【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种分段物理气态沉积系统。采用阴极电弧作为物理气相沉积(PVD)的系统,分段的阴极包括具有涂层材料的蒸发表面,包含在一个真空室中的阴极和阳极的PVD系统中,系统动力源的正极连接的电源连接到阴极,通过与连接到阳极和阴极的负电源的正电源连接,在阳极和阴极之间产生电荷差异,电荷差距导致电弧在阴极和阳极之间跳跃,在标准的阴极电弧系统中,电弧的位置是随机的,在阴极的表面上的电弧使阴极在发生电弧的位置的点表面汽化,然后在真空室中从汽化的阴极材料中形成等离子体涂层的电偏压件。
技术介绍
目前,公知的气态沉积系统通过现有的传统气化手段无法令气态物完全充分沉积。本技术是一种分段物理气态沉积系统,采用阴极电弧作为物理气相沉积(PVD)的系统,这点创新设计在商业运营推广中是一种极大的竞争优势,可贵的是这项技术原理简单,并且其设方案合理实用,在思维上打破成规,从而带来了新的技术革命。
技术实现思路
为了克服目前传统的气态沉积系统结构在运作构筑上存在的缺陷,技术提供了一种分段物理气态沉积系统,采用阴极电弧作为物理气相沉积(PVD)的系统,分段的阴极包括具有涂层材料的蒸发表面,在阴极 ...
【技术保护点】
一种分段物理气态沉积系统,其特征是:系统动力源的正极连接的电源连接到阴极,通过与连接到阳极和阴极的负电源的正电源连接,在阳极和阴极之间产生电荷差异,电荷差距导致电弧在阴极和阳极之间跳跃。
【技术特征摘要】
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