【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种合金表面镀钛工艺,属于金属材料表面处理领域。
技术介绍
铁碳合金分为钢与生铁两大类,钢是含碳量为0.03%~2%的铁碳合金。碳钢是最常用的普通钢,冶炼方便、加工容易、价格低廉,而且在多数情况下能满足使用要求,所以应用十分普遍。按含碳量不同,碳钢又分为低碳钢、中碳钢和高碳钢。随含碳量升高,碳钢的硬度增加、韧性下降。合金钢又叫特种钢,在碳钢的基础上加入一种或多种合金元素,使钢的组织结构和性能发生变化,从而具有一些特殊性能,如高硬度、高耐磨性、高韧性等。与纯铜相同,铁碳合金的表面耐腐蚀性也一般。为提高上述材料表面的耐腐蚀特性,可在其表面镀或渗透钛层。目前发展阶段,目前的镀钛方法包括化学转化、真空沉积、喷涂等处理方法,然而这些方法的弊端在于镀层与基体结合不紧密。
技术实现思路
为解决上述技术问题,本专利技术的目的是提供一种合金表面镀钛工艺,具体为一种利用电子束物理气相沉积法(EB-PVD)在铁碳合金上镀钛的工艺。一种合金表面镀钛工艺,所述镀钛工艺为电子束物理气相沉积法,所述方法工艺步骤如下:(1)将待处理的铁碳合金进行打磨处理,使其表面粗糙度不大于0.25;将打磨后的铁碳合金利用丙酮清洗,烘干;(2)将铁碳合金置于基板上,基板转速10~50r/min,基板表面温度为490~560℃;工作室的工作压力为0.005~0.5Pa,蒸镀速率4~6微米/min,蒸镀时间5~15min;(3)向工作室内通入氮气和氢气的混合气体,关闭电子束装置,将基板表面温度为800~960℃,保持工作室内的压力为50~500Pa,保温时间30~360min,其中,所述氮气与氢 ...
【技术保护点】
合金表面镀钛工艺,其特征在于:所述镀钛工艺为电子束物理气相沉积法,所述方法工艺步骤如下:(1)将待处理的铁碳合金进行打磨处理,使其表面粗糙度不大于0.25;将打磨后的铁碳合金利用丙酮清洗,烘干;(2)将铁碳合金置于基板上,基板转速10~50r/min,基板表面温度为490~560℃;工作室的工作压力为0.005~0.5Pa,蒸镀速率4~6微米/min,蒸镀时间5~15min;(3)向工作室内通入氮气和氢气的混合气体,关闭电子束装置,将基板表面温度为800~960℃,保持工作室内的压力为50~500Pa,保温时间30~360min,其中,所述氮气与氢气的体积比为1:0.5~3。
【技术特征摘要】
1.合金表面镀钛工艺,其特征在于:所述镀钛工艺为电子束物理气相沉积法,所述方法工艺步骤如下:(1)将待处理的铁碳合金进行打磨处理,使其表面粗糙度不大于0.25;将打磨后的铁碳合金利用丙酮清洗,烘干;(2)将铁碳合金置于基板上,基板转速10~50r/min,基板表面温度为490~560℃;工作室的工作压力为0.005~0.5Pa,蒸镀速率4~6微米/min,蒸镀时间5~15min;(3)向工作室内通入氮气和氢气的混合气体,关闭电子束装置,将基板表面温度为800~960℃,保持工作室内的压力为50~500Pa,保温时间30~360min,其中,所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:田绍洁,孙香兰,马克信,
申请(专利权)人:大连圣洁真空技术开发有限公司开发区分公司,
类型:发明
国别省市:辽宁;21
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