The utility model relates to the technical field of the preparation of thin films and coatings. One target is arranged on the target base, the target base chassis is nested in the target base, sealing protection through the insulating sleeve, a permanent magnet device is installed in the hollow position of the target base, and target at the bottom of the base are connected by threads, the target base by the target base peripheral shield to protect the internal chassis; the target base near the target base position a striking device mounting hole, one end of the arc device is provided with a mounting hole in the arc device, and the other end of the arc corresponding to the target device. The utility model breaks through the traditional design method of cold cathode ion plating arc source device, according to 60-150mm diameter circular target, to improve the structure of the traditional arc source, in order to improve the traditional arc ion plating arc source of complex structure, poor adaptability and difficult to realize the special coating demand, complex operation, the target replacement is difficult, adjustable position poor.
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及薄膜与涂层制备
,具体地说是一种离子镀弧源头。
技术介绍
表面防护涂层技术是提高工模具及机械部件质量和使用寿命的重要途径,作为材料表面防护技术之一的PVD技术,以其广泛的功能性、良好的环保性以及巨大的增效性等优势,可以提高工模具及机械零件表面的耐磨性、耐蚀性、耐热性及抗疲劳强度等力学性能,极大的提高产品附加值,以保证现代机械部件及工模具在高速、高温、高压、重载以及强腐蚀介质工况下可靠而持续地运行。PVD主要分为真空蒸镀、磁控溅射和离子镀三个类型。在实际应用中,高质量的防护涂层必须具有致密的组织结构、无穿透性针孔、高硬度、与基体结合牢固等特点。真空蒸镀和磁控溅射由于粒子能量和离化率低,导致膜层疏松多孔、力学性能差、难以获得良好的涂层与基体之间的结合力,严重限制了该类技术在防护涂层制备领域的应用。而离子镀涂层技术由于结构简单、离化率高、入射粒子能量高,可以轻松得到其他方法难以获得的高硬度、高耐磨性的陶瓷涂层、复合涂层,应用在工具、模具上面,可以使寿命成倍提高,较好地实现了低成本、高收益的效果;此外,离子镀涂层技术具有低温、高能两个特点,几乎可以在任何基材上成膜,应用范围十分广阔。电弧离子镀所用的弧源结构是冷阴极弧源,电弧的行为被阴极表面许多快速游动,高度明亮的阴极斑点所控制,阴极斑点的运动对电弧等离子体的物理特性以及随后的镀膜特性有很大的影响。而离子镀弧源是电弧等离子体放电的源头,是离子镀技术的核心部件。为了更好的提高沉积薄膜的质量和有效的利用靶材,提高放电稳定性,必须对弧斑的运动进行合理的控制。而弧斑的有效控制必须有合理的机械结构与磁场结构 ...
【技术保护点】
一种离子镀弧源头,其特征在于,靶材安装于靶材底座的一端,靶材底座底盘嵌套在靶材底座外,永久磁体装置安装于靶材底座,靶材底座底盘靠近靶材底座位置设有引弧装置安装孔,引弧装置的一端设置于引弧装置安装孔中,引弧装置的另一端与靶材相对应。
【技术特征摘要】
1.一种离子镀弧源头,其特征在于,靶材安装于靶材底座的一端,靶材底座底盘嵌套在靶材底座外,永久磁体装置安装于靶材底座,靶材底座底盘靠近靶材底座位置设有引弧装置安装孔,引弧装置的一端设置于引弧装置安装孔中,引弧装置的另一端与靶材相对应。2.按照权利要求1所述的离子镀弧源头,其特征在于,靶材通过连接螺纹安装于靶材底座的一端,靶材底座外围设置靶材底座屏蔽罩,靶材底座底盘与靶材底座之间设置靶材底座绝缘套,靶材底座底盘周边开有靶材底座底盘连接孔。3.按照权利要求2所述的离子镀弧源头,其特征在于,靶材底座屏蔽罩为一涂有绝缘漆的不锈钢圆筒,不锈钢圆筒上端设有环形法兰盘,靶材底座屏蔽罩通过该法兰盘安装在靶材底座底盘上;靶材底座屏蔽罩筒底部与靶材底座进出水孔以及电源接头对应位置开有三个孔,靶材底座屏蔽罩筒底部中间有圆盘,圆盘中间开有螺纹孔。4.按照权利要求1所述的离子镀弧源头,其特征在于,永久磁体装置由永磁体、连接杆和螺母组成,永磁体通过连接杆与螺母相连接,永磁体放置于靶材后端靶材底座中间空隙内,永久磁体装置通过连接杆螺纹与靶材底座底部中间的螺纹孔连接。5.按照权利要求4所述的离子镀弧源头,其特征在于,永磁体由单个或两个以上块体组成,与永磁体连接的磁轭形状为圆盘形、圆环形、锥台形、圆柱形或阶梯形状。6.按照权利要求1所述的离子镀弧源头,其特征在于,永久磁体...
【专利技术属性】
技术研发人员:高斌,郎文昌,吴百中,
申请(专利权)人:温州职业技术学院,
类型:实用新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。