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一种分段物理气态沉积系统。采用阴极电弧作为物理气相沉积（PVD）的系统，分段的阴极包括具有涂层材料的蒸发表面，系统动力源的正极连接的电源连接到阴极，通过与连接到阳极和阴极的负电源的正电源连接，在阳极和阴极之间产生电荷差异，电荷差距导致电弧在...
该专利属于宋厚山所有，仅供学习研究参考，未经过宋厚山授权不得商用。

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