600罗茨泵，8-扩散泵，9-粗抽阀，10-高阀。具体实施方式...
【技术保护点】
不锈钢真空多弧离子镀膜专用卧式连体炉，其特征在于：在2台扩散泵（8）上方的冷却井（2）的上方设置一个H型连通管道，所述的H型连通管道上方分别设置一个高阀（10），高阀分别用于连接扩散泵与2个炉体，炉（1）连接高阀（10）的管道上安装有粗抽阀（9），连接扩散泵（8）的管道上安装有600罗茨泵（7），600罗茨泵（7）的右下部安装有30泵（6）。
【技术特征摘要】
1.不锈钢真空多弧离子镀膜专用卧式连体炉，其特征在于：在2台扩散泵（8）上方的冷却井（2）的上方设置一个H型连通管道，所述的H型连通管道上方分别设置一个高阀（10），高阀分别用于连接...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。