一种位置连续可调的电弧靶引弧针固定装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种位置连续可调的电弧靶引弧针固定装置，该装置包括一根定位杆及两根辅助固定的内螺纹套管。所述定位杆的一端在与轴线平行的方向开有通槽，此端杆段上攻有外螺纹，另一端开有沉孔并攻内螺纹，无外螺纹杆段的直径比有外螺纹杆段的直径小。有内螺纹的一端通过螺纹固定在气缸活塞上，将两根内螺纹套管旋入杆上有外螺纹的部分，将引弧针放置于通槽内，且在两根螺管的中间位置。两根辅助固定的内螺纹套管，其中一根为空心螺纹套管，另一根为半封闭螺纹套管，两根套管的总长度略大于开有外螺纹的杆身长度。该装置可实现弧针与靶面距离的连续调节，提高工作效率。本发明专利技术可广泛应用于电弧离子镀设备中。

Arc needle fixing device for arc target with continuously adjustable position

The invention relates to a fixed arc adjustable needle fixing device for an arc target with a continuously adjustable position, comprising a locating rod and two auxiliary fixed internal thread sleeves. One end of the positioning rod in parallel with the axis direction through grooves are arranged on the end of a pole, upside with external thread, the other end is provided with a hole and tapping, no external threaded rod section diameter than the outer diameter of the small threaded rod section. One end of the inner thread is fixed on the cylinder piston by a screw thread, and two inner thread sleeves are screwed into the part of the rod with an external thread, and the arc striking needle is arranged in the through groove and is positioned in the middle of the two spiral pipes. Two auxiliary internal thread sleeves, one of which is hollow threaded sleeve, the other is semi closed threaded sleeve, and the length of each sleeve is slightly larger than the length of the rod with external thread. The device can realize the continuous adjustment of the distance between the arc needle and the target surface, thereby improving the work efficiency. The present invention can be widely used in arc ion plating equipment.

