一种通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，包括真空镀膜室、靶体、靶腔、伸缩机构、靶门及翻转启闭机构，通过循环流经靶体的液体实现对靶体的降温，靶腔设置在真空镀膜室的底部或顶部或侧部，通过腔口直接与真空镀膜室连通；伸缩机构安装在靶腔的壁板上；靶体安装在伸缩机构上，并位于靶腔内；由伸缩机构带动靶体向腔口方向移动，或收缩回靶腔内；靶门通过翻转启闭机构安装在腔口处，通过翻转启闭机构带动靶门翻转，通过翻转的靶门密封盖合腔口或打开腔口。本实用新型专利技术能保证使用过程中靶材始终不会与水汽接触。

A kind of coating machine for isolating the target body by turning the target door

【技术实现步骤摘要】
一种通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机
本技术涉及一种镀膜机，特别是涉及一种通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机。
技术介绍
现有广泛用于生产的磁控溅射镀膜机中所用的溅射靶体或整体装于炉内、或整体装于炉壁上(下壁、侧壁或上壁)，靶体上的靶材表面都朝向炉内被镀工件，镀膜前炉腔抽真空并启动加热，下一步充入氩气，在工件与炉壁(接地)施加较高电压，使炉内氩气辉光放电产生氩等离子体，对工件表面进行氩离子轰击清洗，然后进入镀膜作业：启动阴极磁控溅射靶电源，产生靶材溅射，溅出靶材物料，在工件上施加负偏压，把溅射出的靶材粒子吸拉到工件表面沉积成膜层。由于在镀膜作业中，靶材会发热，在靶材背面必须有水冷装置带走热量。一般的靶材都能耐受一定温度和湿度，在镀膜作业完毕后，等待炉内冷却到100度左右，破真空，打开炉门取工件。在打开炉门后，虽然靶材曝露在大气中，但一般不会产生不允许的不良影响和后果。有的镀膜机炉内还备有多种靶材的阴极溅射靶，在镀膜时，为了避免不同靶材的靶体之间相互污染，会在靶材前方加置活动遮挡板，它起到遮挡屏蔽作用，但不起真空密封作用。随着科学技术不断发展，出现了许多新材料靶材。新近有要求镀锂膜层，需要使用金属锂作为靶材，而金属锂的特性是不能接触水、稍高温下不能接触水汽，否则会引起爆炸。现有的磁控溅射镀膜机的溅射靶结构都不能满足隔离大气(空气含水汽)要求，必须重新设计全新的溅射靶结构和镀膜机。使用锂材料靶材的镀膜机结构必须满足：1、不能用水作为介质进行冷却，以保证锂材料不会与水接触；2、有单独真空气密功能，能与大气隔离，隔离水汽。为此，我们针对上述技术特点，技术了具有上述功能的专用镀膜机。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题，就是提供一种通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，其能保证使用过程中靶材始终不会与水汽接触。解决上述技术问题，本技术采用的技术方案如下：一种通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，包括真空镀膜室和靶体，通过循环流经靶体的液体实现对靶体的降温，其特征在于：还包括：靶腔，设置在真空镀膜室的底部或顶部或侧部，通过腔口直接与真空镀膜室连通；伸缩机构，安装在靶腔的壁板上；靶体安装在伸缩机构上，并位于靶腔内；由伸缩机构带动靶体向腔口方向移动，或收缩回靶腔内；靶门及翻转启闭机构，靶门通过翻转启闭机构安装在腔口处，通过翻转启闭机构带动靶门翻转，通过翻转的靶门密封盖合腔口或打开腔口。循环流经所述靶体用于降温的液体为硅油。在所述靶腔的壁板上设有用于对靶腔进行抽真空的抽气口。所述翻转启闭机构包括旋转机构、第一动密封组件和旋转轴，旋转轴可转动支承在腔口的侧旁，靶门的与旋转轴对应的侧边与旋转轴固定连接，旋转机构安装在真空镀膜室外部，旋转机构的输出轴通过第一动密封组件与旋转轴连接，通过第一动密封组件实现密封。在所述靶门上对应腔口的沿边设有靶门密封圈，在腔口的周边设有一圈围边；当靶门密封盖在腔口处时，靶门密封圈压在靶门与腔口的沿边之间，围边围绕在靶门的外围。所述旋转机构为旋转式气缸，第一动密封组件为磁流体密封传动装置，磁流体密封传动装置通过真空密封圈密封安装在真空镀膜室的壁板的外表面上，旋转式气缸的输出轴与磁流体密封传动装置的主轴的输入端连接，磁流体密封传动装置的主轴的输出端穿入真空镀膜室，并与旋转轴连接。所述伸缩机构包括直线运动机构、滑动套管、连接板和第二动密封组件，滑动套管活动穿过靶腔的壁板，通过第二动密封组件密封，靶体固定安装在滑动套管的里端，直线运动机构安装在靶腔的壁板的外表面，连接板连接直线运动机构的活动端和滑动套管的外端。所述靶体内设有液体流道，在滑动套管内设有出液管和进液管，出液管和进液管与滑动套管之间绝缘，出液管和进液管的里端分别与液体流道的出液口和进液口连接，出液管和进液管的外端分别从滑动套管的外端穿出。所述靶体包括靶材、铜板、极靴、隔水胶皮、靶座和若干磁铁，在靶座的面向真空镀膜室的表面设有安装槽，隔水胶皮平贴在安装槽的底面，极靴设置在隔水胶皮的表面，铜板密封盖在安装槽的槽口处，磁铁分布在铜板与极靴之间，靶材平贴固定在铜板的外表面上；在铜板与极靴之间形成液体流道，在靶体上还设有与液体流道连通的出液通道和进液通道，出液通道和进液通道的外端即为出液口和进液口。所述镀膜机还包括靶体固定板，靶体固定板固定在滑动套管的里端，靶座通过绝缘固定组件固定在靶体固定板上，靶座与靶体固定板之间留有间隔。与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：1、本技术为前所未有的具有独立的靶体隔离空间的镀膜机，通过另外设置靶腔和靶门来实现对靶体的密封隔离，适合用于特殊的不能见水和潮气的靶材(如金属锂)的溅射。本技术通过翻转启闭机构实现靶门的自动打开和自动密封盖合腔口。本技术的靶体还可通过伸缩机构进行移动，从而能将靶体调节至合理的溅射距离，可见，本技术在实现对靶体进行密封隔离的功能下，也不会影响镀膜时的效率。2、本技术采用硅油作为靶体降温用的液体，完全避免了现有的镀膜机中由冷却水的渗漏带来的不利风险。3、本技术在靶腔上单独设置抽气口，实现对靶腔单独抽真空。4、本技术的翻转启闭机构通过旋转机构、第一动密封组件和旋转轴实现靶门的翻转，且实现动密封，结构简单，运行可靠稳定。附图说明图1是本技术的靶门处于关闭状态时的剖视示意图之一，视图方向为主视方向；图2是本技术的靶门处于打开状态时的剖视示意图，视图方向为主视方向；图3是本技术的靶门处于关闭状态时的剖视示意图之二，视图方向为侧视方向；图4是图1中Ⅰ处的放大示意图；图5是图3中Ⅲ处的放大示意图；图6是图3中Ⅳ处的放大示意图；图7是图2中Ⅱ处的放大示意图；图8是本技术的靶体与伸缩机构的装配示意图；图9是图3中Ⅴ处的放大示意图；图10是本技术的靶体下降至低点时的状态示意图；图11是图9中Ⅶ处的放大示意图。图中附图标记含义：1真空镀膜室；1-1真空镀膜室的底部；2靶腔；2-1抽气口；2-2靶腔的底部壁板；2-3腔口；3靶体；3-1靶材；3-2铜板；3-3磁铁；3-4极靴；3-5隔水胶皮；3-6压条；3-7屏蔽围板；3-8靶座；3-9靶体固定板；3-10连接螺栓；3-11绝缘垫；3-12绝缘套；3-13绝缘盖；4靶门；4-1靶门密封圈；4-2围边；5翻转启闭机构；5-1旋转机构；5-2气缸安装座；5-3旋转式气缸的输出轴；5-4旋转轴；5-5固定连接座；5-7垫高块；5-8支承管；5-9支承座；5-10连接套孔；6伸缩机构；6-1滑动套管；6-3保护盖；6-4绝缘护套；6-5连接板；6-6导柱；6-7导向管；6-8导柱固定座；6-9直线运动机构；6-10浮动接头；7第一动密封组件；7-1磁流体密封传动装置；7-2磁流体密封传动装置的主轴的输入端；7-3磁流体密封传动装置的主轴的输出端；7-4焊接座；7本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，包括真空镀膜室和靶体，通过循环流经所述靶体的液体实现对所述靶体的降温，其特征在于：还包括：/n靶腔，设置在所述真空镀膜室的底部或顶部或侧部，通过腔口直接与所述真空镀膜室连通；/n伸缩机构，安装在所述靶腔的壁板上；所述靶体安装在所述伸缩机构上，并位于所述靶腔内；由所述伸缩机构带动所述靶体向所述腔口方向移动，或收缩回所述靶腔内；/n靶门及翻转启闭机构，所述靶门通过所述翻转启闭机构安装在所述腔口处，通过所述翻转启闭机构带动所述靶门翻转，通过翻转的所述靶门密封盖合所述腔口或打开所述腔口。/n

