【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种真空阴极电弧蒸发源的气动式引弧装置。
技术介绍
真空阴极电弧沉积是当前离子镀工模具用和装饰用硬质保护薄膜的主流技术之一。具体的镀膜过程如下:真空阴极电弧蒸发源安装在真空镀膜室侧壁上，蒸发源前端穿入真空镀室内，其上的镀料--靶块面朝着真空镀室内的待镀工件，由弓I弧装置在靶块表面弓I燃成簇的真空电弧微弧斑，弧斑区的高温和场致效应作用让靶材蒸发生成金属蒸气，并电离成等离子体向空间发射，在工件表面沉积成薄膜。引弧装置是阴极电弧蒸发源不可或缺的组成部分。目前国产的阴极电弧蒸发源大多采用机械接触式引弧装置，有气动和电动两种。图1是现在常用的气动引弧装置的结构示意图，主要由活塞组件1-11、活塞延伸杆1-4、引弧针1-2、密封绝缘件1-6、动密封1-7、动密封压垫1-8和活塞组件支承件1-10组成。活塞组件1-11多为外购件。如图1所示，活塞组件支承件1-10把活塞组件1-11垂直固定在电弧蒸发源连接法兰1-5外侧，活塞延伸杆1-4与活塞组件1-11同轴设置，相对的端面上通过连接螺杆1-9将两者固定连接。活塞延伸杆1-4前端穿过电弧蒸发源连接法兰1-5上开孔进入...
【技术保护点】
一种真空阴极电弧蒸发源的气动式引弧装置，包括引弧针、活塞延伸杆、活塞组件、密封绝缘件、动密封、动密封压垫、活塞组件支撑件，所述动密封压垫被所述活塞组件支撑件压紧在所述动密封上，其特征在于，还包括金属的引弧器底座，所述引弧器底座通过其中部套孔套装在所述活塞延伸杆上并与电弧蒸发源连接法兰固定连接，所述密封绝缘件夹装在所述引弧器底座与电弧蒸发源连接法兰之间，所述引弧器底座后端底面上具有伸入所述密封绝缘件与所述活塞延伸杆之间、用于隔开它们的凸起，所述活塞组件支撑件固定在所述引弧器底座的前端面上，所述动密封嵌装在所述引弧器底座的前端面内。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李志荣，李志方，罗志明，李秋霞，
申请(专利权)人：东莞市汇成真空科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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