【技术实现步骤摘要】
一种位置连续可调的电弧靶引弧针固定装置
本专利技术属于真空电弧离子镀膜领域，具体涉及一种位置连续可调的电弧靶引弧针固定装置。
技术介绍
在电弧离子镀膜设备镀膜过程中，通过引弧针尖触碰靶材表面产生放电进行引弧。镀膜过程中，引弧针位置与靶材表面距离过近，引弧针针尖温度将不断升高，持续烧蚀的电弧会使针尖部分熔断，造成灭弧后镀膜工作无法继续进行；引弧针位置与靶材距离过远，弧针针尖与靶面不能接触，以致无法放电启弧。随着靶材的不断消耗，每次镀膜前引弧针的位置需要调整，使引弧过程中弧针针尖与靶面接触放电，顺利启弧且不会熔断弧针，由于靶材消耗程度难以度量，给每次整体拆卸引弧针，采取机械弯曲方法调整位置增加很大难度，浪费拆装时间。为提高工作效率，需要一种便于连续调节弧针位置的引弧针固定装置。
技术实现思路
本专利技术解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种便于调节弧针位置的引弧针固定装置，实现引弧针尖与电弧靶面距离的连续可调，节省了采用机械方法弯曲引弧针来调整针尖到靶面距离的时间，提高了工作效率。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案为：一种电弧离子镀膜设备的引弧针固定装置，包括一根定位杆和两根辅助固定的螺纹套管，所述定位杆身一端与电弧阴极引弧气缸的活塞相连，另一端旋入两根辅助定位的内螺纹套管，将引弧针柄部置于两固定套管中间位置的通槽内，并将两辅助套管拧紧，以固定引弧针。所述固定装置中的各零件通过一系列的机械配合，将引弧针固定在电弧阴极引弧气缸的活塞上，同时实现引弧针针尖到电弧靶面距离的连续调节，保证电弧靶的正常启弧。进一步作为本专利技术技术方案的改进，所述杆身与电弧阴极引弧气缸活塞相连的一端开有螺纹孔，通过与气缸活塞上外螺纹柱的螺旋配合，将杆身固定在引弧气缸活塞上。进一步作为本专利技术技术方案的改进，所述杆身上铣有与杆件轴向方向平行的通槽，引弧针针柄插入通槽，引弧针可在通槽内沿轴向移动，实现引弧针针尖与电弧靶面距离的连续调节。进一步作为本专利技术技术方案的改进，所述杆身开有通槽一端的杆段上攻有外螺纹，通过与辅助定位的螺纹套管的旋紧配合来固定引弧针的位置。进一步作为本专利技术技术方案的改进，所述杆身上没有外螺纹的光杆直径比有外螺纹杆段的直径小一些，使内螺纹套管的一部分可套在没有外螺纹的光杆上，以保护杆身上的外螺纹。进一步作为本专利技术技术方案的改进，所述两根辅助定位的内螺纹套管，其中一根为空心套管，与杆身上的螺纹配合先旋上杆身，另一根为半封闭套管，旋到定位杆的最外端，且套管封闭一端内有退刀槽，两根套杆的总长度略大于外螺纹杆身的总长度，保证在工作过程中杆身外螺纹上始终有套管的保护。进一步作为本专利技术技术方案的改进，所述两根辅助定位的内螺纹套管的一端均铣有一对相互平行的小平面，以便扳手卡紧实现对两个螺纹套管的拧紧、拆卸。本专利技术的有益效果：本专利技术通过定位杆上的外螺纹与两根辅助定位的内螺纹套管之间的螺旋配合，以固定柄部放置于定位杆通槽内的引弧针，通过两根螺纹套管之间的旋动可以连续调节引弧针针尖与电弧靶面之间的距离，并且两根螺纹套管同时向彼此方向旋动可以夹紧引弧针，保证引弧针位置的固定。在多次镀膜后，随着靶材的消耗，可通过旋动两根螺纹套管来调整引弧针的位置，即引弧针针尖与靶面的需保持一定范围，太近易造成引弧针的熔断，太远无法进行放电启弧。本专利技术省去了反复拆装引弧针、采取机械方法弯曲引弧针来调整针尖与靶面距离的麻烦，大大节省了镀膜的准备时间，提高了工作效率和引弧针的使用寿命。并且两螺纹套管总长略大于定位杆上有外螺纹的杆段，防止由于外螺纹上沉积了涂层而破坏，延长了该装置的使用寿命。本专利技术作为引弧针固定装置可适用于各种电弧离子镀膜设备上。附图说明图1是安装新靶后，本专利技术中该装置的结构示意图。图2是靶材发生一定损耗后，本专利技术中该装置的结构示意图。具体实施方式下面通过实例对本专利技术作进一步详细说明。实施例1参照图1，一种位置连续可调的电弧靶引弧针固定装置，包括一根定位杆和两根辅助固定的螺纹套管，所述定位杆身一端与电弧阴极引弧气缸的活塞相连，另一端旋入两根辅助定位的内螺纹套管，将引弧针柄部置于两固定套管中间位置的通槽内。