【技术特征摘要】
1.一种通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，包括真空镀膜室和靶体，通过循环流经所述靶体的液体实现对所述靶体的降温，其特征在于：还包括：
靶腔，设置在所述真空镀膜室的底部或顶部或侧部，通过腔口直接与所述真空镀膜室连通；
伸缩机构，安装在所述靶腔的壁板上；所述靶体安装在所述伸缩机构上，并位于所述靶腔内；由所述伸缩机构带动所述靶体向所述腔口方向移动，或收缩回所述靶腔内；
靶门及翻转启闭机构，所述靶门通过所述翻转启闭机构安装在所述腔口处，通过所述翻转启闭机构带动所述靶门翻转，通过翻转的所述靶门密封盖合所述腔口或打开所述腔口。


2.根据权利要求1所述的通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：循环流经所述靶体用于降温的液体为硅油。


3.根据权利要求1所述的通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：在所述靶腔的壁板上设有用于对所述靶腔进行抽真空的抽气口。


4.根据权利要求1所述的通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：所述翻转启闭机构包括旋转机构、第一动密封组件和旋转轴，旋转轴可转动支承在所述腔口的侧旁，所述靶门的与所述旋转轴对应的侧边与所述旋转轴固定连接，旋转机构安装在所述真空镀膜室外部，所述旋转机构的输出轴通过所述第一动密封组件与所述旋转轴连接，通过所述第一动密封组件实现密封。


5.根据权利要求4所述的通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：在所述靶门上对应所述腔口的沿边设有靶门密封圈，在所述腔口的周边设有一圈围边；当所述靶门密封盖在所述腔口处时，所述靶门密封圈压在所述靶门与所述腔口的沿边之间，所述围边围绕在所述靶门的外围。


6.根据权利要求4所述的通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：所述旋转机构为旋转式气缸，所述第一动密封组件为磁流体密封传动装置，所述磁流体密封传动装置通过真空...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志荣，李志方，潘锐华，陈思，
申请(专利权)人：东莞市汇成真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44