旋转两根辅助固定的螺纹套管，可实现引弧针位置的连续调节，使引弧针针尖与靶面的距离始终在一个合适的范围内，确保引弧针正常引弧。同时引弧针借助两根内螺纹套管的相向旋紧来固定在定位杆上的通槽内。作为本专利技术优选的实施方式，参照图1，当靶材10未消耗时，所述定位杆身1一端开有内螺纹孔6，所述螺纹孔6，通过与电弧阴极引弧气缸活塞上的外螺纹柱的旋紧配合，将杆身固定在气缸活塞上。作为本专利技术优选的实施方式，所述定位杆一端的杆段7上铣有与杆件轴线平行方向的通槽4，引弧针8的柄部插入通槽4，引弧针在通槽内可沿轴向移动，实现弧针针尖与电弧靶面距离的连续调节。作为本专利技术优选的实施方式，所述杆段7上攻有外螺纹，通过与两根辅助定位的螺纹套管2、3的螺旋配合，使引弧针8的位置得到固定。作为本专利技术优选的实施方式，所述杆身上没有外螺纹杆段5的直径比有外螺纹杆段7的直径小一些，这样做可以使内螺纹套管2的一部分套在没有外螺纹的光杆1上，避免外螺纹在镀膜过程中因沉积上涂层而破坏。作为本专利技术优选的实施方式，所述两根辅助定位烦人内螺纹套管2、3，其中一根为空心套管2，先旋上有外螺纹杆段7，另一根为半封闭螺纹套管3，同样旋到杆段7上，与套管2配合将引弧针8固定到通槽4内，套管3上开有退刀槽方便加工，在杆段7最外端设计半封闭套管3可以对杆起到一定的保护作用，套管2、3的总长度应比外螺纹杆段7的总长度大，保证在工作过程中杆身外螺纹上始终有套管的保护，延长固定装置的使用寿命。作为本专利技术优选的实施方式，所述两根辅助定位的内螺纹套管2、3的一端均铣有一对相互平行的小平面9、10和11、12，铣出这些平面便于使用扳手对两根辅助固定的内螺纹套管进行拧紧和拆卸。实施例2作为本专利技术优选的实施方式，结合图2，进一步阐述当靶材发生一些消耗时，所述位置连续可调的电弧靶引弧针固定装置的工作过程。当靶材14消耗成如图2所示情况时，为了保证引弧针8顺利引弧，分别旋动两根辅助定位的内螺纹套管2、3，使引弧针8在杆段7上的通槽4内移动，直到弧针针尖13与靶面的距离达到可正常启弧的范围。此时，空心螺纹套管2右端有一部分套在没有外螺纹的光杆段5上，对螺纹起保护作用。整个过程方便快捷，省去了整体拆装引弧针装置的麻烦，大大节省了采用机械弯曲引弧针方法来调节针尖与靶面距离的时间，利用两根内螺纹套管的相向旋紧可使引弧针定位更加稳固可靠。特别地，与本专利技术相配套的引弧针8须有一定的技术要求，所述引弧针8截面为圆形，整体结构呈问号状，可以使弧针与靶面平行的那段远离靶表面，避免温度过高造成弧针的软化，也可以减少靶材蒸发出的材料在弧针上的沉积。所述弧针8的针尖13由一小段钼丝做的，由于钼熔点较高可以防止镀膜过程中弧针的融化。所述弧针8的柄部15处应该铣出一段相互平行的平面，以确保两根螺纹套管对弧针的夹固，使弧针固定更加牢靠。本专利技术创造并不局限于上述实施方式，熟悉本领域的技术人员在不违背本专利技术精神的前提下还可做出等同变形或替换，这些等同的变形或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种位置连续可调的电弧靶引弧针固定装置，包括一根定位杆和两根内螺纹套管，其特征在于，所述杆身一端与引弧气缸的活塞相连，另一端旋入两根辅助定位的内螺纹套管，将引弧针置于两固定套管中间位置的通槽内。

【技术特征摘要】
1.一种位置连续可调的电弧靶引弧针固定装置，包括一根定位杆和两根内螺纹套管，其特征在于，所述杆身一端与引弧气缸的活塞相连，另一端旋入两根辅助定位的内螺纹套管，将引弧针置于两固定套管中间位置的通槽内。2.所述固定装置中的各零件通过一系列的机械配合，将引弧针固定在电弧阴极引弧气缸的活塞上，实现引弧针尖到电弧靶面距离的连续可调。3.根据权利要求1所述的位置连续可调的电弧靶引弧针固定装置，其特征在于，所述杆身与电弧阴极引弧气缸的活塞相连的一端开有内螺纹孔，通过与气缸活塞杆上的外螺纹柱的螺旋配合，将杆身固定在引弧气缸活塞上。4.根据权利要求1所述的位置连续可调的电弧靶引弧针固定装置，其特征在于，所述杆身上铣有与杆件轴线平行的通槽，将引弧针针柄插入通槽后，引弧...

【专利技术属性】
技术研发人员：王铁钢，刘源，刘艳梅，范其香，阎兵，蔡玉俊，戚厚军，李彤，
申请(专利权)人：天津职业技术师范大学，
类型：发明
国别省市：天津,12